ठोस SIC ECCCHing फोकस

VETEK SEMIMDODOREDER ले CVD ठोस आकारको टेक्नोलोजीमा ठूलो प्रगति गरेको छ र यसले विश्वको नेतृत्वको स्तरको साथ ठोस साइक ईन्क्लिंग फोकस उत्पादन गर्न सक्षम छ। अनुभवी अर्धवार्ताको ठोस साइक ईचि ing onching रिंग एक अल्ट्रा-उच्च शुद्धता सिलिकन कार्यस्टन भौतिक उत्पादन हो र रासायनिक बाफ कूजनको प्रक्रियामार्फत सिर्जना गरिएको हो।

ठोस SiC नक्काशी फोकस रिंग सेमीकन्डक्टर निर्माण प्रक्रियाहरूमा प्रयोग गरिन्छ, विशेष गरी प्लाज्मा नक्काशी प्रणालीहरूमा। SiC फोकस रिंग एक महत्त्वपूर्ण घटक हो जसले सिलिकन कार्बाइड (SiC) वेफर्सको सटीक र नियन्त्रित नक्काशी प्राप्त गर्न मद्दत गर्दछ।

प्लाज्मा नक्काशी प्रक्रियाको बखत, फोकस रिंगले धेरै भूमिका खेल्छ निम्नानुसार छन्:

● प्लाज्मा फोकस गर्दै: ठोस साइज एन्टिंग फोक्ने रिंग्ड रिंगले वेफर वरिपरि प्लाज्मालाई आकार दिन र ध्यान दियो, जो एस्टिंग प्रक्रिया समान र कुशलतासाथ देखा पर्दछ। यसले प्लाज्मालाई इच्छित क्षेत्रमा सीमित गर्दछ, घुमाउरो क्षेत्रहरूमा विफल क्षेत्रबाट रोक्दछ।

●  कोठाको पर्खालहरूको सुरक्षा गर्दै: वेजम्मा र स्कूल पर्खाल बीचको अवरोधको रूपमा कार्यरत श king ्क्तिको रूपमा कार्य गर्दछ, सीधा सम्पर्क र सम्भावित क्षतिलाई रोक्नुहोस्। SIC प्लाज्मा पार्सियनसँग अत्यधिक प्रतिरोधी हुन्छ र स्कूलको भित्ताहरूको लागि उत्कृष्ट सुरक्षा प्रदान गर्दछ।

●  TEMPPERTER नियन्त्रण: sic फोकस रिंगले नक्काशी प्रक्रियाको क्रममा वेफरमा समान तापक्रम वितरण कायम राख्न मद्दत गर्दछ। यसले गर्मी फैलाउन मद्दत गर्दछ र नक्काशी परिणामहरूलाई असर गर्न सक्ने स्थानीयकृत ओभरहेटिंग वा थर्मल ढाँचाहरूलाई रोक्छ।

ठोस SIC यसको उल्लेखनीय थर्मल र रासायनिक स्थिरता, उच्च यांत्रिक शक्ति, र प्लाज्एन्सको प्रतिरोधको कारण रिंगको लागि उपयुक्त छ। यी गुणहरूले प्लाज्मा एची एची एची एची भाग प्रणालीहरूमा उपयुक्त र मागको सर्तको लागि उपयुक्त सामग्री बनाउँदछन्।

यो ध्यान दिन लायक छ कि ध्यान केन्द्रित र ध्यान केन्द्रित गर्न को डिजाइन र विवरणहरू विशिष्ट प्लाज्मा एचआईचरिंग प्रणाली र प्रक्रिया आवश्यकताहरूमा निर्भर गर्दछ। VETEK SEMIMonductor को रूप, आदर्श, र सतह र सतह र सतह र सतह को विशेषताहरु लाई इष्टतम ईचिंग प्रदर्शन र दीर्घाती सुनिश्चित गर्दछ। ठोस SIC वेफर क्यारियर, संसाधकहरू, डमी वेन, गाईड रिंगहरू, गाईड रिंगहरू, एचीडी प्रक्रिया, EVD प्रक्रियाको लागि भागहरू।