सिलिकन वेफर्स एकीकृत सर्किट र अर्धचालक उपकरणहरूको आधार हो। तिनीहरूसँग एक रोचक विशेषता छ - समतल किनाराहरू वा छेउमा स-साना ग्रोभहरू। यो कुनै दोष होइन, तर जानाजानी डिजाइन गरिएको कार्यात्मक मार्कर हो। वास्तवमा, यो खाचले सम्पूर्ण निर्माण प्रक्रियामा दिशात्मक सन्दर्भ र पहिचान मार्करको रूपमा कार्य गर्दछ।
केमिकल मेकानिकल पॉलिशिङ (CMP) ले रासायनिक प्रतिक्रिया र मेकानिकल घर्षणको संयुक्त कार्य मार्फत अतिरिक्त सामग्री र सतह दोषहरू हटाउँछ। यो वेफर सतहको विश्वव्यापी प्लानराइजेशन प्राप्त गर्नको लागि एक प्रमुख प्रक्रिया हो र बहु-तह तामा इन्टरकनेक्टहरू र कम-के डाइलेक्ट्रिक संरचनाहरूको लागि अपरिहार्य छ। व्यावहारिक उत्पादन मा
सिलिकन वेफर सीएमपी (केमिकल मेकानिकल प्लानराइजेशन) पॉलिशिंग स्लरी अर्धचालक निर्माण प्रक्रियामा एक महत्वपूर्ण घटक हो। सिलिकन वेफरहरू - एकीकृत सर्किटहरू (ICs) र माइक्रोचिपहरू सिर्जना गर्न प्रयोग गरिन्छ - उत्पादनको अर्को चरणहरूको लागि आवश्यक सहजताको सही स्तरमा पालिश गरिएको छ भन्ने सुनिश्चित गर्न यसले महत्त्वपूर्ण भूमिका खेल्छ।
अर्धचालक निर्माणमा, केमिकल मेकानिकल प्लानराइजेशन (CMP) ले महत्त्वपूर्ण भूमिका खेल्छ। सीएमपी प्रक्रियाले सिलिकन वेफर्सको सतहलाई चिल्लो बनाउन रासायनिक र मेकानिकल कार्यहरू संयोजन गर्दछ, पछिका चरणहरू जस्तै पातलो-फिल्म डिपोजिसन र एचिंगको लागि एक समान आधार प्रदान गर्दछ। CMP पालिश गर्ने स्लरी, यस प्रक्रियाको मुख्य भागको रूपमा, महत्त्वपूर्ण रूपमा पालिश गर्ने दक्षता, सतहको गुणस्तर, र उत्पादनको अन्तिम प्रदर्शनलाई असर गर्छ।
वेफर सीएमपी पॉलिशिंग स्लरी एक विशेष तरल पदार्थ हो जुन सेमीकन्डक्टर निर्माणको सीएमपी प्रक्रियामा प्रयोग गरिन्छ। यसमा पानी, रासायनिक नक्काशीहरू, घर्षणहरू, र सर्फेक्टन्टहरू हुन्छन्, जसले रासायनिक नक्काशी र मेकानिकल पालिसिङ दुवै सक्षम गर्दछ।
सिलिकन कार्बाइड एब्रेसिभहरू सामान्यतया क्वार्ट्ज र पेट्रोलियम कोक प्रयोग गरेर प्राथमिक कच्चा मालको रूपमा उत्पादन गरिन्छ। तयारी चरणमा, यी सामग्रीहरूलाई फर्नेस चार्जमा रासायनिक रूपमा अनुपातित हुनु अघि इच्छित कण आकार प्राप्त गर्न मेकानिकल प्रशोधन गरिन्छ।
विगतका केही वर्षहरूमा, प्याकेजिङ प्रविधिको केन्द्र चरणलाई क्रमशः "पुरानो प्रविधि" - CMP (केमिकल मेकानिकल पालिसिङ) लाई हस्तान्तरण गरिएको छ। जब हाइब्रिड बन्डिङ उन्नत प्याकेजिङ्गको नयाँ पुस्ताको प्रमुख भूमिका हुन्छ, CMP बिस्तारै पर्दा पछाडिबाट स्पटलाइटमा सर्दैछ।
घर र भान्साका उपकरणहरूको सधैं विकसित हुँदै गइरहेको संसारमा, एउटा उत्पादनले भर्खरै यसको नवीनता र व्यावहारिक अनुप्रयोगको लागि महत्त्वपूर्ण ध्यान प्राप्त गरेको छ - क्वार्ट्ज थर्मस बकेट।
सिलिकन कार्थ्रिड (SIC) क्रिस्टल बृद्धि भट्टीले अर्को पुस्ताको सेईटिन्डुनिकल उपकरणहरूको लागि उच्च-प्रदर्शन साइक भिजेर उत्पादन गर्न महत्त्वपूर्ण भूमिका खेल्छ। यद्यपि उच्च-गुणवत्ता अनुमानित आकार क्रिस्टलहरू बढेको प्रक्रियाले महत्वपूर्ण चुनौतीहरू प्रस्तुत गर्दछ। क्रिस्टल त्रुटिहरू सुनिश्चित गर्न, वर्दर दोषहरू सुनिश्चित गर्न अत्यधिक थर्मल ढाँचा प्रबन्ध गर्न, र उत्पादन लागत नियन्त्रण गर्न, प्रत्येक चरणलाई उन्नत ईन्जिनियरिंग समाधानहरू चाहिन्छ। यो लेखले अनुमानित क्रिस्टल बृद्धिका प्राविधिक चुनौतिहरू बहु दृष्टिकोणबाट भट्टीहरूको टेक्निकल चुनौतिहरू विश्लेषण गर्दछ।
स्मार्ट कट एक उन्नत अर्धचाल अर्धचालक प्रक्रिया हो र वेफर स्ट्रिंग प्रक्रिया हो, विशेष गरी अल्ट्रा-पातलो र अत्यधिक वर्दी सिलिकन कार्ब्याइड) वेफर। यसले अल्ट्रा-पातलो क्रिस्टल सामग्रीलाई अर्कोमा अर्को प्रतिस्थापनलाई हस्तान्तरण गर्न सक्छ, जसले मूल भौतिक सीमितता तोड्न र सम्पूर्ण सब्सट्रेट उद्योगलाई परिवर्तन गर्दै।
उच्च-गुणवत्ता र उच्च-उत्पादित सिलिकन कार्यसँगको तयारीमा, यसको मुख्यले राम्रो थर्मल फिल्ड सामग्रीको उत्पादन तापमानको आवश्यक नियन्त्रण आवश्यक छ। हाल, मुख्य रूपले प्रयोग गरीएको थर्मल क्षेत्र क्रूस क्रीयली वर्गकहरू, जसको काम तातो कार्बन पाउडर र गर्मी कायम राख्नको लागि हो।
जब तपाईं तेस्रो पुस्ता अर्ध मन्टोन्क्टरहरू देख्नुहुन्छ, तपाईं अचम्मै र दोस्रो पुस्ताहरू भएको आश्चर्यचकित हुनुहुनेछ। यहाँ "पुस्ता" सेम्मोडूक्टर निर्माणमा प्रयोग गरिएको सामग्रीको आधारमा वर्गीकृत छ।
इलेक्ट्रोस्टेटिक चक (एएससी), पनि इलेक्ट्रोस्टेटिक चक (ESC, ई-चक) को रूपमा परिचित एक स्थिरता हो जुन एडस्ट्रोस्टिक सामग्री होल्ड गर्न र ठीक गर्नको लागि। यो भ्याकुम र प्लाज्मा वातावरणको लागि उपयुक्त छ।
SIC वेफर क्यारियरहरू, तेस्रो-पुस्तिका अर्धविकांडर उद्योग चेन मा प्रमुख उपभोक्ता, तिनीहरूको टेक्निकल विशेषताहरु को उपजगत विकास र उपकरण निर्माण को उपज। उच्च विकास स्टेशनहरू र नयाँ ऊर्जा सवारी साधन, अनुसन्धान र अनुक्रमका सवारी साधनहरूको लागि उच्च-मतदान र उच्च-ताप्लनहरू उपकरणहरूको लागि बढ्दो मागको साथ अब महत्त्वपूर्ण विकास अवसरहरूको सामना गरिरहेका छन्।
हामी तपाईंलाई राम्रो ब्राउजिङ अनुभव प्रदान गर्न, साइट ट्राफिक विश्लेषण र सामग्री निजीकृत गर्न कुकीहरू प्रयोग गर्छौं। यो साइट प्रयोग गरेर, तपाईं कुकीहरूको हाम्रो प्रयोगमा सहमत हुनुहुन्छ। गोपनीयता नीति