VEECO MOCVD (LED Epitaxy) को लागि वेफर क्यारियर

उत्पादन विशेषताहरु:

1. बाक्लो CVD SiC तहको साथ उच्च शुद्धता ग्रेफाइट आधार
2. स्थिर एलईडी एपिटेक्सीको लागि राम्रो थर्मल एकरूपता
3. NH₃, HCl, र प्रक्रियामा प्रयोग हुने अन्य संक्षारक ग्यासहरूमा खडा हुन्छ
4. कम कण बहाव र लामो सेवा जीवन
5. पकेट डिजाइनहरू विभिन्न वेफर साइज र रिएक्टर प्लेटफर्महरूको लागि अनुकूलित गर्न सकिन्छ
6. लामो-अवधि, उच्च-तापमान MOCVD सञ्चालनको लागि राम्रोसँग काम गर्दछ

आवेदनहरू:
यी वेफर वाहकहरू व्यापक रूपमा एलईडी र कम्पाउन्ड सेमीकन्डक्टर एपिटेक्सीमा प्रयोग गरिन्छ, जसमा:

• GaN एलईडी एपिटेक्सी
• नीलो-हरियो एलईडी एपिटेक्सी
• गहिरो UV एलईडी वृद्धि
• Si-आधारित GaN एपिटेक्सी
• सामान्य यौगिक अर्धचालक निर्माण

अनुकूलन वाहक समाधानहरू धेरै LED MOCVD प्लेटफर्महरू फिट हुन्छन्, जस्तै:

• VEECO K465i
• VEECO K700
• VEECO K868
• Aixtron G4/G5
• A7/Unimax

प्राविधिक फाइदाहरू:

1. CVD SiC कोटिंगप्रविधि जसले तपाईंलाई राम्रो घनत्व र शुद्धता दिन्छ
2. ±10 μm भित्र राखिएको कोटिंग मोटाई भिन्नता - थर्मल प्रदर्शन स्थिर रहन मद्दत गर्दछ
3. राम्रो वेफर फिट र रोटेशन स्थिरताको लागि 3 μm परिशुद्धतामा सीएनसी मेसिनिङ
4. कोटिंग राम्रोसँग टाँसिन्छ र दोहोर्याइएको उच्च-तापमान MOCVD चक्र पछि क्र्याकिंग प्रतिरोध गर्दछ
5. NH₃, HCl, र अन्य कठोर एपिटेक्सी वातावरणहरू बिना समस्या ह्यान्डल गर्दछ
6. उच्च उपज समर्थन गर्न कम कण उत्पादन र सफा सतहएलईडी एपिटेक्सी
7. विभिन्न रिएक्टर प्लेटफर्महरू र वेफर लेआउटहरूको लागि ठूलो वा अनुकूलन आकार कोट गर्न सक्छ
8. लामो अनुभव संगअनुकूलन ग्रेफाइट र SiC लेपित भागहरूएलईडी र कम्पाउन्ड सेमीकन्डक्टर एपिटेक्सीको लागि

FAQ:
१. वेफर क्यारियरले के गर्छMOCVDएलईडी epitaxy?

A: यसले MOCVD रिएक्टर भित्र वेफरहरूलाई समात्छ र घुमाउँछ, र एपिटेक्सियल वृद्धिको समयमा तापक्रम स्थिर राख्न मद्दत गर्दछ।

2. किन MOCVD को लागि SiC-लेपित ग्रेफाइट वेफर क्यारियरहरू प्रयोग गर्ने?

A: दCVD SiC कोटिंगराम्रो जंग प्रतिरोध, थर्मल स्थिरता, र स्थायित्व दिन्छ। यसले उच्च-तापमान एपिटाक्सीमा कण प्रदूषणमा कटौती गर्न पनि मद्दत गर्दछ।

3. के Vetek सेमीकन्डक्टरले अनुकूलन वेफर वाहकहरू बनाउँछ?
A: हो। हामी तपाईंको रिएक्टर प्लेटफर्म, वेफर साइज, पकेट लेआउट, र अन्य प्रक्रिया आवश्यकताहरूको आधारमा अनुकूलन क्यारियरहरू डिजाइन गर्न सक्छौं।