Wafers मा Notch के हो?

सिलिकन वेफर्सएकीकृत सर्किट र अर्धचालक उपकरणहरूको आधार हो। तिनीहरूसँग एक चाखलाग्दो विशेषता छ - समतल किनाराहरू वा छेउमा स-साना ग्रूभहरू। यो कुनै दोष होइन, तर जानाजानी डिजाइन गरिएको कार्यात्मक मार्कर हो।वास्तवमा, यो खाचले सम्पूर्ण निर्माण प्रक्रियामा दिशात्मक सन्दर्भ र पहिचान मार्करको रूपमा कार्य गर्दछ।

प्रारम्भिक दिनहरूमा, वेफरहरूले प्रायः मार्करको रूपमा "फ्लैट" प्रयोग गर्थे, जसको अर्थ गोलाकार किनारामा छोटो सीधा खण्डको जमीन हो। यी फ्ल्याटहरूको स्थिति र संख्या क्रिस्टल अभिमुखीकरण र डोपिङ प्रकारहरू छुट्याउन प्रयोग गरियो। वेफरको आकार बढ्दै गएको र प्रक्रियाको शुद्धतामा सुधार हुँदै गएपछि, मुख्यधाराको २०० मिमी र ३०० मिमी वेफरहरूले सानो चाप आकारको खाच डिजाइनमा ठूलो मात्रामा मानकीकृत भएका छन्। यस खाचको स्थिति मापदण्डहरूद्वारा परिभाषित गरिएको छ र एक निश्चित अभिमुखीकरणमा अवस्थित छ, जुन वेफरको क्रिस्टल अभिविन्यास (उदाहरणका लागि <100> वा <111>) संकेत गर्न र त्यसपछिका उपकरणहरूको लागि साझा सन्दर्भ बिन्दु प्रदान गर्न प्रयोग गरिन्छ।

वेफर खाच को कार्य के हो? 

• पहिलो, यसले वेफर पङ्क्तिबद्धताको लागि सन्दर्भ प्रदान गर्दछ। लिथोग्राफी, नक्काशी र आयन इम्प्लान्टेशन जस्ता मुख्य चरणहरूमा धेरै ढाँचा तहहरू स्ट्याक गर्न आवश्यक छ। यदि प्रत्येक तहको समन्वय प्रणाली एकरूप छैन भने, अन्तिम यन्त्रहरू गलत र स्क्र्याप गरिनेछ। निशान स्थिति पत्ता लगाएर, उपकरणले तुरुन्तै एक एकीकृत समन्वय प्रणाली स्थापना गर्न सक्छ र त्यसपछि सटीक ओभरले प्राप्त गर्न पङ्क्तिबद्ध चिन्हहरू प्रयोग गर्न सक्छ।
• दोस्रो, यसले वेफर जानकारी इन्कोड गर्दछ। विभिन्न क्रिस्टल अभिमुखीकरणहरू र विभिन्न डोपिङ प्रकारहरू (जस्तै P-प्रकार र N-प्रकार) फरक सामग्री गुणहरू र डिजाइन विचारहरू छन्। ब्याक-साइड मार्किङहरू र अन्य माध्यमहरूसँग मिलेर नोच अभिविन्यासले उत्पादन लाइनलाई स्वचालित ह्यान्डलिंग र क्रमबद्ध गर्दा वेफरहरू द्रुत रूपमा पहिचान गर्न अनुमति दिन्छ, विभिन्न उत्पादन प्रकारहरू बीचको मिक्स-अपहरू बेवास्ता गर्दै।
• तेस्रो, यसले स्वचालित ह्यान्डलिंगमा सुरक्षा सुनिश्चित गर्दछ। आधुनिक फ्याबहरूले रोबोट हतियार र स्वचालित सामग्री ह्यान्डलिंग प्रणाली (AMHS) को व्यापक प्रयोग गर्दछ। यी प्रणालीहरू अगाडि/पछाडिको पक्ष र वेफरको अभिमुखीकरण निर्धारण गर्न खाचमा भर पर्छन्, मिसलोडिङ वा फ्लिपिङलाई रोक्न जसले अन्यथा उपज हानि निम्त्याउँछ।

यन्त्र र प्रक्रिया इन्जिनियरहरूका लागि, वेफरमा रहेको खाच नगण्य देखिन सक्छ, तर यो क्रिस्टल पुलिङ, एपिटेक्सी र वेफर फेब्रिकेसनदेखि प्रि-प्याकेजिङ परीक्षणसम्म सम्पूर्ण प्रक्रिया श्रृंखलामा चल्छ। जब पनि "दिशा" संलग्न हुन्छ - क्रिस्टल अभिमुखीकरण, लेआउट पङ्क्तिबद्धता, तनाव अभिमुखीकरण, वा केहि शक्ति उपकरणहरूको संरचना डिजाइन पनि - यो सानो ज्यामितीय मार्कर लगभग सधैं पृष्ठभूमिमा हुन्छ। एकचोटि तपाईंले खाचको भूमिका बुझ्नुभयो भने, उत्पादन लाइनको माध्यमबाट कसरी वेफर "चाल" हुन्छ र कसरी प्रत्येक प्रक्रिया चरणले सिलिकनको यस टुक्राको वरिपरि यसको समन्वय प्रणाली निर्माण गर्दछ भनेर अनुसरण गर्न धेरै सजिलो हुन्छ।