द्रुत थर्मल एनिलिङ ससेप्टर

VeTek सेमीकन्डक्टर र्यापिड थर्मल एनिलिङ ससेप्टर उच्च गुणस्तर र लामो जीवनकालको साथ छ, हामीलाई सोधपुछ गर्न स्वागत छ।

र्‍यापिड थर्मल एनिल (आरटीए) अर्धचालक उपकरण निर्माणमा प्रयोग हुने र्‍यापिड थर्मल प्रोसेसिङको महत्त्वपूर्ण उपसेट हो। यसले विभिन्न लक्षित गर्मी उपचारहरू मार्फत तिनीहरूको विद्युतीय गुणहरू परिमार्जन गर्न व्यक्तिगत वेफरहरूको तताउने समावेश गर्दछ। आरटीए प्रक्रियाले डोप्यान्टको सक्रियता, फिल्म-देखि-फिल्म वा फिल्म-टु-वेफर सब्सट्रेट इन्टरफेसहरू परिवर्तन गर्न, जम्मा गरिएका फिल्महरूको घनत्व, बढेको फिल्म अवस्थाहरूको परिमार्जन, आयन इम्प्लान्टेशन क्षतिको मर्मत, डोपन्ट आन्दोलन, र फिल्महरू बीच ड्राइभिंग डोपन्टहरू सक्षम गर्दछ। वा वेफर सब्सट्रेट मा।

VETEK SEMIMonductorce उत्पादन, द्रुत थर्मल एनिपीयन्ट संसर्जन, RTP प्रक्रियामा प्रतिभाशाली भूमिका खेल्छ। यो अपर-शुद्धता ग्राफ्रिटी सामग्रीको प्रयोग गरेर बनाइएको छ जोडिएको सिलिकन क्यारिडिड (SIC) को साथ। SIC-लेक्षित सिलिकन सब्सट्रेटले 1100 डिग्री सेल्सियससम्मको तापमानको सामना गर्न सक्दछ, चरम अवस्थाहरूमा पनि भरपर्दो प्रदर्शन सुनिश्चित गर्दछ। अनुभरको शिविरले ग्यास चुहावट र कण ग्रस्तताका लागि उत्कृष्ट संरक्षण प्रदान गर्दछ, उत्पादनको दीर्घायु सुनिश्चित गर्दछ।

सटीक तापमान नियन्त्रण कायम गर्न, चिप एसआईसीको साथ लेपित दुई उच्च-शुद्धता ग्रेफाइट कम्पोनेन्ट बीच encaplulated छ। सही तापमान मापनहरू एकीकृत उच्च-तापमान सेन्सरहरू वा सब्सरेटरको सम्पर्कमा ल्याउन सकिन्छ।

CVD SiC कोटिंगको आधारभूत भौतिक गुणहरू:

VeTek अर्धचालक उत्पादन पसल:

अर्धचालक चिप epitaxy उद्योग श्रृंखला को सिंहावलोकन: