सिलिकन कार्बाइड लेपित एपि ससेप्टर

सेमीकन्डक्टर एपिटेक्सीले ग्यास चरण, तरल चरण वा आणविक बीम डिपोजिसन जस्ता विधिहरूद्वारा सब्सट्रेट सामग्रीको सतहमा एक विशिष्ट जाली संरचना भएको पातलो फिल्मको वृद्धिलाई जनाउँछ, जसले गर्दा भर्खरै बढेको पातलो फिलिम तह (एपिटेक्सियल तह) हुन्छ। समान वा समान जाली संरचना र सब्सट्रेट रूपमा अभिमुखीकरण। 

Epitaxy टेक्नोलोजी सेमीकन्डक्टर निर्माणमा महत्त्वपूर्ण छ, विशेष गरी उच्च-गुणस्तरका पातलो फिल्महरूको तयारीमा, जस्तै एकल क्रिस्टल तहहरू, हेटेरोस्ट्रक्चरहरू र क्वान्टम संरचनाहरू उच्च-प्रदर्शन उपकरणहरू निर्माण गर्न प्रयोग गरिन्छ।

सिलिकन कार्बाइड लेपित Epi ससेप्टर एपिटाक्सियल ग्रोथ उपकरणमा सब्सट्रेटलाई समर्थन गर्न प्रयोग गरिने मुख्य कम्पोनेन्ट हो र सिलिकन एपिटाक्सीमा व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ। एपिटेक्सियल पेडेस्टलको गुणस्तर र प्रदर्शनले एपिटेक्सियल तहको वृद्धि गुणस्तरलाई प्रत्यक्ष असर गर्छ र अर्धचालक उपकरणहरूको अन्तिम प्रदर्शनमा महत्त्वपूर्ण भूमिका खेल्छ।

VeTek सेमीकन्डक्टरले CVD विधिद्वारा SGL ग्रेफाइटको सतहमा SIC कोटिंगको एक तह लेपित गर्‍यो, र उच्च तापमान प्रतिरोध, अक्सीकरण प्रतिरोध, जंग प्रतिरोध, र थर्मल एकरूपता जस्ता गुणहरू सहित SiC लेपित एपि ससेप्टर प्राप्त गर्‍यो।

एक सामान्य ब्यारेल रिएक्टरमा, सिलिकन कार्बाइड लेपित Epi ससेप्टरको ब्यारेल संरचना हुन्छ। SiC लेपित Epi ससेप्टरको तल घुम्ने शाफ्टसँग जोडिएको छ। एपिटेक्सियल वृद्धि प्रक्रियाको समयमा, यसले घडीको दिशामा र घडीको विपरीत दिशामा घुमाउँछ। प्रतिक्रिया ग्यास नोजल मार्फत प्रतिक्रिया कक्षमा प्रवेश गर्दछ, ताकि ग्यास प्रवाह प्रतिक्रिया कक्षमा एक उचित समान वितरण बनाउँछ, र अन्तमा एक समान एपिटेक्सियल तह वृद्धि बनाउँछ।

SiC लेपित ग्रेफाइट र ओक्सीकरण समय को मास परिवर्तन बीचको सम्बन्ध

प्रकाशित शिक्षाहरूको परिणामहरूले देखाउँदछ कि 1 1400 ℃ र 1 ℃00 ℃ मा SIC लेपित ग्राफ्सको ठूलो बढ्छ। त्यो हो, SIC लेपित ग्राफ्सको एक मजबूत एन्टिओक्सिड क्षमता छ। तसर्थ, अनुमानित एपिएको एपआई संक्रामक संश्लेक्टरले धेरै जसो प्रतीकात्मक भट्टीमा लामो समय सम्म काम गर्न सक्दछ। यदि तपाइँसँग थप आवश्यकताहरू वा अनुकूलित आवश्यकताहरू छन् भने, कृपया हामीलाई सम्पर्क गर्नुहोस्। हामी उत्कृष्ट गुणस्तर SiC लेपित Epi ससेप्टर समाधानहरू प्रदान गर्न प्रतिबद्ध छौं।

CVD SIC कोटिंगको आधारभूत भौतिक गुणहरू

VeTek अर्धचालकसिलिकन कार्बर्ड लेड एपिप्रेट एष्ट संक्रामक पसलहरू