Aixtron MOCVD रिसेप्टर

Susceptors द्वारा उत्पादितयो अर्ध मजदुरग्राफिटी सब्सट्रेट र सिलिकन कार्बइड (SIC) कोटिंग सामग्रीबाट बनेको छ। उच्च पोशाक प्रतिरोध, साइज्रॉसन प्रतिरोध र साइज सामग्रीको अत्यन्त उच्च कठोरता, यो विशेष गरी कठोर प्रक्रिया वातावरणमा प्रयोगको लागि उपयुक्त छ। तसर्थ, VETEK अर्धविद्ले उत्पादन गरेको सट्टेद्वीपहरू थप सतह उपचार बिना उच्च-तापमान MCVD प्रक्रियाहरूमा सीधा उच्च-तापमान प्रक्रियाहरूमा प्रयोग गर्न सकिन्छ।

ससेप्टरहरू सेमीकन्डक्टर निर्माणमा मुख्य कम्पोनेन्टहरू हुन्, विशेष गरी पातलो फिल्म डिपोजिसन प्रक्रियाहरूको लागि MOCVD उपकरणहरूमा। को मुख्य भूमिका छAixtron SiC रिसीभरMocvD प्रक्रियामा अर्धडींटल वेफर बोक्दछ, समान तातो वितरण र प्रतिक्रिया वातावरण प्राप्त गरेर समान र उच्च गुणस्तरीय गुणवत्ताको गिरावट सुनिश्चित गर्दछ, जसले गर्दा उच्च-गुणवत्ता पातलो फिल्म उत्पादन प्राप्त गर्दै।

Aixtron MOCVD रिसेप्टरसामान्यतया सेमीकन्डक्टर वेफर्सको आधारलाई समर्थन र फिक्स गर्न प्रयोग गरिन्छ जसलाई डिपोजिसन प्रक्रियाको क्रममा वेफरको स्थिरता सुनिश्चित गर्न सकिन्छ। एकै समयमा, Aixtron MOCVD ससेप्टरको सतह कोटिंग सिलिकन कार्बाइड (SiC) बाट बनेको छ, एक उच्च थर्मली प्रवाहक सामग्री। SiC कोटिंगले वेफरको सतहमा समान तापक्रम सुनिश्चित गर्दछ, र उच्च-गुणस्तरको फिल्महरू प्राप्त गर्नको लागि समान तताउने आवश्यक छ।

यसबाहेक,Aixtron MOCVD रिसेप्टरहामीले सामग्रीको अनुकूलित डिजाइन मार्फत प्रतिक्रियाशील ग्यासहरूको प्रवाह र वितरणलाई नियन्त्रण गर्न ठूलो भूमिका खेल्छौं। एडी धाराहरू र तापक्रम ढाँचाहरू एकसमान फिल्म जम्मा प्राप्त गर्न बेवास्ता गर्नुहोस्।

अधिक महत्त्वपूर्ण, Mocvd प्रक्रियामा सिलिकन कार्बइड (SIC) कोटिंग सामग्रीको प्रतिरोधको प्रतिरोधको प्रतिरोध छ, त्यसैलेयो अर्ध मजदुरकोAixtron MOCVD रिसेप्टरउच्च तापक्रम र संक्षारकारी ग्याँसको सामना गर्न पनि सक्छ।

आधारभूत भौतिक गुणहरु कोSIC कोटिंग:

VETEK SEMIMonductucord Mailer Bray डु boat ्गा पसल:

अर्धवान्डुनिक चिप एपिट एपिट्याक्साएक्साएक्साएक्साएक्साएक्साएक्साएक्साएक्साएक्साएक्साएक्साएक्शन: