सिलिकन कार्बाइड (SiC) सिरेमिक वेफर बोट के हो?

अर्धचालक उच्च-तापमान प्रक्रियाहरूमा, वेफरहरूको ह्यान्डलिङ, समर्थन, र थर्मल उपचार एक विशेष सहायक कम्पोनेन्ट-वेफर बोटमा निर्भर हुन्छ। प्रक्रियाको तापक्रम बढ्दै जाँदा र सरसफाई र कण नियन्त्रण आवश्यकताहरू बढ्दै जाँदा, परम्परागत क्वार्ट्ज वेफर डुङ्गाहरूले बिस्तारै छोटो सेवा जीवन, उच्च विकृति दर, र खराब जंग प्रतिरोध जस्ता मुद्दाहरू प्रकट गर्दछ।सिलिकन कार्बाइड (SiC) सिरेमिक वेफर डुङ्गाहरूयस सन्दर्भमा देखा पर्‍यो र उच्च-अन्त थर्मल प्रशोधन उपकरणहरूमा प्रमुख वाहक बनेको छ।

सिलिकन कार्बाइड (SiC) एक इन्जिनियरिङ सिरेमिक सामग्री हो जसले उच्च कठोरता, उच्च थर्मल चालकता, र उत्कृष्ट रासायनिक स्थिरता संयोजन गर्दछ। SiC सिरेमिक्स, उच्च-तापमान सिंटरिंग मार्फत बनाइएको, उत्कृष्ट थर्मल झटका प्रतिरोध मात्र प्रदर्शन गर्दैन तर अक्सिडाइजिंग र संक्षारक वातावरणमा स्थिर संरचना र आकार पनि कायम राख्छ। नतिजाको रूपमा, जब वेफर डुङ्गा फारममा बनाइन्छ, यसले भरपर्दो रूपमा उच्च-तापमान प्रक्रियाहरू जस्तै प्रसार, एनिलिङ, र अक्सिडेशनलाई समर्थन गर्न सक्छ, यसलाई विशेष गरी 1100 डिग्री सेल्सियस भन्दा माथिको तापक्रममा सञ्चालन हुने थर्मल प्रक्रियाहरूको लागि उपयुक्त बनाउँछ।

वेफर डुङ्गाहरूको संरचना सामान्यतया बहु-स्तरित, समानान्तर ग्रिड कन्फिगरेसनको साथ डिजाइन गरिएको हुन्छ, एकै साथ दर्जनौं वा सयौं वेफरहरू समात्न सक्षम। थर्मल विस्तार गुणांक नियन्त्रणमा SiC सिरेमिकका फाइदाहरूले तिनीहरूलाई उच्च-तापमान र्याम्प-अप र र्याम्प-डाउन प्रक्रियाहरूमा थर्मल विरूपण वा माइक्रोक्र्याकिंगको कम प्रवण बनाउँछ। थप रूपमा, धातुको अशुद्धता सामग्रीलाई कडाइका साथ नियन्त्रण गर्न सकिन्छ, उच्च तापक्रममा प्रदूषण जोखिमहरू उल्लेखनीय रूपमा कम गर्दछ। यसले तिनीहरूलाई पावर उपकरणहरू, SiC MOSFETs, MEMS, र अन्य उत्पादनहरूको निर्माण जस्ता सफाईको लागि अत्यन्त संवेदनशील प्रक्रियाहरूको लागि अत्यधिक उपयुक्त बनाउँछ।

परम्परागत क्वार्ट्ज वेफर डुङ्गाहरूको तुलनामा, सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक वेफर डुङ्गाहरू सामान्यतया उच्च-तापमान, बारम्बार थर्मल साइकल चलाउने अवस्थाहरूमा 3-5 गुणा लामो सेवा जीवन हुन्छ। तिनीहरूको उच्च कठोरता र विरूपण प्रतिरोधले अधिक स्थिर वेफर पङ्क्तिबद्धताको लागि अनुमति दिन्छ, जसले उपज सुधार गर्न मद्दत गर्दछ। अझ महत्त्वपूर्ण कुरा, SiC सामग्रीहरूले बारम्बार तताउने र शीतल गर्ने चक्रहरूमा न्यूनतम आयामी परिवर्तनहरू कायम राख्छन्, वेफर एज चिपिङ वा वेफर डुङ्गा विकृतिको कारणले गर्दा कण बहाव कम गर्दछ।

निर्माणको सन्दर्भमा, सिलिकन कार्बाइड वेफर डुङ्गाहरू सामान्यतया प्रतिक्रिया सिंटरिंग (RBSiC), घने सिंटरिंग (SSiC), वा दबाब-सहायता sintering मार्फत उत्पादन गरिन्छ। केही उच्च-अन्त उत्पादनहरूले वेफर-स्तर सटीक आवश्यकताहरू पूरा गर्न सटीक सीएनसी मेसिन र सतह पॉलिशिंग पनि प्रयोग गर्दछ। सूत्र नियन्त्रण, अशुद्धता व्यवस्थापन, र विभिन्न निर्माताहरू बीच सिंटरिङ प्रक्रियाहरूमा प्राविधिक भिन्नताहरूले वेफर डुङ्गाहरूको अन्तिम कार्यसम्पादनलाई प्रत्यक्ष रूपमा असर गर्छ।

औद्योगिक अनुप्रयोगहरूमा, सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक वेफर डुङ्गाहरू बिस्तारै थर्मल प्रशोधन प्रक्रियाहरूमा उच्च-अन्त उपकरण निर्माताहरूको लागि रुचाइएको छनोट बन्न थालेका छन्, परम्परागत सिलिकन उपकरणहरूदेखि तेस्रो-पुस्ताको अर्धचालक सामग्रीहरूमा। तिनीहरू विभिन्न थर्मल प्रशोधन उपकरणहरू जस्तै ठाडो ट्यूब फर्नेसहरू र तेर्सो अक्सिडेशन फर्नेसहरूका लागि मात्र उपयुक्त छैनन्, तर उच्च-तापमान, अत्यधिक संक्षारक वातावरणमा तिनीहरूको स्थिर प्रदर्शनले प्रक्रिया स्थिरता र उपकरण क्षमताको लागि बलियो ग्यारेन्टी प्रदान गर्दछ।

सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक वेफर डुङ्गाहरूको क्रमशः लोकप्रियताले अर्धचालक उपकरणहरूको मुख्य समर्थन घटकहरूमा प्रवेश गर्ने उन्नत सिरेमिक सामग्रीहरूको प्रवेगलाई चिन्ह लगाउँछ। परम्परागत क्वार्ट्ज सामग्रीको तुलनामा, उच्च-तापमान स्थिरता, संरचनात्मक कठोरता, र थर्मल थकान प्रतिरोधमा तिनीहरूका फाइदाहरूले उच्च तापमान र थप कडा प्रक्रिया विन्डोहरूको निरन्तर विकासको लागि भरपर्दो सामग्री आधार प्रदान गर्दछ। हाल, 6-इन्च र 8-इन्च सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक वेफर डुङ्गाहरू अर्धचालक उद्योगमा पावर उपकरणहरूको ठूलो उत्पादन थर्मल उपचार प्रक्रियाहरूमा व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ। 12-इन्च स्पेसिफिकेशन बिस्तारै उच्च-अन्त प्रक्रियाहरू र उन्नत उत्पादन लाइनहरूमा प्रस्तुत भइरहेको छ, उपकरण र सामग्री सहयोगको अर्को चरणको लागि महत्त्वपूर्ण दिशा बनिरहेको छ। एकै समयमा, 2-4 इन्च वेफर डुङ्गाहरूले अनुसन्धान प्लेटफर्महरू र विशेष प्रक्रिया परिदृश्यहरूमा भूमिका खेल्न जारी राख्छन्, जस्तै एलईडी सब्सट्रेट प्रशोधन र प्रक्रिया प्रमाणीकरण। सिलिकन कार्बाइड सिरेमिक वेफर डुङ्गाहरूले स्थिरता, साइज नियन्त्रण, र वेफर क्षमतामा धेरै फाइदाहरू प्रदर्शन गर्नेछ, सम्बन्धित सिरेमिक सामग्री प्रविधिको निरन्तर विकासलाई ड्राइभ गर्दै।