RTA/RTP प्रक्रिया

VeTek अर्धचालक RTA/RTP प्रक्रिया वेफर क्यारियर प्रदान गर्दछ, उच्च शुद्धता ग्रेफाइट र SiC कोटिंग संग बनेको।5ppm भन्दा कम अशुद्धता.

द्रुत annealing भट्टी सामग्री annealing उपचार र लागि उपकरण को एक प्रकार होRTA/RTP प्रक्रिया, सामग्रीको ताप र शीतलन प्रक्रिया नियन्त्रण गरेर, यसले सामग्रीको क्रिस्टलीय संरचना सुधार गर्न, आन्तरिक तनाव कम गर्न, र सामग्रीको मेकानिकल र भौतिक गुणहरू सुधार गर्न सक्छ। फास्ट एनिलिङ फर्नेसको च्याम्बरमा रहेको मुख्य कम्पोनेन्टमध्ये एउटा वेफर क्यारियर हो/वेफर रिसीभरवेफर्स लोड गर्नका लागि। प्रक्रिया कक्षमा वेफर हीटरको रूपमा, योवाहक प्लेटद्रुत ताप र तापमान समीकरण उपचारमा महत्त्वपूर्ण भूमिका खेल्छ।

सिलिकन कार्बाइड, एल्युमिनियम नाइट्राइड र ग्रेफाइट सिलिकन कार्बाइड द्रुत एनेलिङ भट्टीका लागि उपलब्ध सामग्रीहरू हुन्, र बजारमा मुख्य छनौट ग्रेफाइट रसिलिकन कार्बाइड कोटिंग सामग्रीको रूपमा।

निम्न छन्सुविधाहरू र उत्कृष्ट प्रदर्शनVeTek अर्धचालक SiC लेपित RTA RTP प्रक्रिया वेफर वाहक को:

-उच्च तापमान स्थिरता: SiC कोटिंगले उत्कृष्ट उच्च-तापमान स्थिरता प्रदर्शन गर्दछ, चरम तापक्रममा पनि संरचनाको अखण्डता र मेकानिकल बल सुनिश्चित गर्दै। यो क्षमताले गर्मी उपचार प्रक्रियाहरूको माग गर्नको लागि अत्यधिक उपयुक्त बनाउँछ।

-उत्कृष्ट थर्मल चालकता: SiC कोटिंग लेयरमा असाधारण थर्मल चालकता छ, छिटो र समान ताप वितरण सक्षम पार्दै। यसले छिटो ताप प्रशोधन गर्न अनुवाद गर्छ, तातो समयलाई उल्लेखनीय रूपमा घटाउँछ र समग्र उत्पादकता बढाउँछ। गर्मी स्थानान्तरण दक्षता सुधार गरेर, यसले उच्च उत्पादन दक्षता र उच्च उत्पादन गुणस्तरमा योगदान गर्दछ।

-रासायनिक जडता: सिलिकन कार्बाइडको अन्तर्निहित रासायनिक जडताले विभिन्न रसायनहरूबाट क्षरणको लागि उत्कृष्ट प्रतिरोध प्रदान गर्दछ। हाम्रो कार्बन-लेपित सिलिकन कार्बाइड वेफर क्यारियरले वेफरहरूलाई दूषित वा नोक्सान नगरी विविध रासायनिक वातावरणमा भरपर्दो रूपमा काम गर्न सक्छ।

-सतह समतलता: CVD सिलिकन कार्बाइड तहले थर्मल प्रशोधनको क्रममा वेफर्ससँग स्थिर सम्पर्कको ग्यारेन्टी गर्दै अत्यधिक समतल र चिल्लो सतह सुनिश्चित गर्दछ। यसले इष्टतम प्रशोधन परिणामहरू सुनिश्चित गर्दै अतिरिक्त सतह दोषहरूको परिचय हटाउँछ।

-हल्का र उच्च शक्ति: हाम्रो SiC लेपित RTP वेफर वाहक हल्का तौल छ तर उल्लेखनीय शक्ति छ। यो विशेषताले वेफर्सको सुविधाजनक र भरपर्दो लोडिङ र अनलोडिङ सुविधा दिन्छ।

RTA RTP प्रक्रिया वेफर क्यारियर कसरी प्रयोग गर्ने：

the use of RTA RTP Process wafer carrier

VeTek सेमीकन्डक्टरको SiC कोटिंग वेफर रिसीभर र रिसीभर कभर

RTA RTP रिसीभर RTA RTP वेफर वाहक RTP ट्रे (RTA द्रुत तताउने उपचारको लागि) RTP ट्रे (RTA द्रुत तताउने उपचारको लागि) RTP रिसीभर RTP वेफर समर्थन ट्रे

View as

द्रुत थर्मल एनिलिङ ससेप्टर

उपखेका अर्धडीले चीनमा सशक्त थर्मिडर निर्माता र आपूर्तिकर्ता हो, अर्धवान्द्र उद्योगको लागि उच्च प्रदर्शन समाधानहरू प्रदान गर्दै चीनमा आपूर्तिकर्ता हो। हामीसँग आकार कोटिंग सामग्रीको क्षेत्रमा धेरै उपलब्ध प्राविधिक संचयको गृहन प्राविधिक संचय छ। हाम्रो द्रुत थर्मल एनिटेन्सिंग सनपटेले वेफर एपिट्याक्चरल निर्माणको आवश्यकताहरू पूरा गर्न उत्कृष्ट उच्च तापक्रम प्रतिरोध र उत्कृष्ट थर्मल संकुचित रहेको छ। हाम्रो टेक्नोलोजी र उत्पादनहरूको बारेमा बढी जान्ने चीनमा हाम्रो कारखानाको भ्रमण गर्न तपाईंलाई स्वागत छ।

थप हेर्नुहोस् >> सोधपुछ पठाउनुहोस् >>

चीनमा एक पेशेवर {77 77} निर्माता र आपूर्तिकर्ता, हाम्रो आफ्नै कारखाना छ। तपाईंलाई आफ्नो क्षेत्रको विशिष्ट आवश्यकताहरू पूरा गर्न अनुकूलन सेवाहरू आवश्यक छ वा उन्नत र टिकाऊको खरीद गर्न चाहानुहुन्छ, तपाईं हामीलाई सन्देश छोड्न सक्नुहुन्छ।