ओक्सीकरण र प्रसार फर्नेस

अक्सिडेशन र डिफ्युजन फर्नेसहरू विभिन्न क्षेत्रहरूमा प्रयोग गरिन्छ जस्तै सेमीकन्डक्टर उपकरणहरू, अलग उपकरणहरू, अप्टोइलेक्ट्रोनिक उपकरणहरू, पावर इलेक्ट्रोनिक उपकरणहरू, सौर्य कक्षहरू, र ठूलो मात्रामा एकीकृत सर्किट निर्माण। तिनीहरू प्रसार, अक्सिडेशन, एनिलिङ, मिश्र धातु, र वेफर्सको सिंटरिङ सहित प्रक्रियाहरूको लागि प्रयोग गरिन्छ।

VeTek सेमीकन्डक्टर उच्च शुद्धता ग्रेफाइट, सिलिकन कार्बाइड र अक्सिडेशन र डिफ्यूजन फर्नेसहरूमा क्वार्ट्ज कम्पोनेन्टहरूको उत्पादनमा विशेषज्ञता हासिल गर्ने एक अग्रणी निर्माता हो। हामी सेमीकन्डक्टर र फोटोभोल्टिक उद्योगहरूको लागि उच्च-गुणस्तरको फर्नेस कम्पोनेन्टहरू उपलब्ध गराउन प्रतिबद्ध छौं, र CVD-SiC, CVD-TaC, पाइरोकार्बन, आदि जस्ता सतह कोटिंग टेक्नोलोजीमा अगाडि छौं।

VeTek सेमीकन्डक्टर सिलिकन कार्बाइड कम्पोनेन्टका फाइदाहरू:

उच्च तापमान प्रतिरोध (1600 ℃ सम्म)

उत्कृष्ट थर्मल चालकता र थर्मल स्थिरता

राम्रो रासायनिक जंग प्रतिरोध

थर्मल विस्तार को कम गुणांक

उच्च शक्ति र कठोरता

लामो सेवा जीवन

अक्सिडेशन र डिफ्युजन फर्नेसहरूमा, उच्च तापमान र संक्षारक ग्यासहरूको उपस्थितिको कारण, धेरै कम्पोनेन्टहरूलाई उच्च-तापमान र जंग-प्रतिरोधी सामग्रीहरूको प्रयोग आवश्यक पर्दछ, जसमध्ये सिलिकन कार्बाइड (SiC) सामान्यतया प्रयोग हुने छनौट हो। निम्न सामान्य सिलिकन कार्बाइड कम्पोनेन्टहरू छन् जुन अक्सीकरण भट्टी र प्रसार भट्टीहरूमा पाइन्छ:

वेफर डुङ्गा

सिलिकन कार्बाइड वेफर बोट सिलिकन वेफरहरू बोक्न प्रयोग गरिने कन्टेनर हो, जसले उच्च तापक्रम सहन सक्छ र सिलिकन वेफरहरूसँग प्रतिक्रिया गर्दैन।

फर्नेस ट्यूब

फर्नेस ट्यूब डिफ्युजन फर्नेसको मुख्य भाग हो, सिलिकन वेफरहरू समायोजन गर्न र प्रतिक्रिया वातावरण नियन्त्रण गर्न प्रयोग गरिन्छ। सिलिकन कार्बाइड फर्नेस ट्यूबहरूमा उत्कृष्ट उच्च-तापमान र जंग प्रतिरोध प्रदर्शन छ।

बफल प्लेट

भट्टी भित्र वायु प्रवाह र तापमान वितरण विनियमित गर्न प्रयोग गरिन्छ

Thermocouple संरक्षण ट्यूब

तापक्रम मापन गर्ने थर्मोकलहरूलाई संक्षारक ग्यासहरूसँग प्रत्यक्ष सम्पर्कबाट जोगाउन प्रयोग गरिन्छ।

क्यान्टिलिभर प्याडल

सिलिकन कार्बाइड क्यान्टिलिभर प्याडलहरू उच्च तापक्रम र जंग प्रतिरोधी हुन्छन्, र सिलिकन डुङ्गाहरू वा क्वार्ट्ज डुङ्गाहरू सिलिकन वेफरहरू फैलाउन फर्नेस ट्यूबहरूमा ढुवानी गर्न प्रयोग गरिन्छ।

ग्याँस इन्जेक्टर

भट्टीमा प्रतिक्रिया ग्याँस परिचय गर्न प्रयोग गरिन्छ, यो उच्च तापमान र जंग प्रतिरोधी हुनु आवश्यक छ।

डुङ्गा वाहक

सिलिकन कार्बाइड वेफर डुङ्गा वाहक सिलिकन वेफरहरूलाई ठीक गर्न र समर्थन गर्न प्रयोग गरिन्छ, जसमा उच्च शक्ति, जंग प्रतिरोध, र राम्रो संरचनात्मक स्थिरता जस्ता फाइदाहरू छन्।

भट्टीको ढोका

सिलिकन कार्बाइड कोटिंग्स वा कम्पोनेन्टहरू भट्टीको ढोका भित्र पनि प्रयोग गर्न सकिन्छ।

ताप तत्व

सिलिकन कार्बाइड तताउने तत्वहरू उच्च तापमान, उच्च शक्तिको लागि उपयुक्त छन्, र चाँडै तापमान 1000 ℃ मा बढाउन सक्छ।

SiC लाइनर

फर्नेस ट्यूबहरूको भित्री पर्खालको रक्षा गर्न प्रयोग गरिन्छ, यसले गर्मी ऊर्जाको हानि कम गर्न र उच्च तापक्रम र उच्च दबाव जस्ता कठोर वातावरणको सामना गर्न मद्दत गर्न सक्छ।

View as

मिश्रित तरब्मी डु boat ्गा

Vetckie अर्धोन्डरकय सेल्फेस छाम्म डु are ्गा अर्ध बस्तु प्रशोधनका लागि उन्नत उपकरण हो। उत्पादन संरचनालाई सावधानीपूर्वक सावधानीपूर्वक डिजाइन गरिएको छ र सटीक वेफरको उत्पादन सुनिश्चित गर्न डिजाइन गरिएको हो। VeteceSmi ले अनुकूलित उत्पादन समाधानहरू समर्थन गर्दछ र तपाईंको परामर्शको लागि तत्पर छन्।

थप हेर्नुहोस् >> सोधपुछ पठाउनुहोस् >>

तेर्सो साइज वेफर क्यारियर

VeTek अर्धचालक एक पेशेवर निर्माता र TaC लेपित गाइड रिंग, तेर्सो SiC वेफर वाहक, र चीन मा SiC लेपित susceptors को आपूर्तिकर्ता हो। हामी सेमीकन्डक्टर उद्योगको लागि उत्तम प्राविधिक समर्थन र अन्तिम उत्पादन समाधानहरू प्रदान गर्न प्रतिबद्ध छौं। हामीलाई सम्पर्क गर्न स्वागत छ।

थप हेर्नुहोस् >> सोधपुछ पठाउनुहोस् >>

SIC वेफर डु boat ्गा

SiC वेफर डुङ्गा वेफर बोक्न प्रयोग गरिन्छ, मुख्यतया अक्सीकरण र प्रसार प्रक्रियाको लागि, तापक्रम वेफर सतहमा समान रूपमा वितरण गर्न सकिन्छ भनेर सुनिश्चित गर्न। उच्च तापमान स्थिरता र SiC सामग्रीको उच्च थर्मल चालकताले कुशल र भरपर्दो अर्धचालक प्रशोधन सुनिश्चित गर्दछ। Vetek अर्धचालक प्रतिस्पर्धी मूल्यहरूमा गुणस्तर उत्पादनहरू उपलब्ध गराउन प्रतिबद्ध छ।

थप हेर्नुहोस् >> सोधपुछ पठाउनुहोस् >>

SIC प्रक्रिया ट्यूब

VeTek सेमीकन्डक्टरले अर्धचालक निर्माणको लागि उच्च-प्रदर्शन SiC प्रक्रिया ट्यूबहरू प्रदान गर्दछ। हाम्रो SiC प्रक्रिया ट्यूबहरू ओक्सीकरण, प्रसार प्रक्रियाहरूमा उत्कृष्ट हुन्छन्। उच्च गुणस्तर र शिल्प कौशल संग, यी ट्यूबहरूले उच्च-तापमान स्थिरता र कुशल अर्धचालक प्रशोधनको लागि थर्मल चालकता प्रदान गर्दछ। हामी प्रतिस्पर्धी मूल्य निर्धारण प्रस्ताव गर्दछौं र चीनमा तपाईंको दीर्घकालीन साझेदार हुन खोज्छौं।

थप हेर्नुहोस् >> सोधपुछ पठाउनुहोस् >>

SiC Cantilever प्याडल

VeTek सेमीकन्डक्टरको SiC Cantilever Paddle गर्मी उपचार भट्टीहरूमा वेफर डुङ्गाहरू ह्यान्डल गर्न र समर्थन गर्न प्रयोग गरिन्छ। उच्च तापमान स्थिरता र SiC सामग्रीको उच्च थर्मल चालकताले अर्धचालक प्रशोधन प्रक्रियामा उच्च दक्षता र विश्वसनीयता सुनिश्चित गर्दछ। हामी प्रतिस्पर्धी मूल्यहरूमा उच्च गुणस्तरका उत्पादनहरू उपलब्ध गराउन प्रतिबद्ध छौं र चीनमा तपाईंको दीर्घकालीन साझेदार बन्न तत्पर छौं।

थप हेर्नुहोस् >> सोधपुछ पठाउनुहोस् >>

तेर्सो फर्नेसको लागि सिलिकन कार्बाइड वेफर डुङ्गा

SiC वेफर डुङ्गाको सामग्री शुद्धतामा उच्च आवश्यकता छ।Vetek सेमीकन्डक्टरले SiC शुद्धता आपूर्ति गर्दछ उत्पादन, गुणस्तर राम्रोसँग नियन्त्रण गर्न र प्रस्ताव गर्न सक्छ प्रतिस्पर्धी मूल्य। तपाईं हामीबाट तेर्सो फर्नेसको लागि सिलिकन कार्बाइड वेफर डुङ्गा किन्नको लागि ढुक्क हुन सक्नुहुन्छ।

थप हेर्नुहोस् >> सोधपुछ पठाउनुहोस् >>

चीनमा एक पेशेवर {77 77} निर्माता र आपूर्तिकर्ता, हाम्रो आफ्नै कारखाना छ। तपाईंलाई आफ्नो क्षेत्रको विशिष्ट आवश्यकताहरू पूरा गर्न अनुकूलन सेवाहरू आवश्यक छ वा उन्नत र टिकाऊको खरीद गर्न चाहानुहुन्छ, तपाईं हामीलाई सन्देश छोड्न सक्नुहुन्छ।