VeTek अर्धचालक RTA/RTP प्रक्रिया वेफर क्यारियर प्रदान गर्दछ, उच्च शुद्धता ग्रेफाइट र SiC कोटिंग संग बनेको।5ppm भन्दा कम अशुद्धता.
द्रुत annealing भट्टी सामग्री annealing उपचार र लागि उपकरण को एक प्रकार होRTA/RTP प्रक्रिया, सामग्रीको ताप र शीतलन प्रक्रिया नियन्त्रण गरेर, यसले सामग्रीको क्रिस्टलीय संरचना सुधार गर्न, आन्तरिक तनाव कम गर्न, र सामग्रीको मेकानिकल र भौतिक गुणहरू सुधार गर्न सक्छ। फास्ट एनिलिङ फर्नेसको च्याम्बरमा रहेको मुख्य कम्पोनेन्टमध्ये एउटा वेफर क्यारियर हो/वेफर रिसीभरवेफर्स लोड गर्नका लागि। प्रक्रिया कक्षमा वेफर हीटरको रूपमा, योवाहक प्लेटद्रुत ताप र तापमान समीकरण उपचारमा महत्त्वपूर्ण भूमिका खेल्छ।
सिलिकन कार्बाइड, एल्युमिनियम नाइट्राइड र ग्रेफाइट सिलिकन कार्बाइड द्रुत एनेलिङ भट्टीका लागि उपलब्ध सामग्रीहरू हुन्, र बजारमा मुख्य छनौट ग्रेफाइट रसिलिकन कार्बाइड कोटिंग सामग्रीको रूपमा।
निम्न छन्सुविधाहरू र उत्कृष्ट प्रदर्शनVeTek अर्धचालक SiC लेपित RTA RTP प्रक्रिया वेफर वाहक को:
-उच्च तापमान स्थिरता: SiC कोटिंगले उत्कृष्ट उच्च-तापमान स्थिरता प्रदर्शन गर्दछ, चरम तापक्रममा पनि संरचनाको अखण्डता र मेकानिकल बल सुनिश्चित गर्दै। यो क्षमताले गर्मी उपचार प्रक्रियाहरूको माग गर्नको लागि अत्यधिक उपयुक्त बनाउँछ।
-उत्कृष्ट थर्मल चालकता: SiC कोटिंग लेयरमा असाधारण थर्मल चालकता छ, छिटो र समान ताप वितरण सक्षम पार्दै। यसले छिटो ताप प्रशोधन गर्न अनुवाद गर्छ, तातो समयलाई उल्लेखनीय रूपमा घटाउँछ र समग्र उत्पादकता बढाउँछ। गर्मी स्थानान्तरण दक्षता सुधार गरेर, यसले उच्च उत्पादन दक्षता र उच्च उत्पादन गुणस्तरमा योगदान गर्दछ।
-रासायनिक जडता: सिलिकन कार्बाइडको अन्तर्निहित रासायनिक जडताले विभिन्न रसायनहरूबाट क्षरणको लागि उत्कृष्ट प्रतिरोध प्रदान गर्दछ। हाम्रो कार्बन-लेपित सिलिकन कार्बाइड वेफर क्यारियरले वेफरहरूलाई दूषित वा नोक्सान नगरी विविध रासायनिक वातावरणमा भरपर्दो रूपमा काम गर्न सक्छ।
-सतह समतलता: CVD सिलिकन कार्बाइड तहले थर्मल प्रशोधनको क्रममा वेफर्ससँग स्थिर सम्पर्कको ग्यारेन्टी गर्दै अत्यधिक समतल र चिल्लो सतह सुनिश्चित गर्दछ। यसले इष्टतम प्रशोधन परिणामहरू सुनिश्चित गर्दै अतिरिक्त सतह दोषहरूको परिचय हटाउँछ।
-हल्का र उच्च शक्ति: हाम्रो SiC लेपित RTP वेफर वाहक हल्का तौल छ तर उल्लेखनीय शक्ति छ। यो विशेषताले वेफर्सको सुविधाजनक र भरपर्दो लोडिङ र अनलोडिङ सुविधा दिन्छ।
RTA RTP प्रक्रिया वेफर क्यारियर कसरी प्रयोग गर्ने：
VeTek सेमीकन्डक्टरको SiC कोटिंग वेफर रिसीभर र रिसीभर कभर
RTA RTP रिसीभर 
RTA RTP वेफर वाहक 
RTP ट्रे (RTA द्रुत तताउने उपचारको लागि) 
RTP ट्रे (RTA द्रुत तताउने उपचारको लागि) 
RTP रिसीभर 
RTP वेफर समर्थन ट्रे
