CVD TaC कोटिंग ग्रहहरू SiC एपिटेक्सियल ससेप्टर

Aixtron प्लानेटरी रिएक्टर सबैभन्दा उन्नत मध्ये एक होMOCVD उपकरण। यो धेरै रिएक्टर निर्माताहरु को लागी एक सिकाउने टेम्प्लेट भएको छ। तेर्सो ल्यामिनार प्रवाह रिएक्टरको सिद्धान्तमा आधारित, यसले विभिन्न सामग्रीहरू बीच स्पष्ट संक्रमण सुनिश्चित गर्दछ र एकल परमाणु तह क्षेत्रमा निक्षेप दरमा अतुलनीय नियन्त्रण छ, विशिष्ट परिस्थितिहरूमा घुम्ने वेफरमा जम्मा गर्दछ। 

यिनीहरूमध्ये सबैभन्दा महत्त्वपूर्ण छ मल्टिपल रोटेशन मेकानिजम: रिएक्टरले CVD TaC कोटिंग प्लानेटरी SiC epitaxial susceptor को बहु परिक्रमाहरू अपनाउछ। यो रोटेशनले वेफरलाई प्रतिक्रियाको समयमा प्रतिक्रिया ग्याससँग समान रूपमा उजागर गर्न अनुमति दिन्छ, जसले गर्दा वेफरमा जम्मा गरिएको सामग्रीको तह मोटाई, संरचना र डोपिङमा उत्कृष्ट एकरूपता छ।

TaC सिरेमिक उच्च पिघलने बिन्दु (3880°C), उत्कृष्ट थर्मल चालकता, विद्युत चालकता, उच्च कठोरता र अन्य उत्कृष्ट गुणहरू सहित एक उच्च प्रदर्शन सामग्री हो, सबैभन्दा महत्त्वपूर्ण जंग प्रतिरोध र ओक्सीकरण प्रतिरोध हो। SiC र समूह III नाइट्राइड अर्धचालक सामाग्री को epitaxial वृद्धि अवस्था को लागी, TaC मा उत्कृष्ट रासायनिक जडत्व छ। तसर्थ, CVD विधिद्वारा तयार गरिएको CVD TaC कोटिंग ग्रहहरूको SiC एपिटेक्सियल ससेप्टरमा स्पष्ट फाइदाहरू छन्।SiC epitaxial वृद्धिप्रक्रिया।

TaC-लेपित ग्रेफाइटको क्रस-सेक्शनको SEM छवि

●  उच्च तापक्रम प्रतिरोध: SiC epitaxial वृद्धि तापमान 1500 ℃ - 1700 ℃ वा अझ उच्च छ। TaC को पिघलने बिन्दु लगभग 4000 ℃ को रूपमा उच्च छ। पछिTaC कोटिंगग्रेफाइट सतहमा लागू हुन्छग्रेफाइट भागहरूउच्च तापमानमा राम्रो स्थिरता कायम राख्न सक्छ, SiC epitaxial वृद्धि को उच्च तापमान अवस्था सामना गर्न, र epitaxial वृद्धि प्रक्रिया को सहज प्रगति सुनिश्चित।

● परिष्कृत जंग प्रतिरोध: TaC कोटिंगमा राम्रो रासायनिक स्थिरता छ, प्रभावकारी रूपमा यी रासायनिक ग्यासहरूलाई ग्रेफाइटको सम्पर्कबाट अलग गर्दछ, ग्रेफाइटलाई क्षरण हुनबाट रोक्छ, र ग्रेफाइट भागहरूको सेवा जीवन विस्तार गर्दछ।

● सुधारिएको थर्मल चालकता: TaC कोटिंगले ग्रेफाइटको थर्मल चालकता सुधार गर्न सक्छ, ताकि गर्मीलाई ग्रेफाइट भागहरूको सतहमा समान रूपमा वितरण गर्न सकिन्छ, SiC epitaxial वृद्धिको लागि स्थिर तापमान वातावरण प्रदान गर्दछ। यसले SiC epitaxial तहको वृद्धि एकरूपता सुधार गर्न मद्दत गर्दछ।

● अशुद्धता प्रदूषण कम गर्नुहोस्: TaC कोटिंगले SiC सँग प्रतिक्रिया गर्दैन र ग्रेफाइट भागहरूमा अशुद्धता तत्वहरूलाई SiC epitaxial तहमा फैलिनबाट रोक्न प्रभावकारी बाधाको रूपमा काम गर्न सक्छ, जसले गर्दा SiC epitaxial वेफरको शुद्धता र कार्यसम्पादनमा सुधार हुन्छ।

VeTek सेमीकन्डक्टर CVD TaC कोटिंग प्लानेटरी SiC एपिटेक्सियल ससेप्टर बनाउन सक्षम र राम्रो छ र ग्राहकहरूलाई उच्च अनुकूलित उत्पादनहरू प्रदान गर्न सक्छ। हामी तपाईको सोधपुछको लागि तत्पर छौं।

को भौतिक गुणट्यान्टलम कार्बाइड कोटिंग 

VeTek सेमीकन्डक्टर उत्पादन पसलहरू