SiC लेपित वेफर वाहक

चिप उत्पादन WEFERS बाट अविभाज्य छ। वेफर तयारी प्रक्रियामा दुईवटा कोर लिंकहरू छन्: एउटा सब्सट्रेटको तयारी हो, र अर्को एपिटाइक्रिप्टिक प्रक्रियाको कार्यान्वयन हो। सब्सट्रेट सीधा वेफर निर्माण प्रक्रियामा अर्धवेंडन्डुनिक उपकरणहरू उत्पादन गर्न सकिन्छ, वा अगाडि बढेर अगाडि बढाउनुहोस्epitaxial प्रक्रिया। 

Epitaxy भनेको एकल क्रिस्टल सब्सट्रेटमा एकल क्रिस्टलको नयाँ तह बढाउनु हो जुन राम्रोसँग प्रशोधन गरिएको छ (काट्ने, पीस्ने, पालिस गर्ने, आदि)। भर्खरै बढेको एकल क्रिस्टल तह सब्सट्रेटको क्रिस्टल चरण अनुसार विस्तार हुनेछ, यसलाई एपिटेक्सियल तह भनिन्छ। जब एपिटेक्सियल तह सब्सट्रेटमा बढ्छ, सम्पूर्णलाई एपिटेक्सियल वेफर भनिन्छ। एपिटेक्सियल टेक्नोलोजीको परिचयले एकल सब्सट्रेटका धेरै दोषहरूलाई चलाखीपूर्वक समाधान गर्दछ।

एपिटेक्सियल ग्रोथ फर्नेसमा, सब्सट्रेट अनियमित रूपमा राख्न सकिँदैन, रवेफर क्यारियरउपभोक्ता डिप्रेशन अघि वेनर धारकमा सब्बटरको सब्सटर राख्न आवश्यक छ। यो वेफर होल्डर सीआईसी लेपित वेफर वाहक हो।

एपीआई रिग्रेसको क्रस-अनुभागीय दृश्य

एक उच्च गुणस्तरSic कोटिंगCVD टेक्नोलोजीको प्रयोग गरेर SGL ग्राफिइटको सतहमा लागू गरिएको छ:

SIC कोटिंगको मद्दतको साथ, धेरै गुणहरूSIC लेपित वेफर धारकउल्लेखनीय सुधार गरिएको छ:

● एन्टिअक्सिडेन्ट गुणहरू: SIC कोडिंग राम्रो अक्सिडेशन प्रतिरोध छ र उच्च तापक्रममा अक्सीक्सनबाट ग्राफिरेट म्याट्रिक्सलाई बचाउन सक्छ र यसको सेवा जीवन विस्तार गर्न सक्छ।

● उच्च तापक्रम प्रतिरोध: SiC कोटिंग को पिघलने बिन्दु धेरै उच्च छ (लगभग 2700 डिग्री सेल्सियस)। ग्रेफाइट म्याट्रिक्समा SiC कोटिंग थपेपछि, यसले उच्च तापक्रमको सामना गर्न सक्छ, जुन एपिटेक्सियल वृद्धि फर्नेस वातावरणमा प्रयोग गर्न लाभदायक छ।

● संयंत्र प्रतिरोध: ग्रेफाइट निश्चित अम्लीय वा क्षारीय वातावरणमा रासायनिक क्षरणको सम्भावना हुन्छ, जबकि SiC कोटिंगमा एसिड र क्षारीय क्षरणको राम्रो प्रतिरोध हुन्छ, त्यसैले यसलाई लामो समयसम्म एपिटेक्सियल वृद्धि भट्टीहरूमा प्रयोग गर्न सकिन्छ।

● प्रतिरोध नगर: SIC सामग्रीको उच्च कठोरता छ। Grifite पछि SIC को साथ लेप पछि, भौतिक बृद्धि भौलीमा प्रयोग गर्दा यो सजिलै बिग्रिएको छैन, भौतिक पोशाक चर्को घटाउँदै।

VeTek सेमीकन्डक्टरले ग्राहकहरूलाई उद्योग-अग्रणी SiC लेपित वेफर क्यारियर उत्पादनहरू प्रदान गर्न उत्कृष्ट सामग्रीहरू र सबैभन्दा उन्नत प्रशोधन प्रविधि प्रयोग गर्दछ। VeTek सेमीकन्डक्टरको बलियो प्राविधिक टोली सधैं सबैभन्दा उपयुक्त उत्पादनहरू र ग्राहकहरूको लागि उत्तम प्रणाली समाधानहरू टेलर गर्न प्रतिबद्ध छ।

CVD SIC फिल्मको SEM डाटा

VeTek अर्धचालकSiC लेपित वेफर क्यारियर पसलहरू