VeTek सेमीकन्डक्टर अल्ट्रा शुद्ध सिलिकन कार्बाइड कोटिंग उत्पादनहरूको उत्पादनमा माहिर छ, यी कोटिंगहरू शुद्ध ग्रेफाइट, सिरेमिक, र अपवर्तक धातु घटकहरूमा लागू गर्न डिजाइन गरिएको हो।
हाम्रो उच्च शुद्धता कोटिंग्स मुख्य रूपमा अर्धचालक र इलेक्ट्रोनिक्स उद्योगहरूमा प्रयोगको लागि लक्षित छन्। तिनीहरूले MOCVD र EPI जस्ता प्रक्रियाहरूमा सामना गर्ने संक्षारक र प्रतिक्रियाशील वातावरणहरूबाट सुरक्षित राख्दै वेफर क्यारियरहरू, ससेप्टरहरू र तताउने तत्वहरूको लागि सुरक्षात्मक तहको रूपमा सेवा गर्छन्। यी प्रक्रियाहरू वेफर प्रशोधन र उपकरण निर्माणको अभिन्न अंग हुन्। थप रूपमा, हाम्रा कोटिंगहरू भ्याकुम भट्टीहरू र नमूना तताउने अनुप्रयोगहरूको लागि उपयुक्त छन्, जहाँ उच्च भ्याकुम, प्रतिक्रियाशील, र अक्सिजन वातावरणहरू सामना गरिन्छ।
VeTek Semiconductor मा, हामी हाम्रो उन्नत मेसिन पसल क्षमताहरु संग एक व्यापक समाधान प्रदान गर्दछौं। यसले हामीलाई ग्रेफाइट, सिरेमिक, वा दुर्दम्य धातुहरू प्रयोग गरेर आधार घटकहरू निर्माण गर्न र घर भित्र SiC वा TaC सिरेमिक कोटिंगहरू लागू गर्न सक्षम बनाउँछ। हामी विभिन्न आवश्यकताहरू पूरा गर्न लचिलोपन सुनिश्चित गर्दै, ग्राहक-आपूर्ति गरिएका भागहरूको लागि कोटिंग सेवाहरू पनि प्रदान गर्दछौं।
हाम्रो सिलिकन कार्बाइड कोटिंग उत्पादनहरू Si epitaxy, SiC epitaxy, MOCVD प्रणाली, RTP/RTA प्रक्रिया, नक्काशी प्रक्रिया, ICP/PSS नक्काशी प्रक्रिया, नीलो र हरियो एलईडी, UV LED र गहिरो-UV सहित विभिन्न LED प्रकारहरूको प्रक्रियामा व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ। LED आदि, जुन LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL बाट उपकरणहरूमा अनुकूलित छ। ASM, Annealsys, TSI र यति।
रिएक्टर भागहरु हामीले गर्न सक्छौं:
सिलिकन कार्बाइड कोटिंग धेरै अद्वितीय फाइदाहरु:
VeTek अर्धचालक सिलिकन कार्बाइड कोटिंग प्यारामिटर
|
CVD SiC कोटिंग को आधारभूत भौतिक गुण
|
|
सम्पत्ति
|
सामान्य मान
|
|
क्रिस्टल संरचना
|
FCC β चरण polycrystalline, मुख्यतया (111) उन्मुख
|
|
SiC कोटिंग घनत्व
|
३.२१ ग्राम/सेमी³
|
|
SiC कोटिंग कठोरता
|
2500 विकर्स कठोरता (500 ग्राम लोड)
|
|
अनाज साइज
|
2~10μm
|
|
रासायनिक शुद्धता
|
९९.९९९९५%
|
|
गर्मी क्षमता
|
640 J·kg-१· के-१
|
|
उदात्तीकरण तापमान
|
2700 ℃
|
|
लचिलो शक्ति
|
415 MPa RT 4-बिन्दु
|
|
युवाको मोडुलस
|
430 Gpa 4pt बेंड, 1300℃
|
|
थर्मल चालकता
|
300W·m-१· के-१
|
|
थर्मल विस्तार (CTE)
|
4.5×10-6K-१
|
CVD SIC फिल्म क्रिस्टल संरचना
