Veeco Mocvd प्रोमलाहरू

सॉलीन्डन्डुनिकको डिल गर्नुहोस्Veeco MocvdWerfere SSECTAR एक महत्वपूर्ण कम्पोनेन्ट, सावधानीपूर्वक ईन्जिनिटर एक साथ अल्ट्रापेरिन ग्राफिट प्रयोग गर्दैसिलिकन कार्बइड (SIC) कोटिंग। योSic कोटिंगअसंख्य सुविधाहरू प्रदान गर्दछ, सब भन्दा टर्मर थर्मल थ्रमाल ट्रान्सफर सक्षम गर्दछ। सब्सट्रेट भर पनी अनुष्ठक थर्मल वितरण प्राप्त गर्न समान तापमान नियन्त्रण नियन्त्रणको लागि आवश्यक छ, उच्च-गुणवत्ता चिल्लो पातलो फिल्म डिलियोन्।

प्राविधिक प्यारामिटरहरू

सामग्री गुणहरूको म्याट्रिक्स

कुञ्जी सूचकहरू सूचीबद्ध मानक परम्परागत समाधानहरू

आधार भौतिक शुद्धता 6n istosticumy ग्राफेट्स 5n मोल्ड गरिएको ग्राफइट

Cte मिल्दो डिग्री (2-14400 ℃) δ 0.3 × 10 α αα αα δ1 ≥1 ≥1.2 × 10 ×

थर्मल संकुचन @ 80000 ℃ 110 W / ma · · · · k के

सतह आलोचना (RA) ≤0.1m ≥0 ≥0.7μM

एसिड सहिष्णुता (PH = 1 @ @ 1 @ 80 ℃) 10000 चक्र 30000 चक्र

कोर लाभ पुनर्निर्माण

थर्मल व्यवस्थापन नवीनता

आणविक ctte मिल्दो प्रविधि

जापान टोयो कार्बन ग्राफइट / sgl सब्वीट + Gradients + Gradient Sic कोटिंग

थर्मल चक्र तनाव% 2% ले घट्यो (मापन 1 1400 ℃↔RT 500 ℃↔RT 500 ℃↔RS क्र्याकिंग बिना)

बौद्धिक थर्मल फिल्ड डिजाइन

12-क्षेत्र तापमान क्षतिपूर्ति संरचना: ± 0.5 0..5 ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ ℃ 0m00 मिल्फ वेफरको सतहमा एकरूपता

गतिशील थर्मल प्रतिक्रिया: तापमान ग्रेडियन्ट ≤1.2 ℃ / सेन्टीमिटर ℃ / s howing दर

रासायनिक संरक्षण प्रणाली
ट्रिपल कम्पोजिट अवरोध

Μ0μ मजबूत SIC मुख्य सुरक्षा गरी तह

नानोटोक संक्रमण तह (वैकल्पिक)

ग्यास चरण फेलचर डिमिनेशन

Assum g31-21 द्वारा प्रमाणित:

CL BES BARSE RARSOORG दर <0.003mm / वर्ष

NH3 अन्नको सीमा बराबरी बिना 1000 हो

बौद्धिक निर्माण प्रणाली

डिजिटल ट्वीन प्रशोधन

पाँच-अक्ष माकीसिंग सेन्टर: स्थिति शुद्धता ± 1.5μ μmm

अनलाइन थ्रीडी स्क्यानिंग निरीक्षण: 100% पूर्ण आकार प्रमाणीकरण (ASME YEM4.5 को अनुसार)

परिदृश्य आधारित मान प्रस्तुतीकरण

तेस्रो पुस्ता सेमी बुन्ड्रन्ड्रन्ड्रक्वेक्टर आमगत उत्पादन

अनुप्रयोग परिदृश्य प्रक्रिया प्यारामिटर ग्राहक सुविधाहरू

Gan हे हेक्टर on इन्च / 1 μ1μ0 एमएमित दुई-आयामिक इलेक्ट्रॉन घनत्व जलनघाट <2%

SIC मोफेट c doping वर्दी ± %% थ्रेसोल्ड भोल्टेज विचलन% 0% द्वारा घटाइएको छ

माइक्रोको अगुवा willlglangth एक समानता ± 1.2NM चिप दर 1 15% ले वृद्धि भयो

मर्मत लागत अनुकूलन

सफाई अवधि times पटक द्वारा विस्तार गरिएको छ: एचएफ: HNO ₃ = 1 उच्च तीव्रता सफाई समर्थित छ

स्पेयर पार्ट्स जीवन भविष्यवाणी प्रणाली: AI एल्गोरिथ्म ± %% को शुद्धता

VETEK SEMIMDODUCTACTACT VEEOCO MOCVD SSCVDRESTR पसलहरू: