ठोस SiC फोकस रिंग

6. मुख्य आवेदन क्षेत्रहरू

7. Veteksemi ठोस SiC फोकस रिंग कोर लाभ

उत्कृष्ट प्लाज्मा जंग प्रतिरोध

CF4, O2, र Cl2 जस्ता अत्यधिक संक्षारक, उच्च घनत्व प्लाज्माहरूमा लामो समयसम्म एक्सपोजरमा, परम्परागत सामग्रीहरू द्रुत पहिरन र कण प्रदूषणको लागि संवेदनशील हुन्छन्। हाम्रो ठोस SiC फोकस रिंगले उत्कृष्ट जंग प्रतिरोध प्रदर्शन गर्दछ, क्वार्ट्ज वा एल्युमिना जस्ता सामग्रीहरूको तुलनामा जंग दर धेरै कम छ। यसको मतलब यसले समयको साथमा चिल्लो सतह कायम राख्छ, कम्पोनेन्ट हार्ने र आँसुको कारणले गर्दा वेफर दोषहरूको जोखिमलाई उल्लेखनीय रूपमा कम गर्छ, निरन्तर र स्थिर ठूलो उत्पादन सुनिश्चित गर्दछ।

उत्कृष्ट उच्च तापमान स्थिरता र थर्मल व्यवस्थापन प्रदर्शन

सेमीकन्डक्टर नक्काशी प्रक्रियाले महत्त्वपूर्ण ताप उत्पन्न गर्छ, जसको कारण चेम्बर कम्पोनेन्टहरूले नाटकीय तापमान उतार-चढाव अनुभव गर्दछ। हाम्रो फोकस रिङ्हरूमा थर्मल विस्तारको एकदमै कम गुणांक छ, जुन क्र्याक वा विरूपण बिना 1600°C सम्मको क्षणिक तापक्रमको सामना गर्न सक्षम छ। यसबाहेक, तिनीहरूको अन्तर्निहित उच्च थर्मल चालकताले गर्मीलाई समान रूपमा र छिट्टै फैलाउन मद्दत गर्दछ, प्रभावकारी रूपमा वेफर किनारामा तापक्रम वितरण सुधार गर्दछ, जसले गर्दा वृद्धि हुन्छ।एनजी एचिंग एकरूपता र सम्पूर्ण वेफरमा महत्वपूर्ण आयामहरूको स्थिरता।

असाधारण सामग्री शुद्धता र संरचनात्मक घनत्व

हामी सिलिकन कार्बाइड कच्चा माल (≥99.999%) को शुद्धतालाई कडाईका साथ नियन्त्रण गर्छौं र ट्रेस अशुद्धता नियन्त्रणको लागि उन्नत उत्पादन प्रक्रियाहरूको कडा आवश्यकताहरू पूरा गर्न सिंटरिङ प्रक्रियाको क्रममा धातुको प्रदूषण हटाउँछौं। उच्च-तापमान सिन्टेरिङको माध्यमबाट बनाइएको बाक्लो संरचनामा अत्यन्त कम पोरोसिटी हुन्छ, जसले प्रक्रिया ग्यासहरू र उप-उत्पादनहरूको प्रवेशलाई लगभग पूर्ण रूपमा रोक्छ। यसले कार्यसम्पादन क्षरण र आन्तरिक सामग्री क्षरणको कारणले हुने कण वृद्धिलाई रोक्छ, शुद्ध प्रक्रिया कक्ष वातावरण सुनिश्चित गर्दछ।

दीर्घकालीन मेकानिकल जीवन र व्यापक लागत प्रभावकारिता

बारम्बार प्रतिस्थापन आवश्यक पर्ने परम्परागत उपभोग्य वस्तुहरूको तुलनामा, Veteksemi ठोस SiC फोकस रिंगहरूले असाधारण स्थायित्व प्रदान गर्दछ। तिनीहरूले आफ्नो सेवा जीवन भर स्थिर प्रदर्शन कायम राख्छन्, प्रतिस्थापन चक्र धेरै पटक विस्तार। यसले स्पेयर पार्ट खरिद लागतलाई प्रत्यक्ष रूपमा मात्र घटाउँदैन तर मर्मतसम्भारको लागि उपकरण डाउनटाइम घटाएर मेसिनको उपयोगमा उल्लेखनीय सुधार गर्दछ, जसले गर्दा ग्राहकहरूको लागि महत्त्वपूर्ण समग्र लागत लाभहरू हुन्छन्।

सटीक आकार नियन्त्रण र लचिलो अनुकूलन सेवाहरू

हामी उपभोग्य वस्तुहरूको लागि विभिन्न मेसिन र प्रक्रियाहरूको सटीक आवश्यकताहरू बुझ्छौं। प्रत्येक फोकस रिंगले ± ०.०५ मिमी भित्र महत्वपूर्ण आयामी सहिष्णुता सुनिश्चित गर्न सटीक मेसिन र कठोर परीक्षणबाट गुज्रिन्छ। हामी अनुकूलन आकारहरू, सतह फिनिशहरू (Ra ≤ ०.२μm मा पालिस गर्ने), र तपाईंको विशिष्ट प्रक्रिया आवश्यकताहरू र अनुप्रयोग परिदृश्यहरूलाई पूर्ण रूपमा अनुरूप चालकता समायोजनहरू सहित अनुकूलित सेवाहरू पनि प्रस्ताव गर्दछौं।

विस्तृत प्राविधिक विवरणहरू, श्वेत पत्रहरू, वा नमूना परीक्षण व्यवस्थाहरूको लागि, Veteksemi ले तपाईंको प्रक्रिया दक्षता कसरी बढाउन सक्छ भनी अन्वेषण गर्न कृपया हाम्रो प्राविधिक समर्थन टोलीलाई सम्पर्क गर्नुहोस्।