SIC लेपित एपिटक्सिक्सको लागि अनुदान सील रिंग

Ⅰ SIC लेपित सील रिंग भनेको के हो?

SIC लेपित सील रिंग (सिलिकन कार्बर्ड लेभन सील रिंग) उच्च तापमानको लागि डिजाइन गरिएको सामग्री हो, अत्यधिक मेरस्परिक से कम मेटिकन्डिंग अर्धन्डुनिक प्रक्रिया वातावरणको लागि। यसको कोर रासायनिक बाल कप्तान (CVD) वा भौतिक बाफ डिमिटमेन्ट (PVD) प्रक्रिया, ग्लाइफाइट वा कार्बन क्रिस्टेन्टेड भौतिक भिन्नताले समेटेन र उच्च प्रदर्शन गरिएको सामग्रीको गठनलाई समेट्नुहोस्।  

Ⅱ उत्पाद संरचना र कोर टेक्नोलोजी  

1 सब्सट्रेट सामग्री:

ग्रेफाइट वा कार्बन-कार्बन कम्पोजिट सामग्री: आधार सामग्री उच्च विकसित प्रतिरोधको फाइदा (2000 भन्दा बढी ℃) र कम तापक्रम अन्तर्गत आयामी स्टार्टमेन्टहरू प्रतिस्पर्धात्मक विस्तारसँग सम्बन्धित हुन सक्छ।  

सप्रेक मामिननिंग संरचना: प्रिमेजी रिडे डिजाइन अर्धन्डुनिक उपकरणको गुफालाई पूर्ण रूपमा अनुकूलित गर्न सकिन्छ, यसरी मुठभेड सतह र राम्रो एयरटाइटको फ्ल्याटशिप सुनिश्चित गर्न सकिन्छ।  

2 कार्यात्मक कोटिंग:  

उच्च शुद्धता SIC कोटिंग (शुद्धता ≥999999999%): Coaing को मोटाई सामान्यतया 10-500μ मिल्छ, बाक्लो गैर-सर्लश सतह संरचनाको एक तह र एक स्लीवन रिंग स्ट्रन्ड र मेकानिकल गुणहरू प्रदान गर्दछ।

Ⅲ कोर भौतिक गुणहरू र SIC लेभरेटेड रेल रिंग एपिट्याक्सिक्सको लागि रिंगिंग रिंग

VETECEDYON को SIC-created Sitiving मुड्ग रिंगहरू चरम सर्तहरू अन्तर्गत उनीहरूको उत्कृष्ट प्रदर्शन को कारण अर्ध मजदुरहरूको प्रतीक प्रक्रियाको लागि आदर्श हो। तल उत्पादनको विशिष्ट भौतिक गुणहरू छन्:

Iv। सेमिन्डुन्डरकय एपिटक्सिक्स प्रोसेसिंगमा कोर अनुप्रयोगहरू  

एपिट्याक्सको लागि SIC लेभर्ड सिलिंग रिंग मुख्य मुख्यतया MCCVD (मेटल जैविक रासायनिक बाफ डिमिटमेन्ट) र MBE (अन्य प्रक्रिया उपकरणहरू, विशेष कार्यहरू समावेश गर्दछ:  

1 अर्ध मन्डी उपकरणको उपकरण प्रतिक्रिया कोठा एयर कडापन संरक्षण

हाम्रो SIC लेपित सींगि ring रिंगहरू सुनिश्चित गर्नुहोस् कि आयामी सहिष्णुता सुनिश्चित गर्नुहोस् (सामान्यतया ± 0.00103010300 मा) on फ्लिन्स शाफ्ट) रिंग संरचना अनुकूलन गरेर सकेसम्म सानो छ। 

एकै साथ, सींगि from रिंग अनुकूल मजदुर प्रतिष्ठित सम्पर्क सटीक को उपयोग गर्न को लागी एक वर्दी मेसिन उपकरणहरु को उपयोग गर्न को लागी एक समान फिट को लागी माइक्रोस्कोपिक अन्तर हटाईरहेको छ, माइक्रोस्कोपिक अन्तर हटाउनुहोस्। यसले प्रभावकारी रूपमा प्रक्रिया ग्यालेसहरूको चुहावटलाई रोक्छ (E.g. H₂, NH₃), एपिटाइक्सायल उत्पादन वातावरणको शुद्धता सुनिश्चित गर्दछ, र वेफर उत्पादन सुधार गर्दछ।  

अर्कोतर्फ, राम्रो प्रदूषण (O₂, H₂o) को घुसपैठहरू (o ₂, H₂o) को घुसपैठहरू रोक्न सक्दछ, यसैले एपिटाइक्टियल तहमा त्रुटिहरू बेवास्ता गर्दै (जस्तै अशुद्धताहरूको असन्तुष्टहरू)।  

2 उच्च तापमान गतिशीलता मुणनी मोहर समर्थन समर्थन  

सब्जीर-कोटिंग सिमार्गिक एन्टेजिस्टिक एन्टेक्टेशन को सिद्धान्त अपनाउने: ग्राफिटी सबमिट थर्मल विस्तार (> 1000 ℃) को साथ मात्र धातु विभागको मात्राबाट अलग रहन्छ। SIC कोटिंगको अल्ट्रा-उच्च कठोरताका साथ संयुक्त (HV2500 वा अधिक), यसले प्रभावकारी रूपमा मेकानिकल कम्पन वा कणहरूको प्रभावबाट उत्पन्न हुने क्रममा खरोंच गर्न सक्दछ, र Mosroscropic फ्ल्याटत्व कायम गर्दछ।

V. मर्मत सिफारिसहरू

1. प्रिफ्रेटिंग सतह लगाउनुहोस् (त्रैमालिक अप्टिकल माइक्रोस्कोप निरीक्षणको लागि सिफारिश गरिएको छ (त्रैमासिक माइक्रोस्कोप निरीक्षणको लागि सिफारिश गरिएको) अकलै विफलताबाट बच्न।  

2. विशेष क्लीनरहरू (जस्तै ahhdhrouse इथेनल) निक्षेप हटाउन, स्क्वायर पीसमर्निंग निषेध निषेध गर्नुहोस् स्क्वायर पीस क्लाइंड निषेध गर्नुहोस्।