Aixtron उपग्रह वाहक वाहक

ऐथ्रोन उपग्रह वेफर क्यारियर अर्क्सन MCVD उपकरणहरूको एक अभिन्न हिस्सा हो, विशेष गरी एपिटाइक्रिप्टियल बृद्धिको लागि वेफर गर्न प्रयोग गरियो। यो विशेष गरी उपयुक्त छप्रतीकgan र सिलिकन कार्बइड (SIC) उपकरणहरूको प्रक्रिया। यसको विशिष्ट "उपग्रह" डिजाइनले ग्यास प्रवाहको एकरूपता मात्र सुनिश्चित गर्दछ, तर वेबल सतहमा फिल्म डिस्पोजनको एकरूपता पनि सुधार गर्दछ।

Aixtron कोवेधर क्यारियरसामान्यतया बनेका हुन्छन्सिलिकन कार्बइड (SIC)वा CVD-लेभ गरिएको ग्राफिट। तिनीहरू मध्ये सिलियन कार्थरोइड (SIC) को उत्कृष्ट तापक्रम, उच्च तापमान प्रतिरोध प्रतिरोध र कम थर्मल विस्तार गुणा छ। CVD कोटेड ग्राफेट्सको साथ रासायनिक बाफ (CVD) प्रक्रियाको माध्यमबाट सिलिकन कार्ब्याड फिल्मको साथ ग्राफिटी लेपित हो, जुन यसको प्रतिरोध प्रतिरोध र मेकानिकल बल बढाउन सक्छ। SIC र लेक्षित ग्राफटी सामग्रीहरू 1,400 ° C-1 1,600 डिग्री सेल्सियस माथिको तापमान प्रतिरोध गर्न सक्दछ र उच्च तापक्रममा उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता छ, जुन एपिटाइक्रिप्टल बृद्धि प्रक्रियाको लागि महत्वपूर्ण छ।

Aixton Satellaite वेफर क्यारियर मुख्यतया मा वाफर्स गर्न को लागी प्रयोग गरीन्छMocvd प्रक्रियासमग्र ग्यास प्रवाह र एपिटाइक्रिप्टियल बृद्धिमा वर्दी ग्यास प्रवाह सुनिश्चित गर्न।विशिष्ट प्रकार्यहरू निम्नानुसार छन्:

● Wafer Refitation र एक समान डिसन: Aixtron उपचुलु क्यारियरको घुमाउने माध्यमबाट, वेफरले एपिट्याक्सल बृद्धिमा स्थिर आन्दोलन कायम गर्न सक्दछ, जसमा सामग्रीको समान बयान सुनिश्चित गर्न ग्यासलाई अनुमति दिन्छ।

● उच्च तापमान बोक्ने र स्थिरता: सिलिकन कार्बर्ड वा लेक्षित ग्राफंश सामग्रीहरू 1,400 ° C-1,600 डिग्री सेल्सियस माथिको तापमान सक्छ। यो सुविधाले यो सुनिश्चित गर्दछ कि वेफरले वेफर उच्च-तापमान एपिक्स्याजिकल बृद्धि गर्दैन, जबकि वाहक को संयोजन प्रक्रियालाई असर पुर्याउँछ।

● घटाइएको कटिलो पुस्ता: उच्च-गुणवत्ता वाहक सामग्री (जस्तै SIC) छ जुन फ्लटिक फोरआउन्सको बखत कट्रोल उत्पादन कम गर्दछ, जसले उच्च-शुद्धता, उच्च-शुद्धता, उच्च-गुणवत्ता विभाजन सामग्री उत्पादन गर्न महत्वपूर्ण छ।

Vetercydyon को Aixtron उपग्रह वेटेड वाहक 100 मिमी, 200 मिली, 200 मिलीग्राम, 200 मिलीग्राम र ठूलो दुर्बल आकारहरू उपलब्ध छ, र तपाइँको उपकरण र प्रक्रिया आवश्यकताहरु मा आधारित अनुकूलित उत्पाद सेवा प्रदान गर्न सक्छ। हामी ईमान्दार रूपमा चीनमा दीर्घकालीन पार्टनर हुन आशा गर्दछौं।

CVD SIC फिल्म क्रिस्टल संरचनाको SEM डाटा：

Aixtron उपनाम वेफर वाहन वाहक पसल पसल: