8-इन्च CVD सिलिकन कार्बाइड (SiC) लेपित Epitaxy शीर्ष रिंग

८ इन्च SiC Epi Top Ring को मुख्य विशेषताहरू

● उच्च शुद्धता: 99.9995% न्यूनतम। धातु एपि-लेयर मा माइग्रेट हुनेछैन। यसले वेफर क्यारियर एकाग्रता राख्छ जहाँ यो हुनु आवश्यक छ।

● कण दमन: CVD संरचना घना छ। छिद्रहरू छैनन्। उपकरण चलिरहेको बेला यसले कणहरू बहाउँदैन। यसरी कारखानाहरूले राम्रो उत्पादन देख्छन्।

● तातो प्रतिरोध: औंठी 1500°C मा स्थिर रहन्छ। कम CTE (थर्मल विस्तार) को अर्थ छिटो तातो-अप/कूल-डाउन चक्रहरूमा कुनै वार्पिङ हुँदैन।

● रासायनिक स्थिरता: ठोस CVD SiC ले H2 र HCl ग्यासहरूलाई प्रतिरोध गर्छ। यसले NH3 लाई पनि प्रतिरोध गर्दछ। यसलाई छाल्ने कोटिंग छैन। यो कठोर CVD वातावरणमा घट्दैन।

● कम्पोनेन्ट जीवन: सतह अत्यन्तै कडा छ। यो बारम्बार HF/HCl रासायनिक सफाई बाँच्दछ। यसले प्रतिस्थापन आवृत्ति घटाउँछ। यसले fab को लागी स्वामित्व को कुल लागत पनि कम गर्दछ।

प्राविधिक विनिर्देशहरू

ब्याचहरू बीचको कोटिंग मोटाईको एकरूपता 10um मा नियन्त्रण गरिन्छ

अनुप्रयोगहरू

CVD SiC epi शीर्ष रिंग व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ:

● सिलिकन एपिटेक्सी (Si Epi) रिएक्टरहरू

● सिलिकन कार्बाइड एपिटेक्सी (SiC Epi)

● MOCVD प्रणालीहरू

● CVD निक्षेप उपकरण

सामान्यतया यससँग जोडिएको:

● ससेप्टर्स

● वेफर वाहकहरू

● पूर्व तताउने घण्टीहरू

● Epitaxy रिएक्टरहरू

किन हुज VETEK SiC Epi शीर्ष रिंग?

● पूर्ण उत्पादन क्षमता: 

कच्चा माल शुद्धीकरण देखि परिशुद्धता मेसिन र CVD कोटिंग सम्म, VETEK ले सम्पूर्ण उत्पादन प्रक्रियालाई निरन्तर अर्धचालक-ग्रेड गुणस्तर सुनिश्चित गर्न नियन्त्रण गर्दछ।

● उच्च शुद्धता: 

हामी माइक्रोन-स्तर मेसिन प्रयोग गर्छौं। CVD मोटाई धेरै समान छ। यसले प्रत्येक रिंगलाई उस्तै तरिकाले प्रदर्शन गर्दछ।

FAQ

(1) SiC epi शीर्ष घण्टीले के गर्छ?

औंठीले तातो र ग्यास प्रवाह प्रबन्ध गर्दछ। यसले सुनिश्चित गर्दछ कि पातलो फिल्म वेफर भर समान रूपमा बढ्छ।

(२) किन CVD SiC ग्रेफाइट भन्दा राम्रो छ?

ग्रेफाइट छिद्रपूर्ण छ। ग्रेफाइटमा छिद्र हुन्छ र ग्यास छोड्छ। ठोस CVD SiC घना र सफा छ। यो संक्षारक उपकरणहरूमा धेरै लामो समय सम्म रहन्छ।

(3) 8 इन्च SiC शीर्ष रिंग अनुकूलित गर्न सकिन्छ?

हो। हामी तपाईंको विशिष्ट उपकरण रेखाचित्रहरू निर्माण गर्छौं। हामी तपाईंको प्रक्रियाको आधारमा ज्यामिति समायोजन गर्न सक्छौं।

(४) कुन उद्योगहरूले SiC epitaxy rings प्रयोग गर्छन्?

तिनीहरू मुख्यतया पावर उपकरणहरू, आरएफ उपकरणहरू, र SiC वेफर उत्पादन सहित अर्धचालक निर्माणमा प्रयोग गरिन्छ।