उत्पादनहरू
उत्पादनहरू
ईचिंगको लागि फोकस पुन: औंठी
  • ईचिंगको लागि फोकस पुन: औंठीईचिंगको लागि फोकस पुन: औंठी
  • ईचिंगको लागि फोकस पुन: औंठीईचिंगको लागि फोकस पुन: औंठी

ईचिंगको लागि फोकस पुन: औंठी

ECCHING ENCHING को लागी धितोहरू प्रक्रिया शुद्धता र स्थिरता सुनिश्चित गर्न कुञ्जी घटक हो। यी कम्पोनेन्टहरू स्पष्ट रूपमा प्लाज्म वितरण, एज एज तापमान र इलेक्ट्रिक क्षेत्रको समानताका माध्यमबाट ननस्केल चरणमा ठ्याक्कै भेला भएका छन्।

मोनोमास्टलल सिलिकन ईचिंग रिंगहरू सेनमान्डुनिकल स्थिरता, उपकरण संरक्षण र उन्नत प्रक्रिया आवश्यकताहरूको लागि अनुकूलन र अनुकूलन गरेर प्रक्रियाहरू समावेशी कम्पोनेन्टहरू छन्। यसको प्रदर्शनले सीधा उत्पादन र चिप उत्पादन को लागत लाई प्रभावित गर्दछ।


ETEDD फोकस रिंग, इलेक्ट्रोड र एट्स (किनारा तापमान नियन्त्रणकर्ता) प्लाज्माको समानता, तापमान नियन्त्रण र प्रक्रिया पुन: साधन सुनिश्चित गर्न कोर उपभोक्ताहरू हुन्। यी कम्पोनेन्टहरू CVD, eching र फिल्म उपकरणहरूको भ्याकुर कक्षमा ठ्याक्कै भेला हुन्छन् र वेफरको केन्द्रको केन्द्रमा एक्सट्ने सटीकता र ईच्छाको उपज निर्धारित गर्दछ।


उच्च-अन्त उत्पादन गर्ने प्रक्रियामा भौतिक गुणहरूको लागि कडा मांग, उच्च-शुद्धता निवारणीय सिलिकन प्रयोग गरेर 10-20ωω को एक प्रतिस्पर्धा र उपभोक्तालाई समर्थन गर्न। सामग्री विज्ञान, इलेक्ट्रिकल डिजाइन र थर्मोडाडीनामिको सहयोगी अनुकूलन, VETEKEMIE कलर ending र उपभोग्यहरू समर्थन गर्न सक्षम छ। व्यापक क्वार्टजल क्वार्ट्ज टर्जस समाधानहरू लोनिजन, सटीशायता र लागत प्रभावकारिता प्राप्त गर्न।


Focus ring for etching diagram


कोर भौतिक तुलना र प्रतिरोधी अनुकूलन

मोनोमास्टलललीन सिलिकन बनाम चौकसी


योजना
मोनोमास्टललिनलइनल सिलिकन नेस्टेड गर्दै (10-20 ωω CMM)
क्वार्ट्ज रिंग रिंग
प्लाज्माको विरोधाभासको प्रतिरोध
जीवन 5000-8000 वेफर (फ्लोरिन / क्लोरीन आधारित प्रक्रिया)
जीवन अवधि 1 1500-2000 वेफर
थर्मल संकुचितता
149 W / M · · · · k · k (द्रुत गर्मी असन्तुष्टि, δT उतार चढाव ± 2 ℃)
1.4w / ma · k · · ± ((δt उतार-± 10 ℃)
थर्मल विस्तार को गुणांक
2.6 × 10 / k / k (वेफर मिल्दो, शून्य विकृति)
0.55 × × 10 × / k (सजिलो विस्थापन)
डाइटिस्ट्रन्ट नोक्सान
ट्यानी <0.011 (सहि इलेक्ट्रिक फिल्ड नियन्त्रण)
tax ~ 0.0001 (इलेक्ट्रिक फिल्ड विकृति)
सतह कुनै पनि
Ra <0. 4μM (वर्ग 10 क्वेरी / क्लियरी मानक)
Ra <0.5μmm (उच्च कण जोखिम)


उत्पाद कोर फाइदाहरूe


1 आणविक स्तर प्रक्रिया सटीकता

प्रतिरोधकता मनमोहक + अल्ट्रा-सटीक पॉलिसिंग (RA <0. 0. 0. 0. 0. 0. 0. 0.0. 0.0.0 MPAILLAILLAILLY दूरण र एक्सलल दूरीले अर्ध f47 मापदण्डहरू पूरा गर्न।

डाइलेक्ट्रिक नोक्सान (ट्याक्स <0.001) कमल दायरा स्क्रिट्रन्ट वातावरणमा मिल्छ, किनाराबाट एजल इलेक्ट्रिक फिल्ड विकृतिबाट जोगिदै।


2 बौद्धिक प्रणाली अनुकूलता

आदि एमको साथ एकीकृत मोड्युल मोड्युल प्रसारण मोड्युल, कूलि ad हवाको प्रवाह गतिशील रूपमा थर्मकोकुल बहाव र एआई एल्गोरिथ्सलाई रेस्टिंगको रूपमा समायोजित गर्दछ।

अनुकूलन अनुकूलित RF मिल्दो नेटवर्क, मुख्य प्रवाहका मेसिनहरूको लागि उपयुक्त, लाम अनुसन्धान कियो र आईसीपी / CCP प्लाएम स्रोतहरू।


। भौतिक लागत-प्रभावकारिता

मोनोक्रोक्रिस्टललिन सिलिकानको जीवन 27555% क्वार्ट्ज भन्दा 2 %%% लामो छ, र मर्मत चक्र 3000 घण्टा हो, र स्वामित्वको बृहत् लागत (टीओको) ले हरायो।

प्रतिरोधणात्मक अनुकूलन अनुकूलन सेवा (-100-100ωωωωωωω service), निश्चित रूपमा ग्राहक प्रक्रिया विन्डो (जस्तै gan / scic व्यापक ब्यान्ड अंतर्द्धन सामग्री)।


प्रतिरोधीताको प्रभाव


योजना
मोनोमास्टललिनलइनल सिलिकन नेस्टेड गर्दै (10-20 ωω CMM)
उच्च प्रतिरोध मोमान्कास्टलल सिलिकन (> 50 ωωω)
क्वार्ट्ज रिंग रिंग
शुद्धता
> 99 ..999999999999 %%%
> 99 ..999999999999 %%%
> 99 ..9999999 %%
संयय जीवन (वाफर गणना)
5000-8000
3000-5000
10000-2000
थर्मल दुखको स्थिरता
ΔT> 500 ℃ / s
ΔT> 300 ℃ / s
Δ <200 ℃ / s
वर्तमान घनत्व चुहावट
<1 μa / CM²
/ /
वाफर उत्पादन बढेको छ
+ 1.2% ~ 1.8%
+ 0.3% ~ 0.7%
आधार मान

उत्पाद वाणिज्यिक सर्तहरू


न्यूनतम अर्डर मात्रा
1 सेट
मूल्य
अनुकूलित उद्धरणको लागि सम्पर्क गर्नुहोस्
प्याकेजिंग विवरणहरू
मानक निर्यात प्याकेज
वितरण समय
वितरण समय: 30--35 दिन पछि अर्डर पुष्टिकरण पछि
भुक्तानी सर्तहरू
T / t
आराखुर्म क्षमता
600 सेट / महिना


Focus ring for etching working diagram

हट ट्यागहरू: ईचिंगको लागि फोकस पुन: औंठी
सोधपुछ पठाउनुहोस्
सम्पर्क जानकारी
  • ठेगाना

    Wagdada सडक, ziyang स्ट्रिग, Wuiy काउन्टी, Jihua शहर, जेशीजी प्रान्त को चीन

  • टेलिफोन

    +86-18069220752

  • इ-मेल

    anny@veteksemi.com

सिलिकन कार्बाइड कोटिंग, ट्यान्टलम कार्बाइड कोटिंग, विशेष ग्रेफाइट वा मूल्य सूची बारे सोधपुछको लागि, कृपया हामीलाई आफ्नो इमेल छोड्नुहोस् र हामी 24 घण्टा भित्र सम्पर्कमा हुनेछौं।
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept