Lpe आधामुन साइक एपियर रिभोर

Lpe आधामुन साइक एपियर रिभोरएक उपकरण हो जुन विशेष गरी उच्च-गुणवत्ताको उत्पादन गर्न डिजाइन गरिएको होसिलिकन कार्बइड (SIC) Epitaxialतहका तहहरू, जहाँ समग्र आधा प्रतिक्रियाको चेम्बरमा हुन्छ, जहाँ सब्सट्रेट चरम तापक्रम र क्षतिग्रस्त ग्याँसहरूमा पर्दछ। सेवा जीवन र प्रतिक्रियाको सेवा कम्पोनेन्ट्स, रासायनिक बाफ जम्मा (CVD) को सेवा जीवन र प्रदर्शन सुनिश्चित गर्नSic कोटिंगसामान्यतया प्रयोग गरिन्छ। 

Lpe आधामुन साइक एपियर रिभोरकम्पोनेन्टहरू:

मुख्य प्रतिक्रिया चेम्बर: मुख्य प्रतिक्रिया कोठा उच्च-तापमान प्रतिरोधी सामग्रीले बनेको छ जुन सिलिकन कार्बइड (SIC) रGrafite, जुनसँग अत्यन्त उच्च रासायनिक क्षतिको प्रतिरोध र उच्च तापमान प्रतिरोध छ। अपरेटिंग तापमान सामान्यतया 1,400 डिग्री सेल्सियस वर्गको बीचमा हुन्छ, जसले उच्च तापमान सर्तहरूको अन्तर्गत सिलिकन कार्बड क्रिस्टलहरूको बृद्धि गर्न मद्दत गर्दछ। मुख्य प्रतिक्रिया कोठाको अपरेटिंग दबाव 10 बीचमा छ^-3र 10^-1महोख, र उपनियमता को एकरूपता एक दबाब समायोजन गरेर नियन्त्रण गर्न सकिन्छ।

हीटिंग कम्पोनेन्टहरू: Grafite वा सिलिकन कार्बइड (SIC) हीटरहरू सामान्यतया प्रयोग गरिन्छ, जसले उच्च तापमान सर्तहरूको अन्तर्गत स्थिर हटी स्रोत प्रदान गर्दछ।

LPE आधामुन साइकल एपीआई रिभर्सले एपिटाइक्रिप्टेली उच्च-गुणवत्ता सिलिकन कार्यस्टन फिल्महरू हैन। विशेष रूपमा,यो निम्न पक्षहरूमा प्रकट हुन्छ:

एपिट्याक्सिलरी तहको वृद्धि: तरल चरणको माध्यमबाट एपिटक्सिक्स प्रक्रिया मार्फत, अत्यन्त कम-त्रुटि एपिटाअरेक्सल तहहरू sic सब्सट्रेसमा उब्जाउन सकिन्छ, बढ्नको दर लगभग 1-10 को वृद्धि हुन्छ। एकै साथ, ग्यास प्रवाह दर मुख्य प्रतिक्रिया कक्षको दर सामान्यतया 10-100 SCCMITES (मानौं क्युबिक सेन्टिमिटरहरू प्रति मिनेटमा नियन्त्रण गर्दछ) ऑप्टेक्सिएटिक तहको एकरूपता सुनिश्चित गर्दछ।

उच्च तापमान स्थिरता: SIC EPITAXAXIL लेयरहरूले अझै उच्च तापमान, उच्च दबाव, र उच्च आवृत्तिको वातावरणमा उत्कृष्ट प्रदर्शन कायम गर्न सक्दछ।

दोष घनत्व घटाउनुहोस्: Lpernun SIC एम्पर एपियरको अद्वितीय संरचनात्मक डिजाइनरले एपिट्याक्साइक्रिप्ट प्रक्रियाको बखत क्रिस्टल दोषहरूको प्रभावकारी रूपमा कम गर्न सक्दछ, जसले उपकरण प्रदर्शन र विश्वसनीयता सुधार गर्दछ।

उपग्रह सेलिमिकन्डरकई अर्लीन्डो उद्योगको लागि उन्नत टेक्नोलोजी र उत्पादन समाधान प्रदान गर्न प्रतिबद्ध छ। एकै साथ हामी अनुकूलित उत्पाद सेवाहरूको समर्थन गर्दछौं।हामी ईमान्दार रूपमा चीनमा तपाईंको दीर्घकालीन पार्टनर बन्न आशा गर्दछौं.

CVD SIC फिल्म क्रिस्टल संरचनाको SEM डाटा:

CVD SIC कोटिंगको आधारभूत भौतिक गुणहरू：

VETEK SEMIMONDUCTACORET TRE TRE आधामोन SIC EPI ACTERED IRTEFERD PROS: