CVD SiC कोटिंग Epitaxy ससेप्टर

Veteksemicon को CVD SiC कोटिंग Epitaxy Susceptor एक परिशुद्ध ईन्जिनियर गरिएको उपकरण हो जुन अर्धचालक वेफर प्रशोधनको लागि डिजाइन गरिएको हो। यो SiC कोटिंग Epitaxy ससेप्टरले पातलो फिल्महरू, एपिलेयरहरू, र अन्य कोटिंग्सको वृद्धिलाई बढावा दिन महत्त्वपूर्ण भूमिका खेल्छ, र ठीकसँग तापमान र भौतिक गुणहरू नियन्त्रण गर्न सक्छ। तपाईको थप सोधपुछलाई स्वागत छ।

आधारभूतCVD SiC कोटिंगको भौतिक गुणहरू:

CVD SiC कोटिंग Epitaxy ससेप्टर उत्पादन लाभहरू:

● सटीक बयान: ससेप्टरले सब्सट्रेटहरू (जस्तै नीलमणि, SiC वा GaN) को लागि स्थिर समर्थन प्लेटफर्म प्रदान गर्न SiC कोटिंगसँग उच्च थर्मली प्रवाहकीय ग्रेफाइट सब्सट्रेटलाई संयोजन गर्दछ। यसको उच्च थर्मल चालकता (जस्तै SiC लगभग 120 W/m·K हो) ले तुरुन्तै ताप स्थानान्तरण गर्न सक्छ र सब्सट्रेट सतहमा समान तापक्रम वितरण सुनिश्चित गर्न सक्छ, जसले गर्दा एपिटेक्सियल तहको उच्च-गुणस्तरको वृद्धिलाई बढावा दिन्छ।

● कम प्रदूषण: CVD प्रक्रियाद्वारा तयार गरिएको SiC कोटिंगमा अत्यन्त उच्च शुद्धता (अशुद्धता सामग्री <5 ppm) हुन्छ र यो संक्षारक ग्यासहरू (जस्तै Cl₂, NH₃) को लागि अत्यधिक प्रतिरोधी हुन्छ, एपिटेक्सियल तहको प्रदूषणबाट बच्न।

● स्थायित्व: SiC को उच्च कठोरता (Mohs कठोरता 9.5) र पहिरन प्रतिरोधले बारम्बार प्रयोग गर्दा आधारको मेकानिकल हानि कम गर्छ र उच्च आवृत्ति अर्धचालक उत्पादन प्रक्रियाहरूको लागि उपयुक्त छ।

VeTeksemicon उच्च गुणस्तर उत्पादनहरू र प्रतिस्पर्धी मूल्यहरू प्रदान गर्न प्रतिबद्ध छ। हामी चीनमा तपाईंको दीर्घकालीन साझेदार हुन तत्पर छौं।

VeTek अर्धचालक उत्पादन पसलहरू: