उच्च शुद्धता क्वार्ट्ज ईच रिंग

1.मुख्य सुविधाहरू र लाभहरू

• SiO₂ ≥ 99.999% र कडा रूपमा नियन्त्रित धातु अशुद्धता संग अर्धचालक-ग्रेड डिहाइड्रोक्सिलेटेड फ्यूज क्वार्ट्ज

• 1100 डिग्री सेल्सियस सम्म स्थिर निरन्तर सञ्चालन, 1200 डिग्री सेल्सियस नजिक छोटो अवधि क्षमताको साथ

• फ्लोरिन- र क्लोरीन-आधारित इच रसायन र उच्च-ऊर्जा प्लाज्मा एक्सपोजरको लागि बलियो प्रतिरोध

• कम थर्मल विस्तार र दोहोर्याइएको चेम्बर तापमान चक्र अन्तर्गत राम्रो थर्मल-आघात प्रदर्शन

• कम भ्याकुम आउटगासिङ चेम्बर आधार दबाव र प्रक्रिया ग्यास संरचना जोगाउन

• लगातार चेम्बर फिट र प्लाज्मा सीमा परिभाषाको लागि पॉलिश सम्पर्क सतहहरूको साथ माइक्रोन-स्तर आयामी नियन्त्रण

• कन्फिगर गर्न मिल्ने डिजाइनहरू: फ्ल्याट रिङ्हरू, स्टेप्ड इच रिङ्हरू, पत्ता लगाउने/रिटेनिङ रिङ्हरू, र प्रमुख इच उपकरण प्लेटफर्महरूका लागि पूर्ण रूपमा अनुकूलन प्रोफाइलहरू

2.सामान्य अनुप्रयोगहरू

उच्च शुद्धता क्वार्ट्ज इच रिंगहरू सुक्खा प्लाज्मा ईच प्रक्रिया कक्षहरूमा प्रयोग गरिन्छ:

• तर्क र मेमोरी उपकरण प्लाज्मा नक्काशी चरणहरू

• SiC र GaN पावर-उपकरण ईच प्रक्रियाहरू

• उच्च-पक्ष-अनुपात संरचना etch

• अप्टिकल र कम्पाउन्ड-सेमिकन्डक्टर सब्सट्रेट प्लाज्मा प्रशोधन

• उन्नत प्याकेजिङ्ग प्लाज्मा इच र सम्बन्धित सफाई चरणहरू

• RIE / ICP प्रयोगशाला र उत्पादन नक्काशी उपकरणहरू

3.प्रमुख प्राविधिक प्यारामिटरहरू

• सामग्री: अर्धचालक-ग्रेड डिहाइड्रोक्सिलेटेड फ्यूज क्वार्ट्ज, SiO₂ ≥ 99.999%

• वेफर अनुकूलता: 2 / 4 / 6 / 8 / 12 इन्च सिलिकन, SiC, GaN, र नीलमणि

• सञ्चालन तापमान: −20 °C देखि 1100 °C निरन्तर; छोटो अवधिको शिखर लगभग 1200 डिग्री सेल्सियस

• प्राथमिक कार्यहरू: प्लाज्मा किनारा कैद, ग्यास-प्रवाह मार्गदर्शन, किनारा संरक्षण, र चेम्बर अलगाव

• मेसिन गुणस्तर: माइक्रोन-स्तर सहनशीलता, पालिश सतहहरू, नियन्त्रित किनाराहरू, र सफा समाप्त

• संरचना विकल्पहरू: समतल घण्टी, स्टेप्ड इच रिंग, पत्ता लगाउने/रिटेनिङ रिङ, र अनुकूलन ज्यामितिहरू

• अनुकूलन: बाहिरी / भित्री व्यास, मोटाई, चरण उचाइ, पत्ता लगाउने सुविधाहरू, च्याम्फरहरू, र प्रति रेखाचित्र इन्टरफेस विवरणहरू

4.किन VeTek उच्च शुद्धता क्वार्ट्ज इच रिंगहरू छनौट गर्नुहोस्?

VeTek सेमीकन्डक्टरले ईच र थर्मल उपकरणहरूको लागि प्रक्रिया-महत्वपूर्ण क्वार्ट्ज हार्डवेयर आपूर्ति गर्दछ। इच रिंगहरूको लागि, फोकस निम्नमा छ:

• सामग्रीको शुद्धता र सतहको सरसफाई उन्नत सुख्खा-ईच वातावरणको लागि उपयुक्त छ

• आयामी शुद्धता जसले स्थिर प्लाज्मा सीमा नियन्त्रण र दोहोर्याउने चेम्बर फिटलाई समर्थन गर्दछ

• OEM-शैली प्रतिस्थापन र पूर्ण रूपमा अनुकूलन च्याम्बर इन्टरफेसहरूको लागि डिजाइन लचिलोपन

• पूर्ण क्वार्ट्ज कम्पोनेन्ट दायरा जसमा वेफर क्यारियरहरू, फर्नेस ट्यूबहरू, डुङ्गाहरू, र सम्बन्धित प्रक्रिया भागहरू पनि समावेश छन्।

उच्च शुद्धता, प्लाज्मा स्थायित्व, र कडा ज्यामिति नियन्त्रणको संयोजन गरेर, VeTek उच्च शुद्धता क्वार्ट्ज इच रिंगहरूले पार-वेफर इच एकरूपता सुधार गर्न, किनारा-सम्बन्धित दोषहरू कम गर्न, र ड्राई प्लाज्मा ईच उपकरणहरूमा लामो, थप स्थिर उत्पादन चक्रहरूलाई समर्थन गर्दछ।