CVD TAC कोटिंग

CVD TaC कोटिंग (रासायनिक वाष्प निक्षेप ट्यान्टालम कार्बाइड कोटिंग) मुख्यतया ट्यान्टालम कार्बाइड (TaC) बाट बनेको कोटिंग उत्पादन हो। TaC कोटिंगमा अत्यन्त उच्च कठोरता, पहिरन प्रतिरोध, र उच्च तापक्रम प्रतिरोध छ, यसले मुख्य उपकरण कम्पोनेन्टहरू सुरक्षित गर्न र प्रक्रियाको विश्वसनीयता सुधार गर्नको लागि एक आदर्श विकल्प बनाउँछ। यो अर्धचालक प्रशोधन मा एक अपरिहार्य सामाग्री हो।

CVD Taac कोटिंग उत्पादनहरू प्राय: प्रतिक्रियाको कोठामा, वेफर क्यारियरहरू, र ecching उपकरणहरूमा प्रयोग गरिन्छ, र तिनीहरूमा निम्न कुञ्जी भूमिकाहरू प्ले गर्छन्।

CVD TAC कोटिंग प्राय: प्रतिक्रियाको कोठाको आन्तरिक कम्पोनेन्टहरूको आन्तरिक कम्पोनेन्टहरूको लागि प्रयोग गरिन्छ जस्तै सब्सट्रेट, भित्ता प्यानल, र तताउने तत्वहरू। यसको उत्कृष्ट उच्च तापक्रम प्रतिरोधको साथ संयुक्त, यसले प्रभावकारी तापमान, क्षतिपूर्ति ग्यास र प्लाजेलको प्रतिरोध गर्न सक्दछ, उपकरणको सेवा जीवन विस्तार गर्न र प्रक्रिया उत्पादनको शुद्धता प्रदान गर्न सक्दछ।

थप रूपमा, TAC-लेपित वेफर क्यारियरहरू (जस्तै क्वार्टज डु boats ्गा, फिन्चराहरू, आदि) साथै उत्कृष्ट तातो प्रतिरोध र रासायनिक प्रतिरोधको प्रतिरोध पनि। वेफर क्यारियरले उच्च तापमानहरूमा वेफरको लागि भरपर्दो समर्थन प्रदान गर्न सक्छ, वेफर दूषित र विज्ञलाई रोक्नुहोस्, र यसरी समग्र चिप उधारोमा सुधार गर्नुहोस्।

यसबाहेक, VeTek सेमीकन्डक्टरको TaC कोटिंग विभिन्न नक्काशी र पातलो फिल्म डिपोजिसन उपकरणहरूमा पनि व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ, जस्तै प्लाज्मा एचर, रासायनिक वाष्प निक्षेप प्रणाली, आदि। यी प्रशोधन प्रणालीहरूमा, CVD TAC कोटिंगले उच्च-ऊर्जा आयन बमबारी र कडा रासायनिक प्रतिक्रियाहरू सामना गर्न सक्छ। , यसैले प्रक्रिया को शुद्धता र दोहोरिने योग्यता सुनिश्चित।

तपाईंको विशेष आवश्यकताहरू जे भए पनि, हामी तपाईंको CVD TAC कोटिंग आवश्यकताहरूको लागि उत्तम समाधानसँग मेल खानेछौं र कुनै पनि समयमा तपाईंको परामर्शको लागि तत्पर हुनेछौं।

VeTek सेमीकन्डक्टर CVD TAC कोटिंग उत्पादन पसलहरू:

अर्धवान्डुनिक चिप एपिट एपिट्याक्साएक्साएक्साएक्साएक्साएक्साएक्साएक्साएक्साएक्साएक्साएक्शन चेन: