प्लाज्मा फोकस एस्टिंग रिंग

वेफर निर्माणको क्षेत्रमा, VETEK SETIMonductuctuctuctuctuctuctuctuctuctuctuctuction को संस्करणले मुख्य भूमिका खेल्छ। यो केवल एक साधारण कम्पोनेन्ट मात्र होइन, प्लाज्माले एचआईच प्रक्रियामा महत्त्वपूर्ण भूमिका खेल्छ। पहिलो, प्लाज्मा एचिग डिट रिंग रिंग डिजाइन गरिएको छ कि वेफर दृढतापूर्वक इच्छित स्थितिमा राखिएको छ, यसैले एचक्रिने प्रक्रियाको स्थिरता र स्थिरता सुनिश्चित गर्दछ। वेफर स्थानमा राखेर, ध्यान केन्द्रित गर्दा फोर्स्मा घनत्वको एकरूपता कायम राख्छ, जुन यसको सफलताको लागि आवश्यक छEcching प्रक्रिया.

थप रूपमा, फोकस रिंगले वेफरको साइड प्रदूषण रोकथाममा महत्त्वपूर्ण भूमिका खेल्छ। वेफरको गुणस्तर र शुद्धता चिप उत्पादन गर्ने आलोचनात्मक छ, त्यसैले सबै आवश्यक उपायहरू लिनु पर्छ कि वाजोरीहरू एचक्रिने प्रक्रियामा सफा रहन्छन्। फोटसले प्रभावकारी रूपमा बाह्य अशुद्धताहरू र दूर वेफर सतहको छेउमा रोक्दछ, यसैले अन्तिम उत्पादनको गुणस्तर र प्रदर्शन सुनिश्चित गर्दछ।

विगतमा,केन्द्रित रिंगहरूमुख्यतया क्वार्टज र सिलिकनबाट बनेका थिए। यद्यपि, उन्नत वेफर निर्माणमा सुख्खा एन्टिंगको बृद्धिसँग, सिलिकन कार्थरोइड (SIC) का लागि मांग पनि बढ्दो छ। शुद्ध सिलिकन रिंगको तुलनामा, सेरिक रिंगहरू अधिक टिकाऊ छन् र लामो सेवाको जीवन हुन्छन्, जसले गर्दा उत्पादन लागतहरू कम गर्दछ। सिलिकन रिंगहरू प्रत्येक 10 देखि 12 दिन प्रतिस्थापन गर्न आवश्यक पर्दछ, जबकि SIC RIVER प्रत्येक 1 15 देखि 20 दिन प्रतिस्थापित गरियो। वर्तमानमा सामसंग जस्ता केही ठूला कम्पनीहरूले सीआईआईको सट्टामा बोरन कार्ब्याइडको प्रयोग अध्ययन गर्दैछन्। B4C को उच्च कठोरता छ, त्यसैले युनिट लामो हुन्छ।

प्लाज्मा एचआईच उपकरणमा, फोकस रिंग एक उपचार जहाजमा बेसमा सब्सटरेट सतहको लागि आवश्यक छ। यसको सतहको भित्री पक्षमा पहिलो क्षेत्रको साथ कथित रिंगको चारैतिर घुमाउरो छ जुन क्याप्च गरिएको र जम्मा भएको प्रतिक्रिया उत्पादनहरू रोक्न सकिन्छ। 

उही समयमा पहिलो क्षेत्रको बाहिर दोस्रो क्षेत्रले एन्टिंग प्रक्रियाको बखत प्रतिक्रिया उत्पादनहरू कब्जा गर्न र जम्मा गरेको प्रतिक्रिया उत्पादनहरूलाई प्रोत्साहित गर्न ठूलो औसत सतह ढुवानी छ। पहिलो क्षेत्र बीचको सीमा र दोस्रो क्षेत्र एक अंश हो जहाँ ECCHINGE को मात्रा प्लाज्मा एक्सचिंग उपकरणमा एक ध्यान केन्द्रित गरी सुसज्जित छ।

Veettysicon उत्पादन पसल: