TaC कोटिंग रोटेशन संक्रामक

VETEK SEMIMonductUTERTER TAC कोटिंग रोटेशन संसर्जन अर्धविचुड प्रोसेसिंगमा वेफर ह्यान्डलिंगका लागि कुञ्जी घटक हो। यसकोTaac केहाम्रोउत्कृष्ट उच्च तापमान सहिष्णुता (kemples0 डिग्री सेल्सियसमा, रासायनिक स्थिरता र तुलनाको प्रतिरोधमा, जसले वेफर प्रशोधनमा उच्च परिशुद्ध र उच्च गुणवत्ता सुनिश्चित गर्दछ।

TAC कोटिंग रोटेशन रोक्शनर (Tantualum कार्बन कोबन कोटिंग सञ्चालित परिक्रमण संवाद) अर्धवास्तवको प्रशोधनमा प्रयोग गरिएको कुञ्जी उपकरणहरू हो। यो सामान्यतया स्थापना गरिन्छरासायनिक वाष्प जम्मा (CVD)र आय बीम एपिटक्सक्स (MBE) उपकरणहरू (MBE) उपकरणहरू समर्थन गर्न र घुमाउरो सामग्री जम्मा र दक्ष प्रतिक्रिया सुनिश्चित गर्न। यस प्रकारको उत्पादनको सेवाको जीवन र अधिक तापमान र संक्षिप्त वातावरणमा उपकरणको प्रदर्शन सुधार गर्दछTantalum कार्बन (TAC) कोटिंग.

TAC कोटिंग रोटेशन संक्रामक संसाधन र ग्राफिटी वा सिलिफाइट वा सिलीन कार्बर्ड वा सिलियन कार्डरको रूपमा मिलेर बनेको छ। TaC अत्यन्त उच्च पग्लिंग पोइन्टको साथ एक अल्ट्रा-उच्च तापमान सिरेमिक सामग्री हो (kep ° 0 डिग्री), कठोरता (पिलारहरू कडाई) र उत्कृष्ट रासायनिक प्रतिरोधको प्रतिरोध हो। VETEK CEIMIMDOCOCATE ले प्रभावकारी रूपमा र CVD टेक्नोलोजी मार्फत सब्वीएचर्याको सामग्री ढाक्न सक्दछ।

घुमाउने परिक्रमाक्टर सामान्यतया उच्च थर्मल संकुचित र उच्च शक्ति सामग्री (ग्राफेट वासिलिकन कार्बइड), जसले उच्च मेकानिकल समर्थन र थर्मल स्टिलरलाई उच्च तापमान वातावरणमा प्रदान गर्न सक्दछ। दुईको उत्तम संयोजनले TAC को उत्तम प्रदर्शनलाई समर्थन र घुमाउने वेफरहरूको समर्थन र घुमाउने परिप्रेक्षको उत्तम प्रदर्शन निर्धारण गर्दछ।

TAC कोटिंग रोटेशन संक्रामक संसाधन समर्थन गर्दछ र CVD प्रक्रियामा वेफरलाई समर्थन गर्दछ। TAC को कडाताका बारे 2000 एचके छ, जुन यसले सामग्रीको बारम्बार घर्षणको प्रतिरोध गर्न र राम्रो समर्थन भूमिका खेल्न सक्षम गर्दछ, प्रतिक्रियालाई समान रूपमा वेफर सतहमा वितरित गरिन्छ र सामग्री समान रूपमा जम्मा गरिएको छ। एकै समयमा, TAC कोडि of को उच्च तापक्रम सहिष्णुता र संभावनानको प्रतिरोधले यसलाई लामो समयको लागि उच्च तापमान र मेरियमको प्रदूषणबाट बचाउन सक्षम गर्दछ, जसले प्रभावकारी रूपमा वेरेभिक वातावरणको दूरी र क्यारियरलाई रोक्दछ।

यसबाहेक, TAC को थर्मल संकुचितता 21 डब्ल्यू / MIS · k हो, जसमा राम्रो गर्मी स्थानान्तरण हुन्छ। तसर्थ, TAC कोटिंग रोटेशन संक्रामकले कम तापमान सर्तहरूको अन्तर्गत वाफरलाई कम गर्न सक्दछ र घुमाउरो गतिमा ग्यास डिप्रेसन प्रक्रियाको एकरूपता सुनिश्चित गर्दछ, जसले स्थिरता र उच्च गुणवत्ताको संरक्षण गर्दछ।वेफर वृद्धि.

Tantalum carberide (TAC) माइक्रोस्कोपिक क्रस-सेक्सन मा कोटिंग：

Tac को कोटिंगको भौतिक गुणहरू：

TaC कोटिंग रोटेशन संक्रामक पसलहरू: