ECCHING को लागी डिड डिस्टिंगको लागि संस्कार प्रक्रिया शुद्धता र स्थिरता सुनिश्चित गर्न कुञ्जी घटक हो। यी कम्पोनेन्टहरू स्पष्ट रूपमा प्लाज्म वितरण, एज एज तापमान र इलेक्ट्रिक क्षेत्रको समानताका माध्यमबाट ननस्केल चरणमा ठ्याक्कै भेला भएका छन्।
मोनोमास्टलल सिलिकन ईचिंग रिंगहरू सेनमान्डुनिकल स्थिरता, उपकरण संरक्षण र उन्नत प्रक्रिया आवश्यकताहरूको लागि अनुकूलन र अनुकूलन गरेर प्रक्रियाहरू समावेशी कम्पोनेन्टहरू छन्। यसको प्रदर्शनले सीधा उत्पादन र चिप उत्पादन को लागत लाई प्रभावित गर्दछ।
ETEDD फोकस रिंग, इलेक्ट्रोड र एट्स (किनारा तापमान नियन्त्रणकर्ता) प्लाज्माको समानता, तापमान नियन्त्रण र प्रक्रिया पुन: साधन सुनिश्चित गर्न कोर उपभोक्ताहरू हुन्। यी कम्पोनेन्टहरू CVD, eching र फिल्म उपकरणहरूको भ्याकुर कक्षमा ठ्याक्कै भेला हुन्छन् र वेफरको केन्द्रको केन्द्रमा एक्सट्ने सटीकता र ईच्छाको उपज निर्धारित गर्दछ।
उच्च-अन्त उत्पादन गर्ने प्रक्रियामा भौतिक गुणहरूको लागि कडा मांग, उच्च-शुद्धता निवारणीय सिलिकन प्रयोग गरेर 10-20ωω को एक प्रतिस्पर्धा र उपभोक्तालाई समर्थन गर्न। सामग्री विज्ञान, इलेक्ट्रिकल डिजाइन र थर्मोडाडीनामिको सहयोगी अनुकूलन, VETEKEMIE कलर ending र उपभोग्यहरू समर्थन गर्न सक्षम छ। व्यापक क्वार्टजल क्वार्ट्ज टर्जस समाधानहरू लोनिजन, सटीशायता र लागत प्रभावकारिता प्राप्त गर्न।
कोर भौतिक तुलना र प्रतिरोधी अनुकूलन
मोनोमास्टलललीन सिलिकन बनाम चौकसी
योजना
मोनोमास्टललिनलइनल सिलिकन नेस्टेड गर्दै (10-20 ωω CMM)
क्वार्ट्ज रिंग रिंग
प्लाज्माको विरोधाभासको प्रतिरोध
जीवन 5000-8000 वेफर (फ्लोरिन / क्लोरीन आधारित प्रक्रिया)
जीवन अवधि 1 1500-2000 वेफर
थर्मल संकुचितता
149 W / M · · · · k · k (द्रुत गर्मी असन्तुष्टि, δT उतार चढाव ± 2 ℃)
आदि एमको साथ एकीकृत मोड्युल मोड्युल प्रसारण मोड्युल, कूलि ad हवाको प्रवाह गतिशील रूपमा थर्मकोकुल बहाव र एआई एल्गोरिथ्सलाई रेस्टिंगको रूपमा समायोजित गर्दछ।
अनुकूलन अनुकूलित RF मिल्दो नेटवर्क, मुख्य प्रवाहका मेसिनहरूको लागि उपयुक्त, लाम अनुसन्धान कियो र आईसीपी / CCP प्लाएम स्रोतहरू।
। भौतिक लागत-प्रभावकारिता
मोनोक्रोक्रिस्टललिन सिलिकानको जीवन 27555% क्वार्ट्ज भन्दा 2 %%% लामो छ, र मर्मत चक्र 3000 घण्टा हो, र स्वामित्वको बृहत् लागत (टीओको) ले हरायो।
प्रतिरोधणात्मक अनुकूलन अनुकूलन सेवा (-100-100ωωωωωωω service), निश्चित रूपमा ग्राहक प्रक्रिया विन्डो (जस्तै gan / scic व्यापक ब्यान्ड अंतर्द्धन सामग्री)।
प्रतिरोधीताको प्रभाव
योजना
मोनोमास्टललिनलइनल सिलिकन नेस्टेड गर्दै (10-20 ωω CMM)
For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, please leave your email to us and we will be in touch within 24 hours.
हामी तपाईंलाई राम्रो ब्राउजिङ अनुभव प्रदान गर्न, साइट ट्राफिक विश्लेषण र सामग्री निजीकृत गर्न कुकीहरू प्रयोग गर्छौं। यो साइट प्रयोग गरेर, तपाईं कुकीहरूको हाम्रो प्रयोगमा सहमत हुनुहुन्छ। गोपनीयता नीति