उत्पादनहरू

सिलिकन कार्बाइड कोटिंग

VeTek सेमीकन्डक्टर अल्ट्रा शुद्ध सिलिकन कार्बाइड कोटिंग उत्पादनहरूको उत्पादनमा माहिर छ, यी कोटिंगहरू शुद्ध ग्रेफाइट, सिरेमिक, र अपवर्तक धातु घटकहरूमा लागू गर्न डिजाइन गरिएको हो।


हाम्रो उच्च शुद्धता कोटिंग्स मुख्य रूपमा अर्धचालक र इलेक्ट्रोनिक्स उद्योगहरूमा प्रयोगको लागि लक्षित छन्। तिनीहरूले MOCVD र EPI जस्ता प्रक्रियाहरूमा सामना गर्ने संक्षारक र प्रतिक्रियाशील वातावरणहरूबाट सुरक्षित राख्दै वेफर क्यारियरहरू, ससेप्टरहरू र तताउने तत्वहरूको लागि सुरक्षात्मक तहको रूपमा सेवा गर्छन्। यी प्रक्रियाहरू वेफर प्रशोधन र उपकरण निर्माणको अभिन्न अंग हुन्। थप रूपमा, हाम्रा कोटिंगहरू भ्याकुम भट्टीहरू र नमूना तताउने अनुप्रयोगहरूको लागि उपयुक्त छन्, जहाँ उच्च भ्याकुम, प्रतिक्रियाशील, र अक्सिजन वातावरणहरू सामना गरिन्छ।


VeTek Semiconductor मा, हामी हाम्रो उन्नत मेसिन पसल क्षमताहरु संग एक व्यापक समाधान प्रदान गर्दछौं। यसले हामीलाई ग्रेफाइट, सिरेमिक, वा दुर्दम्य धातुहरू प्रयोग गरेर आधार घटकहरू निर्माण गर्न र घर भित्र SiC वा TaC सिरेमिक कोटिंगहरू लागू गर्न सक्षम बनाउँछ। हामी विभिन्न आवश्यकताहरू पूरा गर्न लचिलोपन सुनिश्चित गर्दै, ग्राहक-आपूर्ति गरिएका भागहरूको लागि कोटिंग सेवाहरू पनि प्रदान गर्दछौं।


हाम्रो सिलिकन कार्बाइड कोटिंग उत्पादनहरू Si epitaxy, SiC epitaxy, MOCVD प्रणाली, RTP/RTA प्रक्रिया, नक्काशी प्रक्रिया, ICP/PSS नक्काशी प्रक्रिया, नीलो र हरियो एलईडी, UV LED र गहिरो-UV सहित विभिन्न LED प्रकारहरूको प्रक्रियामा व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ। LED आदि, जुन LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL बाट उपकरणहरूमा अनुकूलित छ। ASM, Annealsys, TSI र यति।


रिएक्टर भागहरु हामीले गर्न सक्छौं:


Aixtron G5 MOCVD Susceptors


सिलिकन कार्बाइड कोटिंग धेरै अद्वितीय फाइदाहरु:

Silicon Carbide Coating several unique advantages



VeTek अर्धचालक सिलिकन कार्बाइड कोटिंग प्यारामिटर

CVD SiC कोटिंग को आधारभूत भौतिक गुण
सम्पत्ति सामान्य मान
क्रिस्टल संरचना FCC β चरण polycrystalline, मुख्यतया (111) उन्मुख
SiC कोटिंग घनत्व ३.२१ ग्राम/सेमी³
SiC कोटिंग कठोरता 2500 विकर्स कठोरता (500 ग्राम लोड)
अनाज साइज 2~10μm
रासायनिक शुद्धता ९९.९९९९५%
गर्मी क्षमता 640 J·kg-१· के-१
उदात्तीकरण तापमान 2700 ℃
लचिलो शक्ति 415 MPa RT 4-बिन्दु
युवाको मोडुलस 430 Gpa 4pt बेंड, 1300℃
थर्मल चालकता 300W·m-१· के-१
थर्मल विस्तार (CTE) 4.5×10-6K-१

CVD SIC फिल्म क्रिस्टल संरचना

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE



Silicon Carbide coated Epi susceptor सिलिकन कार्बाइड लेपित Epi ससेप्टर SiC Coating Wafer Carrier SiC कोटिंग वेफर क्यारियर SiC coated Satellite cover for MOCVD MOCVD को लागि SiC लेपित उपग्रह आवरण CVD SiC Coating Wafer Epi Susceptor CVD SiC कोटिंग वेफर एपि ससेप्टर CVD SiC coating Heating Element CVD SiC कोटिंग ताप तत्व Aixtron Satellite wafer carrier Aixtron उपग्रह वेफर वाहक SiC Coating Epi susceptor SiC कोटिंग Epi रिसीभर SiC coating halfmoon graphite parts SiC कोटिंग हाफमून ग्रेफाइट भागहरू


उत्पादनहरू
View as  
 
ठोस SiC फोकस रिंगहरू

ठोस SiC फोकस रिंगहरू

वेफर ट्र्याकिङ जोन वरिपरि डिजाइन गरिएको, ठोस SiC फोकस रिंगले रैखिक प्लाज्मा वितरण र सटीक किनारा-देखि-केन्द्र नक्काशी प्रोफाइलहरू सुनिश्चित गर्दछ। यी प्रिमियम β-SiC कम्पोनेन्टहरू भेटेक सेमीकन्डक्टर (Wuyi Tianyao New Material Technology Co., LTD) द्वारा निर्माण गरिएको हो। कच्चा माललाई घना, बाइन्डरलेस म्याट्रिक्समा वाष्पीकरण गरेर, भेटेकले पुरानो सामग्रीहरूमा हुने झरझरा माइक्रो-ग्यापहरू हटाउँछ। मानक क्वार्ट्ज वा सिलिकन सिल्डिङको तुलनामा, हाम्रो CVD SiC कम्पोनेन्टहरू गहिरो सब-7nm तर्क र घने मेमोरी चिप निर्माणमा वेफरलाई सुरक्षित राख्दै, संक्षारक हलोजन ग्यासहरूमा अझ राम्रोसँग खडा हुन्छन्। तपाईंको थप सोधपुछको लागि तत्पर छ।
AMAT 0200-03201 CVD SiC वेफर लिफ्ट पिन

AMAT 0200-03201 CVD SiC वेफर लिफ्ट पिन

VeTek बाट यो AMAT 0200-03201 वेफर लिफ्ट पिन उच्च-शुद्धता ग्रेफाइटबाट सुरु हुन्छ, त्यसपछि हामी माथि एक बाक्लो CVD SiC कोटिंग थप्छौं। यो 300mm epitaxy प्रणाली र एप्लाइड सामग्री EPI रिएक्टरहरूको लागि बनाइएको छ। ग्रेफाइट र SiC किन? ग्रेफाइटले गर्मीलाई राम्रोसँग ह्यान्डल गर्छ। SiC लेयरले संक्षारक ग्यासहरू लिन्छ र चाँडै बाहिर जाँदैन। पातलो पर्खाल डिजाइन? त्यो क्लिनर वेफर लिफ्टिङ र स्थिति, कम कणहरू, र उच्च तापमान अन्तर्गत लामो भाग जीवनको लागि हो। हामी ASM, Aixtron, र LPE प्रणालीहरूको लागि समान SiC लेपित ग्रेफाइट भागहरू पनि बनाउँछौं। तपाईको सोधपुछको लागि तत्पर छ।
VEECO MOCVD (LED Epitaxy) को लागि वेफर क्यारियर

VEECO MOCVD (LED Epitaxy) को लागि वेफर क्यारियर

Vetek Semiconductor ले VEECO MOCVD प्रणालीहरूका लागि वेफर क्यारियरहरू बनाउँछ, विशेष रूपमा LED epitaxy कार्यहरू जस्तै GaN LEDs, नीलो-हरियो LEDs, र गहिरो UV LED वृद्धिको लागि निर्मित। यी वाहकहरू उच्च-शुद्धता ग्रेफाइटबाट सुरु हुन्छन् र घना CVD सिलिकन कार्बाइड (SiC) कोटिंग पाउँछन्। त्यो संयोजन तपाईले MOCVD मा देख्नुहुने उच्च तापक्रम अन्तर्गत राम्रोसँग राख्छ - राम्रो थर्मल स्थिरता, जंग प्रतिरोध, र कोटिंग टिक्छ।
LPE प्रतिक्रिया च्याम्बर को लागी हाफमून

LPE प्रतिक्रिया च्याम्बर को लागी हाफमून

हाफमुन LPE SiC रिएक्टरहरू भित्र प्रयोग हुने ग्रेफाइट कम्पोनेन्ट हो, मुख्यतया च्याम्बर तातो क्षेत्र वरिपरि स्थापित हुन्छ। यद्यपि यसले वेफरलाई सीधा सम्पर्क गर्दैन, यसले अझै पनि ग्यास प्रवाह स्थिरता र epitaxial वृद्धिको समयमा रिएक्टर सञ्चालनमा भूमिका खेल्छ। उच्च तापक्रम र प्रतिक्रियाशील प्रक्रिया अवस्थाहरू ह्यान्डल गर्न, कम्पोनेन्ट सामान्यतया CVD SiC कोटिंगद्वारा सुरक्षित हुन्छ, जबकि TaC कोटिंग केही अनुप्रयोगहरूको लागि पनि उपलब्ध छ। VETEK ले SiC epitaxy प्रणालीहरूको लागि ग्रेफाइट इन्सुलेशन र अन्य लेपित ग्रेफाइट भागहरू पनि आपूर्ति गर्दछ।
8-इन्च CVD सिलिकन कार्बाइड (SiC) लेपित Epitaxy शीर्ष रिंग

8-इन्च CVD सिलिकन कार्बाइड (SiC) लेपित Epitaxy शीर्ष रिंग

8-इन्च SiC epi शीर्ष रिंग अर्धचालक रिएक्टरहरूको लागि हार्डवेयर भाग हो। यसले Si/SiC epitaxy र MOCVD/CVD प्रणालीहरूमा काम गर्छ। यो औंठीले चेम्बर भित्रको तापलाई स्थिर गर्छ। यसले ग्यासको प्रवाहलाई पनि नियन्त्रण गर्छ। सामग्री उच्च शुद्धता CVD सिलिकन कार्बाइड हो। यसमा ग्रेफाइटको बहिर्गमन समस्याहरू छैनन्। यसले उत्पादनको क्रममा कण प्रदूषणलाई पनि कम गर्छ। हामी तपाईंको सोधपुछलाई स्वागत गर्दछौं।
MOCVD SiC लेपित ससेप्टर

MOCVD SiC लेपित ससेप्टर

VETEK MOCVD SiC कोटेड ससेप्टर एक सटीक-इन्जिनियर गरिएको क्यारियर समाधान हो जुन विशेष रूपमा एलईडी र कम्पाउन्ड सेमीकन्डक्टर एपिटेक्सियल वृद्धिको लागि विकसित गरिएको छ। यसले जटिल MOCVD वातावरण भित्र असाधारण थर्मल एकरूपता र रासायनिक जडता देखाउँछ। VETEK को कठोर CVD डिपोजिसन प्रक्रियाको फाइदा उठाउँदै, हामी तपाईंको अर्धचालक उत्पादनको प्रत्येक ब्याचको लागि स्थिर र भरपर्दो कार्यसम्पादन आश्वासन प्रदान गर्दै, वेफर वृद्धि स्थिरता बढाउन र कोर कम्पोनेन्टहरूको सेवा जीवन विस्तार गर्न प्रतिबद्ध छौं।
चीनमा एक पेशेवर {77 77} निर्माता र आपूर्तिकर्ता, हाम्रो आफ्नै कारखाना छ। तपाईंलाई आफ्नो क्षेत्रको विशिष्ट आवश्यकताहरू पूरा गर्न अनुकूलन सेवाहरू आवश्यक छ वा उन्नत र टिकाऊको खरीद गर्न चाहानुहुन्छ, तपाईं हामीलाई सन्देश छोड्न सक्नुहुन्छ।
X
हामी तपाईंलाई राम्रो ब्राउजिङ अनुभव प्रदान गर्न, साइट ट्राफिक विश्लेषण र सामग्री निजीकृत गर्न कुकीहरू प्रयोग गर्छौं। यो साइट प्रयोग गरेर, तपाईं कुकीहरूको हाम्रो प्रयोगमा सहमत हुनुहुन्छ।गोपनीयता नीति
अस्वीकार गर्नुहोस्स्वीकार गर्नुहोस्