MOCVD SiC लेपित ससेप्टर

प्राविधिक प्यारामिटरहरू

CVD SIC फिल्म क्रिस्टल संरचना

उत्पादन परिभाषा र संरचना

VETEK MOCVD SiC कोटेड ससेप्टर एक प्रिमियम वेफर बोक्ने कम्पोनेन्ट हो जुन विशेष गरी तेस्रो-पुस्ताको अर्धचालकहरूको एपिटेक्सियल प्रशोधनको लागि, जस्तै GaN र SiC। यो उत्पादनले दुई उच्च प्रदर्शन सामग्रीको उत्कृष्ट भौतिक गुणहरू एकीकृत गर्दछ:

उच्च शुद्धता ग्रेफाइट सब्सट्रेट: आधार सामग्रीमा असाधारण संरचनात्मक अखण्डता, उच्च घनत्व, र थर्मल प्रशोधन स्थिरता रहेको सुनिश्चित गर्न आइसोस्टेटिक प्रेसिङ प्रविधि प्रयोग गरी निर्मित।

CVD SiC कोटिंग: उन्नत रासायनिक भाप डिपोजिसन (CVD) प्रविधि मार्फत ग्रेफाइट सतहमा बाक्लो, तनावरहित सिलिकन कार्बाइड (SiC) सुरक्षात्मक तह बढाइन्छ।

किन VETEK तपाईंको उपज ग्यारेन्टी हो

थर्मल एकरूपता नियन्त्रणमा परम परिशुद्धता: परम्परागत वाहकहरूको विपरीत, VETEK ससेप्टरहरूले कोटिंग मोटाई र थर्मल प्रतिरोधको नानोमिटर-स्केल परिशुद्धता नियन्त्रण मार्फत सम्पूर्ण सतहमा अत्यधिक सिङ्क्रोनाइज्ड ताप स्थानान्तरण प्राप्त गर्दछ। यो परिष्कृत थर्मल व्यवस्थापनले वेफर सतहमा तरंगदैर्ध्य मानक विचलन (STD) लाई प्रभावकारी रूपमा न्यूनीकरण गर्दछ, दुबै एकल-वेफर गुणस्तर र समग्र ब्याच स्थिरतालाई उल्लेखनीय रूपमा बढाउँछ।

शून्य कण प्रदूषण संग दीर्घकालीन संरक्षण: अत्यधिक संक्षारक ग्यासहरू भएको MOCVD प्रतिक्रिया कक्षहरूमा, सामान्य ग्रेफाइट पेडेस्टलहरू कण फ्लेकिंगको खतरामा हुन्छन्। VETEK को CVD SiC कोटिंगमा असाधारण रासायनिक जडता छ, एक अभेद्य ढालको रूपमा कार्य गर्दछ जसले ग्रेफाइट माइक्रोपोरहरू सील गर्दछ। यसले सब्सट्रेट अशुद्धताहरूको पूर्ण अलगाव सुनिश्चित गर्दछ, GaN वा SiC epitaxial तहहरूको कुनै पनि प्रदूषण रोक्न।

असाधारण थकान प्रतिरोध र सेवा जीवन:VETEK को मालिकाना इन्टरफेस उपचार प्रक्रिया को लागी धन्यवाद, हाम्रो SiC कोटिंगले ग्रेफाइट सब्सट्रेट संग एक अनुकूलित थर्मल विस्तार मिलान प्राप्त गर्दछ। चरम तापक्रमको बीचमा उच्च-फ्रिक्वेन्सी थर्मल साइकल चलाउँदा पनि, कोटिंगले पिलिङ्ग वा माइक्रो क्र्याकहरू विकास नगरी उच्च आसंजन कायम राख्छ। यसले स्पेयर पार्ट मर्मतसम्भारको आवृत्तिलाई उल्लेखनीय रूपमा घटाउँछ र तपाईंको स्वामित्वको कुल लागत घटाउँछ।

हाम्रो कार्यशाला