TaC लेपित ग्रेफाइट वेफर कभर रिंग

कोर प्राविधिक लाभहरू

• असाधारण रासायनिक प्रतिरोध: 1200°C र 2000°C बीचको तापक्रममा कठोर नक्काशी ग्यासहरू (H₂, NH₃, HCl) लाई सामना गर्न इन्जिनियर गरिएको।

• थर्मल विस्तार मिलान: हाम्रो स्वामित्वको CVD प्रक्रियाले TaC कोटिंगमा ग्रेफाइट सब्सट्रेटसँग मिल्दो CTE (थर्मल विस्तारको गुणांक) भएको सुनिश्चित गर्दछ, छिटो थर्मल साइकल चलाउँदा पिलिङ वा क्र्याक हुनबाट जोगाउँछ।

• सुपीरियर कण नियन्त्रण: छिद्रपूर्ण ग्रेफाइटलाई पूर्ण रूपमा बन्द गरेर, TaC तहले कण बहावलाई हटाउँछ, सीधै तपाईंको वेफर उत्पादन बढाउँछ र रिएक्टर डाउनटाइम घटाउँछ।

• विस्तारित सेवा जीवन: अत्यधिक पहिरन-प्रतिरोधी सतह जसले बारम्बार सफाई चक्रहरूको सामना गर्दछ, अनकोटेड वा SiC-कोटेड विकल्पहरूको तुलनामा स्वामित्वको कम लागत (CoO) प्रदान गर्दछ।

ट्यान्टलम कार्बाइड (TaC) कोटिंग माइक्रोस्कोपिक क्रस-सेक्शनमा

TaC लेपित ग्रेफाइट वेफर कभर रिंगको उत्पादन प्यारामिटर

हाम्रो TaC कभर रिंगहरू किन छनौट गर्नुहोस्?

हामी बुझ्छौं कि अर्धचालक निर्माणमा, विश्वसनीयताले नाफा बराबर हुन्छ। हाम्रो TaC लेपित ग्रेफाइट वेफर कभर रिंगहरू कोटिंग घनत्व र शुद्धताको लागि ब्याच-परीक्षण गरिन्छ। चाहे तपाईं 6-इन्चबाट 8-इन्च वेफर उत्पादनमा ट्रान्जिसन गर्दै हुनुहुन्छ वा उच्च-तापमान MOCVD प्रक्रियालाई अनुकूलन गर्दै हुनुहुन्छ, हाम्रा घण्टीहरूले विश्व-स्तरीय एपिटेक्सीको लागि आवश्यक थर्मल र रासायनिक संरक्षण प्रदान गर्दछ।