साइको किनारा रिंग

अर्धोन्डरकन निर्माण, आकारको किनारा रिंगको क्षेत्रमा, वेफर प्रशोधन उपकरणको कोर घटकको रूपमा, उनीहरूको सामग्री गुणहरूको साथ औद्योगिक ल्यान्डस्केपलाई क्रान्ति दिइरहेका छन्। सिलिकन कार्स्टिड बनेको यस सटीक घटकको मूल्य भनेको यसको उच्च-टेक सामग्रीमा मात्र होइन, उत्पादनको मूल्य अनुकूलन गर्दछ जुन यसले चिप उत्पादकहरूलाई ल्याउन सक्छ।

SIC किनारा रिंग संरचनात्मक सुविधाहरू

सिलिकन कार्थेड एज रिंगहरू अर्ध मजदुर एचचिने उपकरणहरूमा कुञ्जी उपभोक्ता कम्पोनेन्टहरू हुन् र रासायनिक बाफ डिमिशन (CVD) विधि द्वारा तयार उच्च-शुद्धता क्यारिकन वानब्यान्ड सामग्रीहरू हुन्। यसको अनिवार्य संरचनाको व्यास सामान्यतया 200-4500 मिलिमिट हुन्छ, र निम्न विशेषताहरू प्रस्तुत गर्दछ:

1. मिस्ट्री सहिष्णुता: 10000 को उच्च-तापमान वातावरणको सामना गर्न सक्दछ

2 प्लाज्मा स्थिरता: डाइलेक्ट्रिक स्थिर स्थिर स्थिर .7 .7, ब्रेकडाउन भोल्टेज 3MV / सेमी

। ज्यामितीय सटीकता: राउन्डेसन त्रुटि ≤ 0.05mm, सतह कतौं रे <0.2μM

उत्पाद प्रक्रियामा सफलता

आधुनिक तयारी प्रक्रियाले तीन चरणको विधि अपनाउँछ:

1 म्याट्रिक्स गठन: एस्टस्टेटिक प्रेजिंग फारमले वर्दी घनत्व सुनिश्चित गर्दछ

2 उच्च तापमान पापीनेस्टिंग: 2100 ℃ मा एक अन्डर वातावरणमा असामान्य उपचार

। सतह परिमार्जन: Nanoscle संरक्षक तहहरू प्रतिक्रियाशील आपन एन्सी (रियल) मार्फत गठन हुन्छन्। पछिल्लो अनुसन्धानले देखाउँदछ कि सिलिकन कार्थेड धारको जीवन %% बोर्सनले dep0% ले वृद्धि भएको देखाउँदछ, र वेफर प्रतिस्पर्धा दर 0.01pppm स्तरमा कम हुन्छ

अनुप्रयोग परिदृश्यहरू

यसले 5NM तल प्रक्रियाहरूमा अपरिवर्तनीय देखाउँदछ:

2। वर्दीरसाइ kecherive: यसले वेफर किनारामा ± 1.5% को एक ईचिंग दर विचलन कायम राख्न सक्दछ

। प्रदूषण नियन्त्रण: परम्परागत क्वार्ट्ज सामग्रीको तुलनामा यसले मेटर प्रदूषण घटाउँछ

।

VETECEDIMON ले साइज किनारा घण्टीहरूको घरेलु उत्पादनमा सफलता हासिल गरेको छ, जसले धेरै लागत खर्च बचाउन सक्छ। हामीलाई कुनै पनि समयमा सम्पर्क गर्न स्वागत छ!