उद्योग समाचार

उपलब्ध टेक्नोलोजीहरू मध्ये, ठूलो आकारको प्रतिरोधी तताउने SiC क्रिस्टल ग्रोथ फर्नेस सुधारिएको स्थिरता र दक्षताको साथ ठूलो-व्यास, कम-दोष SiC क्रिस्टलहरू उत्पादन गर्नको लागि एक महत्वपूर्ण समाधानको रूपमा देखा परेको छ। यस लेखले यो प्रविधिले कसरी काम गर्छ, यसको फाइदाहरू, अनुप्रयोगहरू, र किन उद्योगका नेताहरूले Veteksemi बाट अभिनव समाधानहरूमा विश्वास गर्छन् भनेर अन्वेषण गर्दछ।

ASM को लागी एक SiC लेपित ग्रेफाइट ससेप्टर केवल एक epitaxy प्रणाली भित्र एक प्रतिस्थापन भाग होइन। यो एक प्रक्रिया-महत्वपूर्ण वाहक हो जसले थर्मल एकरूपता, वेफर सफाई, कोटिंग स्थायित्व, चेम्बर स्थिरता, र दीर्घकालीन उत्पादन लागतलाई प्रभाव पार्छ।

CVD TaC कोटिंग कभर सुरक्षात्मक ढक्कन वा लेपित ग्रेफाइट घटक मात्र होइन। उच्च-तापमान अर्धचालक प्रक्रियाहरूमा, यसले च्याम्बर सफाई, थर्मल स्थिरता, आंशिक जीवनकाल, र प्रक्रिया स्थिरतालाई प्रभाव पार्न सक्छ।