उद्योग समाचार

MOCVD epitaxy ग्रेफाइट ससेप्टरहरूमा सिलिकन कार्बाइड कोटिंगको किनारा पहेंलो हुने र पिलिङको कारणहरूको गहन विश्लेषण। VeTek ले प्रारम्भिक CVD डिपोजिसन रेट र फ्लो फिल्डलाई ठीकसँग नियन्त्रण गरेर, कोटिंग उत्पादनलाई 50% बाट 90% मा बढाएर र उच्च शुद्धता ग्रेफाइट भागहरूको सेवा जीवन विस्तार गरेर माइक्रो-तनाव हटायो।

मल्टि-पकेट सिलिकन एपिटाक्सी ग्रेफाइट ससेप्टरहरूमा 1.4% पकेट-टू-पकेट मोटाई भिन्नतालाई सम्बोधन गर्दै, VeTek सेमीले ससेप्टर फ्ल्याटनेसलाई <0.08mm मा सुधार गर्‍यो र CVD प्रवाह फिल्ड सिमुलेशन र अल्ट्रा-प्रीसिजन सिमुलेशन मार्फत भिन्नतालाई 0.69% मा घटायो।

Vetek ले ठूलो आकारको MOCVD SiC-लेपित ग्रेफाइट ससेप्टरहरूमा रेडियल क्र्याकिंग कसरी हटायो जान्नुहोस्। संरचनात्मक तनाव बफर पुन: डिजाइन र CTE मिल्दो सेवा जीवन 300% + बढ्यो।