एकल वेफर EPI ग्राफेटेयर

वर्णन:

एकल वेफर EPI ग्राफ्र्याइट संसर्धरको एक सेटमा उच्च पाउलोपन स्थिरता, रासायनिक जैविक क्षेत्र एकरूपता प्रयोग गरेर ग्राफिटी दायरा सिलिकन ब्रशन रेसिंग क्यारेक्टर समावेश गर्दछ, र रासायनिक जैविक क्षेत्र एकरूपता। यो सामूहिक उत्पादनमा उच्च-सटीक एपिट्याजिकल शीटको कोर भालु कम्पोनेन्ट हो।

भौतिक आविष्कार: ग्राफ्टी + sic कोटिंग

Grafite

All अल्ट्रा-उच्च थर्मल संकुचन (> 1 1300 W / M ‧ k) प्रक्रिया स्थिरता सुनिश्चित गर्न तापमान नियन्त्रण आवश्यकताहरूको लागि द्रुत प्रतिक्रिया।

● कम थर्मल विस्तार गुणांक (CTE: 4.6 × 10 × 10 / ° c), उच्च तापमान विट्न्डेशन, लामो सेवाको जीवनलाई कम गर्नुहोस्।

CVD SIC कोटिंग

● प्रतिरोधादारी प्रतिरोध। प्रतिक्रिया ग्याँसहरूले आक्रमणको प्रतिरोध गर्नुहोस् जस्तै h₂, HIC र Sih₄। यसले आधार सामग्रीको असुरक्षित तहको दूषित भूमिकाबाट जोगिन्छ।

● सतह डिमिशन: कोटिंग पोररिता 0.1% भन्दा कम छ, जसले ग्रेफाइट र वेफरको बीचमा सम्पर्क रोक्दछ र कार्बन अशुद्धताहरूको प्रसारलाई रोक्छ।

● उच्च तापमान सहनशीलता: 1 1600 डिग्री सेल्सियस माथिको वातावरणमा दीर्घकालीन स्थिर काम, SIC एपिटक्साएक्सानीको उच्च तापमान माग अनुकूल छ।

थर्मल क्षेत्र र एयरफ्लो अप्टिमाइजेसन डिजाइन डिजाइन

एक समान थर्मल विकिरण संरचना

सशक्तर सतह धेरै थर्मल प्रतिबिम्ब गानको साथ डिजाइन गरिएको छ, र एएसएम उपकरणको थर्मल क्षेत्र नियन्त्रण प्रणालीले x ich-इन्च वेफर मोटाई र 3 %% को एक समानता प्राप्त गर्दछ।

एयर स्टीयरिंग प्रविधि

धार विभ्रन प्वालहरू र झुकाव समर्थन स्तम्भहरू वेफर सतहमा प्रतिक्रिया ग्यासको लालनेर प्रवाह वितरण अनुकूलन गर्न डिजाइन गरिएको हो, EDDY नियन्त्रणहरूको कारणले मतदान गर्नुहोस्, र एक अनुमानित एकरूपता सुधार गर्न।