समाचार

SiC epitaxial वृद्धि प्रक्रिया को समयमा, SiC लेपित ग्रेफाइट निलम्बन विफलता हुन सक्छ। यस पेपरले SiC लेपित ग्रेफाइट निलम्बन को विफलता घटना को एक कठोर विश्लेषण सञ्चालन गर्दछ, जसमा मुख्य रूप देखि दुई कारक शामिल छ: SiC epitaxial ग्यास विफलता र SiC कोटिंग विफलता।

यो लेख मुख्यतया सम्बन्धित प्रक्रिया लाभ र आणविक बीम Epitaxy प्रक्रिया र धातु-जैविक रासायनिक वाष्प निक्षेप टेक्नोलोजीहरूको भिन्नताहरू छलफल गर्दछ।

VeTek सेमीकन्डक्टरको पोरस ट्यान्टालम कार्बाइड, SiC क्रिस्टल वृद्धि सामग्रीको नयाँ पुस्ताको रूपमा, धेरै उत्कृष्ट उत्पादन गुणहरू छन् र विभिन्न अर्धचालक प्रशोधन प्रविधिहरूमा मुख्य भूमिका खेल्छ।

उपद्रतोपत्तर भट्टीको कार्यविधि उच्च तापमान र उच्च दबाव अन्तर्गत सबमिन्डुनिक सामग्रीहरू जम्मा गर्नु हो। सिलिकन समझेक्टाइयल बृद्धि समान क्रिस्टर एकल क्रिस्टल रियलिटीको साथ सब्सटल र बिभिन्न मोटाईको साथ क्रिस्टलको एक तह उत्पादन गर्नु हो। यस लेखमा मुख्यतया सिलिकन एपिट्याजिकल वृद्धि विधिहरू प्रस्तुत गर्दछ: बाफ चरणक्सक्स र तरल चरण एपिटक्सिक्स।

सेमीकन्डक्टर निर्माणमा रासायनिक वाष्प निक्षेप (CVD) को पातलो फिल्म सामग्रीहरू कोठमा जम्मा गर्न प्रयोग गरिन्छ, SiO2, SiN, इत्यादि सहित, र सामान्यतया प्रयोग गरिएका प्रकारहरूमा PECVD र LPCVD समावेश छन्। तापक्रम, दबाब र प्रतिक्रिया ग्याँस प्रकार समायोजन गरेर, CVD ले उच्च शुद्धता, एकरूपता र विभिन्न प्रक्रिया आवश्यकताहरू पूरा गर्न राम्रो फिल्म कभरेज प्राप्त गर्दछ।

यस लेखले मुख्यतया सिलिकनको कार्यस्थलको फराकिलो प्रयोगको वेगहरूको वर्णन गर्दछ। यो सिलिकन कार्बड र सम्बन्धित समाधानहरूमा सिलिकन कार्बड क्र्याकहरूको कारणहरूको विश्लेषणमा ध्यान केन्द्रित गर्दछ।