VeTek Semiconductor अर्धचालक प्रशोधन को क्षेत्र मा आफ्नो नवीन साझेदार छ। हाम्रो अर्धचालक-ग्रेड सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक सामग्री संयोजन, कम्पोनेन्ट निर्माण क्षमताहरू, र अनुप्रयोग इन्जिनियरिङ सेवाहरूको विस्तृत पोर्टफोलियोको साथ, हामी तपाईंलाई महत्त्वपूर्ण चुनौतीहरू पार गर्न मद्दत गर्न सक्छौं। ईन्जिनियरिङ् प्राविधिक सिलिकन कार्बाइड सिरेमिकहरू उनीहरूको असाधारण सामग्री प्रदर्शनको कारण अर्धचालक उद्योगमा व्यापक रूपमा लागू हुन्छन्। VeTek सेमीकन्डक्टरको अल्ट्रा-शुद्ध सिलिकन कार्बाइड सिरेमिकहरू सेमीकन्डक्टर निर्माण र प्रशोधनको सम्पूर्ण चक्रमा प्रायः प्रयोग गरिन्छ।
डिफ्यूजन र LPCVD प्रशोधन
VeTek सेमीकन्डक्टरले विशेष गरी ब्याच प्रसार र LPCVD आवश्यकताहरूको लागि डिजाइन गरिएको इन्जिनियर गरिएको सिरेमिक कम्पोनेन्टहरू प्रदान गर्दछ:
● बफल्स र होल्डरहरू
● इन्जेक्टरहरू
● लाइनर र प्रक्रिया ट्यूबहरू
● सिलिकन कार्बाइड क्यान्टिलिभर प्याडलहरू
● वेफर डुङ्गा र पेडेस्टल
ETCH प्रक्रिया कम्पोनेन्टहरू
प्लाज्मा ईच प्रशोधनको कठोरताका लागि इन्जिनियर गरिएको उच्च शुद्धता कम्पोनेन्टहरू सहितको प्रदूषण र अनुसूचित मर्मत कम गर्नुहोस्:
● फोकस घण्टीहरू
● नोजलहरू
● ढालहरू
● शावरहेडहरू
● विन्डोज / लिडहरू
● अन्य अनुकूलन कम्पोनेन्टहरू
द्रुत थर्मल प्रशोधन र एपिटेक्सियल प्रक्रिया कम्पोनेन्टहरू
VeTek सेमीकन्डक्टरले अर्धचालक उद्योगमा उच्च-तापमान थर्मल प्रशोधन अनुप्रयोगहरूको लागि अनुकूलित उन्नत सामग्री कम्पोनेन्टहरू प्रदान गर्दछ। यी अनुप्रयोगहरूले RTP, Epi प्रक्रियाहरू, प्रसार, अक्सीकरण, र annealing समावेश गर्दछ। हाम्रो प्राविधिक सिरेमिकहरू थर्मल झटका सामना गर्न डिजाइन गरिएको हो, भरपर्दो र लगातार प्रदर्शन प्रदान। VeTek सेमीकन्डक्टरको कम्पोनेन्टहरूसँग, सेमीकन्डक्टर निर्माताहरूले सेमीकन्डक्टर उत्पादनको समग्र सफलतामा योगदान गर्दै, कुशल र उच्च-गुणस्तरको थर्मल प्रशोधन प्राप्त गर्न सक्छन्।
● डिफ्युजरहरू
● इन्सुलेटरहरू
● ससेप्टर्स
● अन्य अनुकूलन थर्मल कम्पोनेन्टहरू
मुख्य विशेषताहरु
● अति-उच्च शुद्धता: SiC सामग्री >99.96%, फ्री सिलिकन <0.1%, धातु प्रदूषण कम गर्दै।
● उत्कृष्ट उच्च-तापमान प्रदर्शन: काम गर्ने तापमान 1600°C (अक्सिडाइजिङ) / 1700°C (कम गर्दै) सम्म।
● द्रुत थर्मल चक्र अन्तर्गत विश्वसनीय प्रदर्शनको लागि उच्च थर्मल झटका प्रतिरोध र कम थर्मल विस्तार।
● उच्च यान्त्रिक शक्ति (संकुचन> 600 MPa) र प्रक्रिया ग्यास र प्लाज्मा विरुद्ध रासायनिक जडता।
● फैलावट/LPCVD, etch, RTP र epi प्रक्रियाहरूका लागि व्यापक उत्पादन दायरा — वेफर डुङ्गाबाट फोकस रिङहरू र आफू अनुकूल भागहरू सम्म।
● लामो सेवा जीवन र कम कण उत्पादन, कम मर्मत आवृत्ति र उत्पादन सुधार गर्न मद्दत।
उत्पादन निर्दिष्टीकरण
रिक्रिस्टलाइज्ड सिलिकन कार्बाइडको भौतिक गुणहरू
| सम्पत्ति |
सामान्य मान |
| काम गर्ने तापमान (°C) |
1600°C (अक्सिजन सहित), 1700°C (वातावरण घटाउने) |
| SiC / SiC सामग्री |
> 99.96% |
| Si / नि: शुल्क Si सामग्री |
< ०.१% |
| बल्क घनत्व |
2.60-2.70 ग्राम/सेमी³ |
| स्पष्ट porosity |
<16% |
| कम्प्रेसन बल |
> 600 MPa |
| चिसो झुकाउने शक्ति |
80-90 MPa (20°C) |
| तातो झुकाउने शक्ति |
90-100 MPa (1400°C) |
| थर्मल विस्तार @1500°C |
4.70 × 10⁻⁶/°C |
| थर्मल चालकता @1200°C |
23 W/m·K |
| लोचदार मोड्युलस |
240 GPa |
| थर्मल झटका प्रतिरोध |
अति राम्रो |
अनुप्रयोगहरू
अर्धचालक प्रक्रियाहरूको विविध आवश्यकताहरू पूरा गर्न, VeTek ले लक्षित सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक उत्पादनहरू प्रदान गर्दछ। निम्न तालिकाले तिनीहरूलाई प्रमुख अनुप्रयोग क्षेत्रहरूद्वारा वर्गीकृत गर्दछ:
| आवेदन क्षेत्र |
सामान्य उत्पादनहरू |
आवेदन विवरण |
| प्रसार र LPCVD |
SiC वेफर डुङ्गाहरू, cantilever paddles, प्रक्रिया ट्यूबहरू, लाइनर, इन्जेक्टर,चकित र धारकहरू
|
ब्याच प्रसार र LPCVD भट्टीहरूको लागि उच्च शुद्धता SiC कम्पोनेन्टहरू; उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता र रासायनिक प्रतिरोध 1600-1700 डिग्री सेल्सियस सम्म, कम प्रदूषण। |
| प्लाज्मा ईच प्रक्रिया |
फोकस घण्टीहरू, नोजलहरू, ढालहरू, शावरहेडहरू, झ्यालहरू/ढक्कनहरू, अनुकूलन नक्काशी कम्पोनेन्टहरू |
उच्च-शुद्धता SiC भागहरू प्लाज्मा ईच वातावरणको लागि ईन्जिनियर गरिएको; कण उत्पादन र अनुसूचित मर्मत, उच्च प्लाज्मा प्रतिरोध न्यूनतम गर्नुहोस्। |
| RTP / Epitaxial / थर्मल प्रशोधन |
susceptors, डिफ्यूजरहरू, इन्सुलेटरहरू, अनुकूलन थर्मल कम्पोनेन्टहरू |
RTP, epi, प्रसार, अक्सीकरण र annealing को लागि अवयवहरू; थर्मल झटका सामना गर्न र लगातार उच्च-तापमान प्रदर्शन प्रदान गर्न डिजाइन गरिएको। |
| SiC क्रिस्टल ग्रोथ (PVT) |
उच्च शुद्धता SiC पाउडर,7N CVD SiC कच्चा माल, बीज बन्धन सम्बन्धित भागहरू |
अल्ट्रा-शुद्ध SiC स्रोत सामग्री र PVT SiC एकल क्रिस्टल वृद्धिको लागि सहायक कम्पोनेन्टहरू, उत्पादन र क्रिस्टल गुणस्तर सुधार गर्दै। |
| वेफर ह्यान्डलिंग र क्यारियरहरू |
ठाडो/तेर्सो SiC वेफर डुङ्गाहरू, सिलिकन क्यासेट डुङ्गाहरू, पेडेस्टलहरू, सील घण्टीहरू
|
सटीक क्यारियरहरू र सील कम्पोनेन्टहरू जसले थर्मल एकरूपता, मेकानिकल स्थिरता र उच्च-तापमान प्रशोधनको क्रममा न्यूनतम प्रदूषण प्रदान गर्दछ। |
थप विस्तृत प्रक्रिया मिलान समाधानहरूको लागि, कृपया सन्दर्भ गर्नुहोस्ओक्सीकरण र प्रसार फर्नेससम्बन्धित पृष्ठहरू।
चीनमा एक पेशेवर सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक निर्माता र आपूर्तिकर्ताको रूपमा, हामीसँग हाम्रो आफ्नै कारखाना छ। तपाइँ तपाइँको क्षेत्र को विशिष्ट आवश्यकताहरु लाई पूरा गर्न को लागी अनुकूलित सेवाहरु को आवश्यकता हो वा चीन मा निर्मित उन्नत र टिकाऊ सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक किन्न चाहानुहुन्छ, तपाइँहामीलाई सन्देश छोड्नुहोस्.
