VETEK SEMIMondUCTUTUTUCTUTUCTUTACE ठोस सिलिकन कार्थ्रोइड प्लाज्मा ecching उपकरणमा एक महत्त्वपूर्ण सिरामिक कम्पोनेन्ट हो, ठोस सिलिकन कार्थ्रोड (CVD सिलिकन कार्बइड) ECCHing उपकरणमा भागहरू समावेश गर्दछकेन्द्रित रिंगहरू, ग्यास स्नानहेड, ट्रे रिंगहरू, एज रिंग्स, आदि कम रीलिकदार कार्ब्याइड र फ्लोरिन-इनकन ग्यासहरू, यो प्लाज्मा-इन इचिंग ग्यासहरू हो, यो एक आदर्श सामग्री हो र अन्य कम्पोनेन्टहरू।
उदाहरण को लागी, फोकस रिंग एक महत्त्वपूर्ण हिस्सा हो कि वेधर बाहिर राखिएको एक भोल्टेज संग प्रत्यक्ष सम्पर्क मा, किताब को लागी एक भोल्टेज को लागी पुन: प्राप्त गर्न को लागी playma मा प्रसंस्करण सुधार गर्न। परम्परागत फोकस सिलिकून वा बनेको छचौकसी, एक साझा फोकस रिंग सामग्रीको रूपमा, सिलिकन वेफरहरूको सञ्चालनको करीव नजिक छ, तर अक्सर केही अवधिमा प्रतिरोध गरिन्छ, गम्भीरतापूर्वक यसको उत्पादन दक्षता हुनेछ।
Sओलिड SIC फोकस रिंगकार्यरत सिद्धान्त：
SI आधारित फोकस रिंग र CVD SIC फोकस रिंग:
|
SI आधारित फोक्ने रिंग र CVD SIC फोकस रिंगको तुलना
|
|
चिज
|
र
|
CVD SIC
|
|
घनत्व (g / सेमी)3)
|
2.33
|
3.21
|
|
ब्यान्ड ग्याप (इभ)
|
1.12
|
2.3
|
|
थर्मल संकुचितता (W / CM ℃)
|
1.5
|
5
|
|
Ctt (x10)-6/ ℃)
|
2.6
|
4
|
|
लोचदार मोडुलस (GPA)
|
150
|
440
|
|
कठोरता (GPA)
|
11.4
|
24.5
|
|
लगाउन र प्रतिबन्धको प्रतिरोध
|
गरिब
|
उतम
|
Vettk Seiawonductorterngeally उन्नत ठोस सिलिकन क्यारिकन कार्बइड (CVD सिलिकन कार्बइड) अर्धोन्डरकय उपकरणहरूको लागि SIC मा स्तनपानहरू जस्ता भागहरू। हाम्रो ठोस सिलिकॉन कार्लब्याड न्यूज फोर्सोले परम्परागत शक्ति, रासायनिक प्रतिरोध, थर्मल संकुचन, उच्च-तापमान स्थानान्तरण, र आयनले पूर्वीर्ण प्रतिरोधको हिसाबले अनुमति दिन्छ।
हाम्रो SIC मा केन्द्रित रिंगहरूको मुख्य सुविधाहरू समावेश गर्दछ:
कम ईच्छा दरहरूको लागि उच्च घनत्व।
उच्च ब्यान्ड्यापको साथ उत्कृष्ट इन्सुलेशन।
उच्च थर्मल सवारीविरोधी र थर्मल विस्तारको विस्तार।
उत्तम मेकानिकल प्रभाव प्रतिरोध र लोच।
उच्च कठोरता, प्रतिरोध र प्रतिरोधको प्रतिरोध लिनुहोस्।
निर्मित प्रयोगप्लाज्मा-बृद्धि गरिएको रासायनिक बाफ जम्मा (PCVD)प्रविधिहरू, हाम्रो SIC मा ध्यान केन्द्रित रिंगहरू अर्धवांक्षीको निर्माणमा प्रक्रियाहरू ईचिंग प्रक्रियाहरूको बढ्दो मागहरू पूरा गर्दछ। तिनीहरू उच्च प्लाज्मा शक्ति र उर्जाको सामना गर्न डिजाइन गरिएको हो, विशेष गरी भित्रCAPAICITITIOTLY COLLALLED प्लाज्मा (CCP)प्रणालीहरू।
VETEK SEMIMDODUCOCOCOCOCOCOCOCOCOCOCOCE SIC केन्द्रित रिंगहरू अर्धवतुको उपकरणमा असाधारण प्रदर्शन र विश्वसनीयता प्रदान गर्दछ। उच्च गुणवत्ता र दक्षताको लागि हाम्रो SIC कम्पोनेन्टहरू छनौट गर्नुहोस्।
