डिफ्यूजन फर्नेसका लागि क्वार्ट्ज फर्नेस ट्यूब

1. मुख्य सुविधाहरू र लाभहरू

• अल्ट्रा-उच्च शुद्धता डिहाइड्रोक्सिलेटेड फ्यूज क्वार्ट्ज (SiO₂ ≥ 99.999%) धातु अशुद्धताहरू ppb स्तरहरूमा नियन्त्रित र अत्यन्त कम हाइड्रोक्सिल सामग्रीको साथ।

• 1100 डिग्री सेल्सियस सम्म लामो-समय सञ्चालन तापमान; 1200 डिग्री सेल्सियसमा छोटो अवधिको शिखर प्रतिरोध

• पूर्ण तनाव-राहत एनिलिङ पछि उत्कृष्ट थर्मल झटका प्रतिरोध - द्रुत तापमान परिवर्तनहरूमा क्र्याक गर्न प्रतिरोधी

• अक्सिडाइज, घटाउने, र हलोजन युक्त प्रक्रिया ग्यासहरू विरुद्ध उत्कृष्ट रासायनिक जडता; प्लाज्मा र संक्षारक वायुमण्डलका लागि उपयुक्त

• धेरै कम भ्याकुम आउटग्यासिङ; चिकनी भित्री पर्खालले उप-उत्पादन निर्माणलाई न्यूनतम गर्दछ र प्रक्रिया दोहोर्याउने क्षमतालाई समर्थन गर्दछ

• भरपर्दो सिलिङको लागि समान पर्खाल मोटाई, उच्च समाक्ष्यता, र सटीक-समाप्त छेउको साथ एक टुक्रा गठन

• अनुकूलन गर्न मिल्ने संरचनाहरू: सीधा ट्यूबहरू, रिड्यूसर ट्यूबहरू, फ्ल्याङ्ग्ड ट्यूबहरू, विस्तारित लम्बाइहरू, र ठाडो वा तेर्सो फर्नेसहरूको लागि विशेष अन्त कन्फिगरेसनहरू

2. विशिष्ट अनुप्रयोगहरू

VeTek क्वार्ट्ज फर्नेस ट्यूबहरू व्यापक रूपमा कोर प्रतिक्रिया कक्षको रूपमा प्रयोग गरिन्छ:

• थर्मल अक्सीकरण भट्टीहरू (सुक्खा/भिजेको अक्सीकरण)

• डोपन्ट परिचयका लागि डिफ्युजन फर्नेसहरू (B, P, As, आदि)

• पातलो-फिल्म निक्षेपको लागि LPCVD प्रणालीहरू

• भ्याकुम एनिलिङ र अन्य उच्च-तापमान ताप-उपचार प्रक्रियाहरू

• 4-इन्च, 6-इन्च, 8-इन्च, र 12-इन्च वेफर प्लेटफर्महरूसँग उपयुक्त (Si, SiC, GaN, नीलमणि सब्सट्रेटहरू)

तिनीहरूले तर्क, मेमोरी, पावर उपकरण, MCU, LED, MEMS, र चौडा-ब्यान्डग्याप सेमीकन्डक्टर निर्माण लाइनहरूलाई समर्थन गर्दछ जसलाई स्थिर तापमान एकरूपता, ग्यास-प्रवाह नियन्त्रण, र अल्ट्रा-क्लिन प्रक्रिया वातावरण चाहिन्छ।

3. प्रमुख प्राविधिक प्यारामिटरहरू

• सामग्री: सेमीकन्डक्टर-ग्रेड डिहाइड्रोक्सिलेटेड फ्यूज क्वार्ट्ज (SiO₂ ≥ 99.999%), कम हाइड्रोक्सिल, कम धातु अशुद्धता

• वेफर अनुकूलता: 4 / 6 / 8 / 12 इन्च

• लामो समयसम्म काम गर्ने तापमान: −20 °C देखि 1100 °C; छोटो अवधिको शिखर 1200 डिग्री सेल्सियस सम्म

• प्रक्रिया: एक टुक्रा थर्मल गठन, भित्ता एकरूपता, अन्त्य समाप्त, तनाव-राहत एनिलिङ, हीलियम चुहावट परीक्षण, अल्ट्रा-क्लिन सफाई

• उपलब्ध संरचनाहरू: सीधा ट्यूब, रिड्यूसर ट्यूब, फ्ल्याङ्ग्ड ट्यूब, विस्तारित / कस्टम-लम्बाइ ट्यूब, विशेष-अन्त कन्फिगरेसनहरू

• अनुकूलन: भित्री/बाहिरी व्यास, लम्बाइ, पर्खाल मोटाई, फ्ल्यान्ज चश्मा, र प्रति ग्राहक रेखाचित्र विशेष ज्यामितिहरू

4. किन VeTek क्वार्ट्ज फर्नेस ट्यूबहरू छनौट गर्नुहोस्?

अर्धचालक क्वार्ट्ज कम्पोनेन्टहरूको व्यावसायिक निर्माताको रूपमा, VeTek सेमीकन्डक्टरले प्रस्ताव गर्दछ:

• उच्च शुद्धता क्वार्ट्ज फर्नेस ट्यूबहरू अक्सिडेशन, डिफ्यूजन, LPCVD, र एनिलिङ उपकरणहरूको लागि इन्जिनियर गरिएको छ।

• कडा शुद्धता नियन्त्रण, आयामी शुद्धता, र क्लास १० / कक्षा १०० क्लिनरूम उत्पादनको लागि उपयुक्त सरसफाइ

• ठाडो र तेर्सो ट्यूब फर्नेसहरूको लागि पूर्ण अनुकूलन र OEM-कम्प्याटिबल डिजाइनहरू

• वेफर डुङ्गाहरू, क्रुसिबलहरू, लाइनरहरू, र अन्य प्रक्रिया घटकहरू सहित पूरक अर्धचालक क्वार्ट्ज उत्पादनहरू

हाम्रो क्वार्ट्ज फर्नेस ट्यूबहरूले स्थिर थर्मल र ग्यास-प्रवाह अवस्थाहरू कायम राख्न, कण र धातु प्रदूषणलाई कम गर्न, र निरन्तर उच्च-तापमान साइकल चलाएर सेवा जीवन विस्तार गर्न मद्दत गर्दछ - उच्च उपज र अर्धचालक थर्मल प्रशोधनमा स्वामित्वको कम लागतलाई समर्थन गर्दछ।