ठोस सिलिकन कार्बाइड

VeTek अर्धचालक ठोस सिलिकन कार्बाइड प्लाज्मा नक्काशी उपकरण, ठोस सिलिकन कार्बाइड मा एक महत्वपूर्ण सिरेमिक घटक हो।CVD सिलिकन कार्बाइड) नक्काशी उपकरणमा भागहरू समावेश छन्फोकस गर्ने घण्टीहरू, ग्यास शावरहेड, ट्रे, एज रिङ्हरू, इत्यादि। ठोस सिलिकन कार्बाइड (CVD सिलिकन कार्बाइड) को क्लोरीन - र फ्लोरिन युक्त नक्काशी ग्यासहरूमा कम प्रतिक्रियाशीलता र चालकताका कारण, यो प्लाज्मा इचिङ उपकरणहरू फोकस गर्ने घण्टीहरू र अन्यका लागि एक आदर्श सामग्री हो। अवयवहरू।

उदाहरण को लागी, फोकस रिंग एक महत्वपूर्ण भाग हो जुन वेफर बाहिर र वेफर संग प्रत्यक्ष सम्पर्क मा राखिएको छ, रिंग को माध्यम बाट जाने प्लाज्मा फोकस गर्न रिंग मा एक भोल्टेज लागू गरेर, यसरी एकरूपता सुधार गर्न वेफर मा प्लाज्मा केन्द्रित। प्रशोधन। परम्परागत फोकस रिंग सिलिकन वा बनाइएको छक्वार्ट्ज, प्रवाहकीय सिलिकन एक साधारण फोकस औंठी सामाग्री को रूप मा, यो लगभग सिलिकन वेफर्स को चालकता को नजिक छ, तर अभाव फ्लोरिन युक्त प्लाज्मा मा गरीब नक्काशी प्रतिरोध छ, नक्कली मेशिन पार्ट्स सामाग्री अक्सर समय को लागी प्रयोग गरिन्छ, त्यहाँ गम्भीर हुनेछ। क्षरण घटना, गम्भीर रूपमा यसको उत्पादन दक्षता कम गर्दै।

Solid SiC फोकस रिंगकार्य सिद्धान्त：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

र आधारित फोकसिङ रिङ र CVD SiC फोकसिङ रिङको तुलना:

र आधारित फोकसिङ रिङ र CVD SiC फोकसिङ रिङको तुलना
वस्तु	र	CVD SiC
घनत्व (g/cm³)	2.33	3.21
ब्यान्ड ग्याप (eV)	1.12	2.3
थर्मल चालकता (W/cm℃)	1.5	5
CTE (x10^-६/℃)	2.6	4
लोचदार मोड्युलस (GPa)	150	440
कठोरता (GPa)	11.4	24.5
लगाउने र जंग प्रतिरोध	गरिब	उत्कृष्ट

VeTek सेमीकन्डक्टरले उन्नत ठोस सिलिकन कार्बाइड (CVD सिलिकन कार्बाइड) भागहरू प्रदान गर्दछ जस्तै अर्धचालक उपकरणहरूको लागि SiC फोकस गर्ने घण्टीहरू। हाम्रो ठोस सिलिकन कार्बाइड फोकस गर्ने घण्टीहरूले मेकानिकल बल, रासायनिक प्रतिरोध, थर्मल चालकता, उच्च-तापमान स्थायित्व, र आयन नक्काशी प्रतिरोधको सन्दर्भमा परम्परागत सिलिकनलाई पछाडि पार्छ।

हाम्रो SiC फोकस गर्ने घण्टीहरूको मुख्य विशेषताहरू समावेश छन्:

कम नक्काशी दरहरूको लागि उच्च घनत्व।

उच्च ब्यान्डग्यापको साथ उत्कृष्ट इन्सुलेशन।

उच्च थर्मल चालकता र थर्मल विस्तार को कम गुणांक।

सुपीरियर मेकानिकल प्रभाव प्रतिरोध र लोच।

उच्च कठोरता, पहिरन प्रतिरोध, र जंग प्रतिरोध।

प्रयोग गरेर उत्पादन गरिन्छप्लाज्मा-वर्धित रासायनिक वाष्प निक्षेप (PECVD)प्रविधिहरू, हाम्रो SiC फोकस गर्ने घण्टीहरूले सेमीकन्डक्टर निर्माणमा नक्काशी प्रक्रियाहरूको बढ्दो मागहरू पूरा गर्दछ। तिनीहरू उच्च प्लाज्मा पावर र ऊर्जाको सामना गर्न डिजाइन गरिएका छन्, विशेष गरीcapacitively युग्मित प्लाज्मा (CCP)प्रणालीहरू।

VeTek सेमीकन्डक्टरको SiC फोकस गर्ने घण्टीहरूले अर्धचालक उपकरण निर्माणमा असाधारण प्रदर्शन र विश्वसनीयता प्रदान गर्दछ। उच्च गुणस्तर र दक्षताको लागि हाम्रो SiC कम्पोनेन्टहरू छनौट गर्नुहोस्।

View as

उच्च शुद्धता CVD SIC कच्चा माल

उच्च शुद्धता CVD SVD अनुभवी र CVD द्वारा तयार गरिएको सिलिकन कार्बर्ड क्रिस्टल बृद्धिको लागि उत्तम स्रोत सामग्री हो। अनुभवी अर्धविकाले आपूर्ति गरिएको उच्च शुद्धताको घनत्व सीआई र सी-सी-कयमिंग ग्यासहरूको अभिव्यक्तिको आवश्यकता भन्दा बढी छ, र यसलाई लगभग स्थिर वाष्पीकरण दर चाहिन्छ। यो अत्यन्त उच्च गुणवत्ताको हे एकल क्रिस्टल हुन सक्छ। तपाईंको सोधपुछको लागि अगाडि हेर्दै।

थप हेर्नुहोस् >> सोधपुछ पठाउनुहोस् >>

ठोस अनुकू वाफर क्यारियर

VETEK SEMIMDONDUCER को ठोस साइक वेयर क्यारियर सेनीन्डुअल एपिट्याजिकल प्रक्रियाहरूमा उच्च तापमान वारको लागि डिजाइन गरिएको छ र उच्च शुद्धता आवश्यकताहरूको साथ प्रत्येक प्रकारका वेफिक निर्माणहरूको लागि उपयुक्त छ। चीनमा एक अग्रणी वेरेनर क्यारियर आपूर्तिकर्ता हो र अर्धवारा उद्योगमा तपाईंको दीर्घकालीन पार्टनर बन्न अगाडि हेर्दछ।

थप हेर्नुहोस् >> सोधपुछ पठाउनुहोस् >>

ठोस SIC डिस्क-आकारको स्नान टाउको

VETEK SEMIMonducore एक अग्रणी अर्धचालक क्षेत्र निर्माता हो र ठोस SIC डिस्क-आकारको स्नान स्नानको लागि एक पेशेवर निर्माता र आपूर्तिकर्ता। हाम्रो डिस्क आकार स्नान टाउकोमा पातलो फिल्म जम्मा उत्पादनको रूपमा प्रयोग गरिएको छ, प्रतिक्रिया ग्यासको समान वितरण सुनिश्चित गर्न CVD प्रक्रियामा र CVD भट्टीको कोर कम्पोनेन्टहरू मध्ये एक हो।

थप हेर्नुहोस् >> सोधपुछ पठाउनुहोस् >>

SIC SHITING भाग

एक उन्नत SIC SICHING फींग भाग उत्पादक र चीनमा कारखाना। VETEK SEMITANDUCHOCTO SIC SICHING फ्रिन्ट फ्रि क्लाइमेन्ट कम्पोनेन्ट कम्पोनेन्ट कम्पोलिंग कम्पोटिंग कम्पोटिंग कम्पोटिंग कम्पोटिंग कम्पोनेन्टल व्यापक रूपमा प्रयोग गरिएको छ अर्धवान्डुनिक प्रशोधन र उच्च दबाव प्रक्रियाहरूमा। तपाईंको थप परामर्श स्वागत गर्नुहोस्।

थप हेर्नुहोस् >> सोधपुछ पठाउनुहोस् >>

सिलिकन कार्बर्ड स्नान टाउको

सिलिकन कार्थ्रिड स्नान टाउकोको उत्कृष्ट तापमान, रासायनिक स्थिरता, थर्मल संकुलवादी र राम्रो ग्यास वितरण प्रदर्शन, जसले वर्दी ग्यास वितरण प्राप्त गर्न सक्दछ र फिल्म गुणस्तर हासिल गर्न सक्दछ। तसर्थ, यो सामान्यतया उच्च तापमान प्रक्रियाहरूमा रासायनिक बाल जम्मा (CVD) वा भौतिक बाफ जम्मा (pvd) प्रक्रियाहरू (pvd) प्रक्रियाहरू। हामीलाई थप परामर्श अमेरिका, VETEC अर्धोन्डरकक्टिकमा स्वागत छ।

थप हेर्नुहोस् >> सोधपुछ पठाउनुहोस् >>

सिलिकन कार्बइड सील सिट रिंग

एक पेशेवर सिलिकन क्यारेड सील एड्डिंग उत्पादन निर्माता निर्माणकर्ता र चीनमा कारखाना अर्धविश्म विरोधी उपकरणमा व्यापक रूपमा प्रयोग गरिएको छ र यसको कारण विक्रेता शक्ति प्रतिरोध र थर्मल संकुचित छ। यो विशेष गरी CVD, PVD र प्लाज्मा ecching प्रक्रिया जस्तै उच्च तापमान र प्रतिक्रियाशील ग्याँसहरु संग समावेश गरी प्रक्रियाहरु को लागी उपयुक्त छ, र अर्धवांडर पक्ष निर्मित प्रक्रिया मा एक प्रमुख सामग्री विकल्प हो। तपाईंको थप सोधपुछ स्वागत छ।

थप हेर्नुहोस् >> सोधपुछ पठाउनुहोस् >>

चीनमा एक पेशेवर {77 77} निर्माता र आपूर्तिकर्ता, हाम्रो आफ्नै कारखाना छ। तपाईंलाई आफ्नो क्षेत्रको विशिष्ट आवश्यकताहरू पूरा गर्न अनुकूलन सेवाहरू आवश्यक छ वा उन्नत र टिकाऊको खरीद गर्न चाहानुहुन्छ, तपाईं हामीलाई सन्देश छोड्न सक्नुहुन्छ।