CVD TaC लेपित ससेप्टर

उत्पादन परिभाषा र संरचना

VETEK CVD TaC लेपित ससेप्टर एक उच्च-अन्त वेफर क्यारियर कम्पोनेन्ट हो जुन विशेष गरी तेस्रो-पुस्ताको अर्धचालक (SiC, GaN, AlN) एपिटेक्सियल प्रशोधनको लागि प्रयोग गरिन्छ। यो उत्पादनले दुई उच्च प्रदर्शन सामग्रीको भौतिक फाइदाहरू संयोजन गर्दछ:

उच्च शुद्धता ग्रेफाइट सब्सट्रेट: सब्सट्रेटमा उच्च संरचनात्मक बल, उच्च घनत्व, र थर्मल प्रशोधन स्थिरता सुनिश्चित गर्न आइसोस्टेटिक प्रेसिङ मोल्डिङ प्रक्रिया प्रयोग गर्दछ।

CVD TaC कोटिंग: एक घना, तनाव-रहित ट्यान्टालम कार्बाइड (TaC) सुरक्षात्मक तह उन्नत रासायनिक वाष्प निक्षेप (CVD) प्रविधि मार्फत ग्रेफाइट सतहमा बढाइन्छ।

मुख्य प्राविधिक लाभहरू: असाधारण चरम वातावरण अनुकूलन क्षमता

MOCVD प्रक्रियामा, TaC कोटिंग एक भौतिक सुरक्षात्मक तह मात्र होइन तर प्रक्रिया पुनरावृत्ति सुनिश्चित गर्नको लागि मूल पनि हो:

चरम उच्च तापमान को सहनशीलता: TaC को 3880°C जति उच्च पिघलने बिन्दु छ, 1600°C माथिको अति-उच्च तापक्रम एपिटेक्सियल प्रक्रियाहरूमा पनि उत्कृष्ट आकार स्थिरता कायम राख्छ।

उत्कृष्ट जंग प्रतिरोध: NH₃(अमोनिया) वा H₂(हाइड्रोजन) भएको बलियो घटाउने वातावरणमा, TaC को क्षरण दर अत्यन्तै कम हुन्छ, जसले प्रभावकारी रूपमा सब्सट्रेट हानि र अशुद्धता अवक्षेपणलाई रोक्छ।

अल्ट्रा-उच्च शुद्धता ग्यारेन्टी: कोटिंग शुद्धता 99.9995% को रूपमा उच्च छ। यसको बाक्लो संरचनाले ग्रेफाइट माइक्रोपोरहरूलाई पूर्ण रूपमा सील गर्दछ, एपिटेक्सियल फिल्म अत्यन्त कम अशुद्धता स्तरहरूमा पुग्ने सुनिश्चित गर्दछ।

सटीक थर्मल क्षेत्र वितरण: VETEK को अनुकूलित कोटिंग नियन्त्रण टेक्नोलोजीले ससेप्टर सतहको तापमान भिन्नता ±2 डिग्री सेल्सियस भित्र नियन्त्रण गरिएको सुनिश्चित गर्दछ, उल्लेखनीय रूपमा वेफर एपिटेक्सियल तहको मोटाई र तरंग लम्बाइ स्थिरतामा सुधार गर्दछ।

प्राविधिक प्यारामिटरहरू

माइक्रोस्कोपिक क्रस-सेक्शनमा ट्यान्टालम कार्बाइड (TaC) कोटिंग:

कोर आवेदन क्षेत्रहरू

SiC (सिलिकन कार्बाइड) एपिटेक्सियल ग्रोथ: 6-इन्च, 8-इन्च, र ठूलो साइज SiC पावर उपकरणहरूको उत्पादनलाई समर्थन गर्दछ।

GaN (गैलियम नाइट्राइड) आधारित उपकरणहरू: उच्च-चमक LEDs, HEMT पावर यन्त्रहरू, र RF चिपहरूको लागि MOCVD प्रक्रियाहरूमा प्रयोग गरिन्छ।

AlN (एल्युमिनियम नाइट्राइड) र UVC वृद्धि: अत्यधिक उच्च-तापमान (1400°C+) वाहक समाधानहरू अल्ट्रा-वाइड ब्यान्डग्याप सामग्रीहरू जस्तै डीप UV LEDs को लागि प्रदान गर्दछ।

अनुकूलित अनुसन्धान समर्थन: विभिन्न अनियमित भागहरू र बहु-प्वाल डिस्कहरूको लागि अनुसन्धान संस्थानहरूको सटीक अनुकूलन आवश्यकताहरू अनुकूल गर्दछ।

मिल्दो मोडेल र अनुकूलन सेवाहरू

VETEK सँग सटीक मेकानिकल प्रशोधन र कोटिंग क्षमताहरू छन्, पूर्ण रूपमा विश्वव्यापी मुख्यधारा MOCVD उपकरणहरूमा अनुकूलन गर्दै:

AIXTRON: विभिन्न ग्रह परिक्रमा डिस्क र आधारहरू समर्थन गर्दछ।

भिको: K465i, प्रोपेल, र अन्य ठाडो ससेप्टर श्रृंखला समर्थन गर्दछ।