VeTek सेमीकन्डक्टर अल्ट्रा शुद्ध सिलिकन कार्बाइड कोटिंग उत्पादनहरूको उत्पादनमा माहिर छ, यी कोटिंगहरू शुद्ध ग्रेफाइट, सिरेमिक, र अपवर्तक धातु घटकहरूमा लागू गर्न डिजाइन गरिएको हो।
हाम्रो उच्च शुद्धता कोटिंग्स मुख्य रूपमा अर्धचालक र इलेक्ट्रोनिक्स उद्योगहरूमा प्रयोगको लागि लक्षित छन्। तिनीहरूले MOCVD र EPI जस्ता प्रक्रियाहरूमा सामना गर्ने संक्षारक र प्रतिक्रियाशील वातावरणहरूबाट सुरक्षित राख्दै वेफर क्यारियरहरू, ससेप्टरहरू र तताउने तत्वहरूको लागि सुरक्षात्मक तहको रूपमा सेवा गर्छन्। यी प्रक्रियाहरू वेफर प्रशोधन र उपकरण निर्माणको अभिन्न अंग हुन्। थप रूपमा, हाम्रा कोटिंगहरू भ्याकुम फर्नेस र नमूना तताउने अनुप्रयोगहरूको लागि उपयुक्त छन्, जहाँ उच्च भ्याकुम,
प्रतिक्रियाशील, र अक्सिजन वातावरण सामना गरिन्छ।
VeTek Semiconductor मा, हामी हाम्रो उन्नत मेसिन पसल क्षमताहरु संग एक व्यापक समाधान प्रदान गर्दछौं। यसले हामीलाई ग्रेफाइट, सिरेमिक, वा अपवर्तक धातुहरू प्रयोग गरेर आधार घटकहरू निर्माण गर्न र घर भित्र SiC वा TaC सिरेमिक कोटिंगहरू लागू गर्न सक्षम बनाउँछ। हामी विभिन्न आवश्यकताहरू पूरा गर्न लचिलोपन सुनिश्चित गर्दै, ग्राहक-आपूर्ति गरिएका भागहरूको लागि कोटिंग सेवाहरू पनि प्रदान गर्दछौं।
हाम्रो सिलिकन कार्बाइड कोटिंग उत्पादनहरू Si epitaxy, SiC epitaxy, MOCVD प्रणाली, RTP/RTA प्रक्रिया, नक्कल प्रक्रिया, ICP/PSS नक्काशी प्रक्रिया, नीलो र हरियो LED, UV LED र deep-UV LED आदि सहित विभिन्न LED प्रकारको प्रक्रियामा व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ, जुन Apted छ, LPE, नुफ्ला, नुफ्ला उपकरणहरू ASM, Annealsys, TSI र यति।
रिएक्टर भागहरु हामीले गर्न सक्छौं:
मुख्य विशेषताहरु
● अति-उच्च शुद्धता (९९.९९९९५%) घना β-फेज पोलिक्रिस्टलाइन संरचनाको साथ न्यूनतम कण उत्पादनको लागि।
● HCl, NH₃, H₂, SiH₄ र अन्य संक्षारक प्रक्रिया ग्यासहरूको लागि उत्कृष्ट रासायनिक प्रतिरोध।
● उच्च थर्मल चालकता (~300 W·m⁻¹·K⁻¹) र 2700°C को सबलिमेशन तापमान सम्म थर्मल स्थिरता।
● उच्च कठोरता (2500 Vickers) र ग्रेफाइट, सिरेमिक र अपवर्तक धातुहरूमा बलियो आसंजन।
● ससेप्टर, क्यारियर, शावर हेड र तताउने तत्वहरू सहित जटिल ज्यामितिहरूको लागि उपयुक्त कन्फर्मल कोटिंग कभरेज।
● प्रमुख उपकरण प्लेटफर्महरूसँग उपयुक्त: LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI र थप।
सिलिकन कार्बाइड कोटिंग धेरै अद्वितीय फाइदाहरू
उत्पादन निर्दिष्टीकरण
VeTek अर्धचालक सिलिकन कार्बाइड कोटिंग प्यारामिटर
| CVD SiC कोटिंग को आधारभूत भौतिक गुण |
| सम्पत्ति |
सामान्य मान |
| क्रिस्टल संरचना |
FCC β चरण polycrystalline, मुख्यतया (111) उन्मुख |
| SiC कोटिंग घनत्व |
३.२१ ग्राम/सेमी³ |
| SiC कोटिंग कठोरता |
2500 विकर्स कठोरता (500 ग्राम लोड) |
| अनाज आकार |
2~10μm |
| रासायनिक शुद्धता |
९९.९९९९५% |
| गर्मी क्षमता |
६४० J·kg⁻¹·K⁻¹ |
| उदात्तीकरण तापमान |
2700 ℃ |
| फ्लेक्सरल शक्ति |
415 MPa RT 4-बिन्दु |
| युवा मोडलस |
430 GPa 4pt बेन्ड, 1300℃ |
| थर्मल चालकता |
३०० W·m⁻¹·K⁻¹ |
| थर्मल विस्तार (CTE) |
४.५×१०⁻⁶ K⁻¹ |
CVD SIC फिल्म क्रिस्टल संरचना
अनुप्रयोगहरू
अर्धचालक प्रक्रियाहरूको विविध आवश्यकताहरू पूरा गर्न, VeTek ले लक्षित सिलिकन कार्बाइड कोटिंग उत्पादनहरू प्रदान गर्दछ। निम्न तालिकाले तिनीहरूलाई प्रमुख अनुप्रयोग क्षेत्रहरूद्वारा वर्गीकृत गर्दछ, विशिष्ट घटकहरू र लागू प्रक्रियाहरू सूचीबद्ध गर्दछ:
| आवेदन क्षेत्र |
सामान्य उत्पादनहरू |
आवेदन विवरण |
| सी एपिटेक्सी |
CVD SiC लेपित ग्रेफाइट ससेप्टर, SiC कोटिंग वेफर क्यारियर, एपि ससेप्टर
|
सिलिकन एपिटेक्सियल प्रक्रियाहरूको लागि उपयुक्त, समान तापमान वितरण, रासायनिक प्रतिरोध र उच्च-गुणस्तर एपि तहहरूको लागि कम कण उत्पादन प्रदान गर्दै। |
| SiC Epitaxy |
CVD SiC लेपित ग्रह ससेप्टर, SiC लेपित वेफर ससेप्टर, गाइड औंठी |
उच्च-तापमान SiC epitaxial वृद्धि (LPE आदि) को लागि, थर्मल स्थिरता र सफा इन्टरफेस प्रदान गर्दै फिल्म एकरूपता र प्रक्रिया उपज सुनिश्चित गर्न। |
| GaN / LED Epitaxy (MOCVD) |
SiC लेपित उपग्रह आवरण, नुहाउने टाउको, उपग्रह डिस्क, मास्किङ औंठी |
Aixtron, Veeco MOCVD प्रणाली संग उपयुक्त; H₂/NH₃ क्षरण प्रतिरोध गर्दछ, कण प्रदूषण कम गर्दछ र LED epi उपज (नीलो, हरियो, UV, गहिरो-UV) सुधार गर्दछ। |
| RTP / RTA प्रक्रिया |
CVD SiC लेपित RTP ससेप्टर, RTP RTA वाहक, ताप तत्वहरू
|
द्रुत थर्मल प्रशोधन र annealing लागि डिजाइन; उत्कृष्ट थर्मल चालकता र आयामी स्थिरता संग दोहोर्याइएको उच्च-तापमान साइकल चलाउनको सामना गर्दछ। |
| नक्काशी / ICP / PSS |
ठोस SiC फोकस रिंगहरू, इच चेम्बरहरूको लागि SiC लेपित घटकहरू
|
उच्च कठोरता र प्लाज्मा प्रतिरोधले च्याम्बर भागहरू सुरक्षित गर्दछ, एच प्रोफाइल एकरूपता सुनिश्चित गर्दछ र हलोजन-धनी वातावरणमा सेवा जीवन विस्तार गर्दछ। |
| उच्च-ताप ताप र समर्थन |
CVD SiC कोटिंग ताप तत्व, वेफर वाहकहरू, susceptors
|
प्रेरण/प्रतिरोधी ताप र भ्याकुम फर्नेस अनुप्रयोगहरूको लागि; उच्च कठोरता, थर्मल झटका प्रतिरोध र लामो घटक आयु प्रदान गर्दछ। |
थप विस्तृत प्रक्रिया मिलान समाधानहरूको लागि, कृपया सन्दर्भ गर्नुहोस्सिलिकन एपिटेक्सीरसिलिकन कार्बाइड एपिटेक्सीसम्बन्धित आवेदन पृष्ठहरू।
चीनमा एक पेशेवर सिलिकन कार्बाइड कोटिंग निर्माता र आपूर्तिकर्ताको रूपमा, हामीसँग हाम्रो आफ्नै कारखाना छ। तपाइँ तपाइँको क्षेत्र को विशिष्ट आवश्यकताहरु लाई पूरा गर्न को लागी अनुकूलित सेवाहरु को आवश्यकता हो वा चीन मा निर्मित उन्नत र टिकाऊ सिलिकन कार्बाइड कोटिंग किन्न चाहानुहुन्छ, तपाइँहामीलाई सन्देश छोड्नुहोस्.
