ठोस सिलिकन कार्बर्ड

VETEK SEMIMondUCTUTUTUCTUTUCTUTACE ठोस सिलिकन कार्थ्रोइड प्लाज्मा ecching उपकरणमा एक महत्त्वपूर्ण सिरामिक कम्पोनेन्ट हो, ठोस सिलिकन कार्थ्रोड (CVD सिलिकन कार्बइड) ECCHing उपकरणमा भागहरू समावेश गर्दछकेन्द्रित रिंगहरू, ग्यास स्नानहेड, ट्रे रिंगहरू, एज रिंग्स, आदि कम रीलिकदार कार्ब्याइड र फ्लोरिन-इनकन ग्यासहरू, यो प्लाज्मा-इन इचिंग ग्यासहरू हो, यो एक आदर्श सामग्री हो र अन्य कम्पोनेन्टहरू।

उदाहरण को लागी, फोकस रिंग एक महत्त्वपूर्ण हिस्सा हो कि वेधर बाहिर राखिएको एक भोल्टेज संग प्रत्यक्ष सम्पर्क मा, किताब को लागी एक भोल्टेज को लागी पुन: प्राप्त गर्न को लागी playma मा प्रसंस्करण सुधार गर्न। परम्परागत फोकस सिलिकून वा बनेको छचौकसी, एक साझा फोकस रिंग सामग्रीको रूपमा, सिलिकन वेफरहरूको सञ्चालनको करीव नजिक छ, तर अक्सर केही अवधिमा प्रतिरोध गरिन्छ, गम्भीरतापूर्वक यसको उत्पादन दक्षता हुनेछ।

Sओलिड SIC फोकस रिंगकार्यरत सिद्धान्त：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

SI आधारित फोकस रिंग र CVD SIC फोकस रिंग:

SI आधारित फोक्ने रिंग र CVD SIC फोकस रिंगको तुलना
चिज	र	CVD SIC
घनत्व (g / सेमी)³)	2.33	3.21
ब्यान्ड ग्याप (इभ)	1.12	2.3
थर्मल संकुचितता (W / CM ℃)	1.5	5
Ctt (x10)^-6/ ℃)	2.6	4
लोचदार मोडुलस (GPA)	150	440
कठोरता (GPA)	11.4	24.5
लगाउन र प्रतिबन्धको प्रतिरोध	गरिब	उतम

Vettk Seiawonductorterngeally उन्नत ठोस सिलिकन क्यारिकन कार्बइड (CVD सिलिकन कार्बइड) अर्धोन्डरकय उपकरणहरूको लागि SIC मा स्तनपानहरू जस्ता भागहरू। हाम्रो ठोस सिलिकॉन कार्लब्याड न्यूज फोर्सोले परम्परागत शक्ति, रासायनिक प्रतिरोध, थर्मल संकुचन, उच्च-तापमान स्थानान्तरण, र आयनले पूर्वीर्ण प्रतिरोधको हिसाबले अनुमति दिन्छ।

हाम्रो SIC मा केन्द्रित रिंगहरूको मुख्य सुविधाहरू समावेश गर्दछ:

कम ईच्छा दरहरूको लागि उच्च घनत्व।

उच्च ब्यान्ड्यापको साथ उत्कृष्ट इन्सुलेशन।

उच्च थर्मल सवारीविरोधी र थर्मल विस्तारको विस्तार।

उत्तम मेकानिकल प्रभाव प्रतिरोध र लोच।

उच्च कठोरता, प्रतिरोध र प्रतिरोधको प्रतिरोध लिनुहोस्।

निर्मित प्रयोगप्लाज्मा-बृद्धि गरिएको रासायनिक बाफ जम्मा (PCVD)प्रविधिहरू, हाम्रो SIC मा ध्यान केन्द्रित रिंगहरू अर्धवांक्षीको निर्माणमा प्रक्रियाहरू ईचिंग प्रक्रियाहरूको बढ्दो मागहरू पूरा गर्दछ। तिनीहरू उच्च प्लाज्मा शक्ति र उर्जाको सामना गर्न डिजाइन गरिएको हो, विशेष गरी भित्रCAPAICITITIOTLY COLLALLED प्लाज्मा (CCP)प्रणालीहरू।

VETEK SEMIMDODUCOCOCOCOCOCOCOCOCOCOCOCE SIC केन्द्रित रिंगहरू अर्धवतुको उपकरणमा असाधारण प्रदर्शन र विश्वसनीयता प्रदान गर्दछ। उच्च गुणवत्ता र दक्षताको लागि हाम्रो SIC कम्पोनेन्टहरू छनौट गर्नुहोस्।

View as

CVD SIC लेपित ग्राफरेट स्नातक स्नान टाउको

CVD SIC लेटेड ग्राफेट ग्राफिट हेड विशेष रूपमा अर्धोन्डुनिक रासायनिक बाल कफ (CVD) प्रक्रियाहरूको लागि डिजाइन गरिएको उच्च प्रदर्शन घटक हो। उच्च-शुद्धता Grapite बाट निर्मित र एक रासायनिक बाफ कम्पनी (cvd) सिलिकन कारबेड (SIC) कोटिंग, यो स्नातक प्रक्रिया ग्याँसहरु को प्रतिरोध। तपाईंको थप परामर्शको लागि हेर्दै।

थप हेर्नुहोस् >> सोधपुछ पठाउनुहोस् >>

साइको किनारा रिंग

निकटक्साइज उच्च-शुद्धता अनुदाई रिंगहरू, विशेष रूपमा सेमिन्डुन्डरक ईच्ची ईचिंग उपकरणहरूको लागि डिजाइन गरिएको, विशेष गरी वेधर उपदेशको उल्लेखनीय रूपमा

थप हेर्नुहोस् >> सोधपुछ पठाउनुहोस् >>

उच्च शुद्धता CVD SIC कच्चा माल

उच्च शुद्धता CVD SVD अनुभवी र CVD द्वारा तयार गरिएको सिलिकन कार्बर्ड क्रिस्टल बृद्धिको लागि उत्तम स्रोत सामग्री हो। अनुभवी अर्धविकाले आपूर्ति गरिएको उच्च शुद्धताको घनत्व सीआई र सी-सी-कयमिंग ग्यासहरूको अभिव्यक्तिको आवश्यकता भन्दा बढी छ, र यसलाई लगभग स्थिर वाष्पीकरण दर चाहिन्छ। यो अत्यन्त उच्च गुणवत्ताको हे एकल क्रिस्टल हुन सक्छ। तपाईंको सोधपुछको लागि अगाडि हेर्दै।

थप हेर्नुहोस् >> सोधपुछ पठाउनुहोस् >>

ठोस अनुकू वाफर क्यारियर

VETEK SEMIMDONDUCER को ठोस साइक वेयर क्यारियर सेनीन्डुअल एपिट्याजिकल प्रक्रियाहरूमा उच्च तापमान वारको लागि डिजाइन गरिएको छ र उच्च शुद्धता आवश्यकताहरूको साथ प्रत्येक प्रकारका वेफिक निर्माणहरूको लागि उपयुक्त छ। चीनमा एक अग्रणी वेरेनर क्यारियर आपूर्तिकर्ता हो र अर्धवारा उद्योगमा तपाईंको दीर्घकालीन पार्टनर बन्न अगाडि हेर्दछ।

थप हेर्नुहोस् >> सोधपुछ पठाउनुहोस् >>

ठोस SIC डिस्क-आकारको स्नान टाउको

VETEK SEMIMonducore एक अग्रणी अर्धचालक क्षेत्र निर्माता हो र ठोस SIC डिस्क-आकारको स्नान स्नानको लागि एक पेशेवर निर्माता र आपूर्तिकर्ता। हाम्रो डिस्क आकार स्नान टाउकोमा पातलो फिल्म जम्मा उत्पादनको रूपमा प्रयोग गरिएको छ, प्रतिक्रिया ग्यासको समान वितरण सुनिश्चित गर्न CVD प्रक्रियामा र CVD भट्टीको कोर कम्पोनेन्टहरू मध्ये एक हो।

थप हेर्नुहोस् >> सोधपुछ पठाउनुहोस् >>

SIC SHITING भाग

एक उन्नत SIC SICHING फींग भाग उत्पादक र चीनमा कारखाना। VETEK SEMITANDUCHOCTO SIC SICHING फ्रिन्ट फ्रि क्लाइमेन्ट कम्पोनेन्ट कम्पोनेन्ट कम्पोलिंग कम्पोटिंग कम्पोटिंग कम्पोटिंग कम्पोटिंग कम्पोनेन्टल व्यापक रूपमा प्रयोग गरिएको छ अर्धवान्डुनिक प्रशोधन र उच्च दबाव प्रक्रियाहरूमा। तपाईंको थप परामर्श स्वागत गर्नुहोस्।

थप हेर्नुहोस् >> सोधपुछ पठाउनुहोस् >>

Veteksemicon solid silicon carbide is the ideal procurement material for high-temperature, high-strength, and corrosion-resistant components used in semiconductor and industrial applications. As a fully dense, monolithic ceramic, solid silicon carbide (SiC) offers unmatched mechanical rigidity, extreme thermal conductivity, and exceptional chemical durability in harsh processing environments. Veteksemicon’s solid SiC is specifically developed for critical structural applications such as SiC wafer carriers, cantilever paddles, susceptors, and showerheads in semiconductor equipment.

Manufactured through pressureless sintering or reaction bonding, our solid silicon carbide parts exhibit excellent wear resistance and thermal shock performance, even at temperatures above 1600°C. These properties make solid SiC the preferred material for CVD/PECVD systems, diffusion furnaces, and oxidation furnaces, where long-term thermal stability and purity are essential.

Veteksemicon also offers custom-machined SiC parts, enabling tight dimensional tolerances, high surface quality, and application-specific geometries. Additionally, solid SiC is non-reactive in both oxidizing and reducing atmospheres, enhancing its suitability for plasma, vacuum, and corrosive gas environments.

To explore our full range of solid silicon carbide components and discuss your project specifications, please visit the Veteksemicon product detail page or contact us for technical support and quotations.

चीनमा एक पेशेवर {77 77} निर्माता र आपूर्तिकर्ता, हाम्रो आफ्नै कारखाना छ। तपाईंलाई आफ्नो क्षेत्रको विशिष्ट आवश्यकताहरू पूरा गर्न अनुकूलन सेवाहरू आवश्यक छ वा उन्नत र टिकाऊको खरीद गर्न चाहानुहुन्छ, तपाईं हामीलाई सन्देश छोड्न सक्नुहुन्छ।