SiC कोटिंग हाफमून ग्रेफाइट भागहरू

SiC epitaxial ग्रोथ फर्नेसको प्रतिक्रिया कक्षमा, SiC कोटिंग हाफमून ग्रेफाइट भागहरू ग्यास प्रवाह वितरण, थर्मल क्षेत्र नियन्त्रण, र प्रतिक्रिया वातावरण एकरूपता अनुकूलन गर्नका लागि प्रमुख घटकहरू हुन्। तिनीहरू सामान्यतया SiC कोटिंगबाट बनेका हुन्छन्Grafite,अर्ध-चन्द्र आकारमा डिजाइन गरिएको, प्रतिक्रिया कक्षको माथिल्लो र तल्लो ग्रेफाइट भागहरूमा अवस्थित, सब्सट्रेट क्षेत्र वरिपरि।

    •Uमाथिल्लो आधान ग्रेफाइट भाग:: ग्यास इनलेटको नजिकको प्रतिक्रियाको माथिल्लो भागमा स्थापना, सब्सट्रेट सतहतर्फ प्रवाह गर्न प्रतिक्रिया ग्यारेज गर्न प्रतिक्रियाको लागि जिम्मेवार।

    •Uतल्लो आधानिन ग्रेफाइट भाग: प्रतिक्रिया कोठाको तल अवस्थित छ, सामान्यतया सब्सट्रेट होल्डर मुनिको, ग्यास प्रवाह दिशा नियन्त्रण गर्न र सबर्मल क्षेत्र र सबर्मको तल अनुकूलित गर्नुहोस्।

को समयमाSiC epitaxy प्रक्रिया, माथिल्लो आधा-चन्द्र ग्रेफाइट भागले सब्सट्रेटमा समान रूपमा वितरण गर्न ग्यास प्रवाहलाई मार्गदर्शन गर्न मद्दत गर्दछ, ग्यासलाई सब्सट्रेटको सतहमा प्रत्यक्ष प्रभाव पार्न र स्थानीय ओभरहेटिंग वा वायुप्रवाह टर्ब्युलेन्स निम्त्याउनबाट रोक्छ। तल्लो आधा-चन्द्र ग्रेफाइट भागले ग्यासलाई सब्सट्रेटको माध्यमबाट सहज रूपमा प्रवाह गर्न र त्यसपछि डिस्चार्ज गर्न अनुमति दिन्छ, जबकि एपिटेक्सियल तहको वृद्धि एकरूपतालाई असर गर्नबाट अशान्तिलाई रोक्छ।

थर्मल फाँट नियमनका सर्तमा, SIC कोरिटिंग आधा-कमिन ग्रेफाइट पार्ट्सलाई समान रूपमा प्रतिक्रिया कोठामा आकृति र स्थिति मार्फत गर्मी वितरण गर्न मद्दत गर्दछ। माथिल्लो तलामा हीट्रेट भन्दा माथि तापक्रम स्थिर छ भन्ने सुनिश्चित गर्न हीटरको तापमान सुनिश्चित गर्न हीटरको तापमान प्रतिबिम्बित गर्दछ। तल्लो आधा चाँदी ग्रस्त भाग पनि समान भूमिका छ, अत्यधिक तापमान मतभेद रोक्न त तातो स with ्घन मार्फत तातो स with ्ग्रह मार्फत तातो स with ्ग्रह मार्फत तटेट गर्न तातो

अनुभरको अनुभूतिले घटकहरू उच्च तापमान र थर्म्यालु आचरणको प्रतिरोधी बनाउँदछ, त्यसैले उपनिवेश सेमिटिटोक्टरको आधा भाग लामो सेवाको जीवन हुन्छ। ध्यानपूर्वक डिजाइन गरिएको, SIC EPITAXAXAXAXAXAXAXY को लागी हाम्रो आधा चन्द्र ग्राफंश भागहरू धेरै प्रशंसनीय राजक्रियामा एकीकृत हुन सक्छ, समग्र दक्षता निर्माण प्रक्रियाको विश्वसनीयता र विश्वसनीयता। तपाईको अनुमानको मोर्निन ग्राफन पार्ट्स प्रतिभाको आवश्यकता जे भए पनि, कृपया अनुभन अर्धविद्यकको सम्पर्क गर्नुहोस्।

OvnemiSIC कोटिंग आधा कमिन ग्रेफाइट एक्सपोर्ट पसलहरू: