एल्युमिनियम नाइट्राइड (AlN) सिरेमिक इलेक्ट्रोस्टेटिक चक

1.फाइदाहरू

• कुशल ताप स्थानान्तरण र तापमान एकरूपताको लागि ~180 W/m·K सम्म थर्मल चालकता भएको उच्च शुद्धता AlN सिरेमिक

• बलियो विद्युतीय इन्सुलेशन र उच्च भोल्युम प्रतिरोधात्मकताले 1–3 kV मा स्थिर क्ल्याम्पिङलाई समर्थन गर्दछ (उच्च भोल्टेजहरू उपलब्ध छन्)

• कस्टम डाइलेक्ट्रिक लेयर सामाग्री र इलेक्ट्रोड लेआउट: Coulomb वा Johnsen-Rahbek (JR); एकल वा बहु-क्षेत्र

• फास्ट क्ल्याम्प र डि-क्ल्याम्प प्रदर्शन, सामान्यतया ०.१ सेकेन्ड मुनि

• सतह डिम्पल माइक्रोस्ट्रक्चरहरू ~300 μm व्यासमा तल, सम्पर्क क्षेत्रलाई ~1% सम्म कम गर्दै

• उच्च समतलता क्षमता; 300 mm वर्ग प्लेटफर्महरूको लागि 0.5-3 μm PV को क्रममा विशिष्ट विश्वव्यापी समतलता

• लगभग शून्य पानी अवशोषण र प्रक्रिया वातावरण को लागी राम्रो रासायनिक प्रतिरोध संग घने microstructure

2.सामान्य अनुप्रयोगहरू

एल्युमिनियम नाइट्राइड सिरेमिक इलेक्ट्रोस्टेटिक चकहरू प्रक्रिया चरणहरूमा प्रयोग गरिन्छ जसमा दुबै सुरक्षित वेफर होल्डिंग र नियन्त्रण गरिएको थर्मल व्यवहार आवश्यक हुन्छ:

• ड्राई प्लाज्मा इच (ICP / RIE) र सम्बन्धित च्याम्बर प्रक्रियाहरू

• CVD, PEALD, थर्मल ALD, र अन्य पातलो-फिल्म जम्मा चरणहरू

• एनिलिङ र थर्मल प्रक्रिया मोड्युलहरू एकसमान वेफर तापमान चाहिन्छ

• निरीक्षण, मेट्रोलोजी, र सटीक चरणहरू जहाँ कम कण र स्थिर क्ल्याम्पिङ महत्वपूर्ण छन्

3.AlN सामग्री ग्रेड - विशिष्ट गुणहरू

VeTek थर्मल चालकता, मेकानिकल बल, र ESC डिजाइनहरूको लागि लागत सन्तुलन गर्न धेरै एल्युमिनियम नाइट्राइड ग्रेडहरू प्रदान गर्दछ:

एकाइहरू: W/(m·K) मा थर्मल चालकता; केवी/मिमीमा डाइलेक्ट्रिक शक्ति; Ω·cm (25 °C) मा भोल्युम प्रतिरोधात्मकता; १ मेगाहर्ट्जमा डाइइलेक्ट्रिक स्थिरता। मानहरू सामान्य हुन्छन् र प्रक्रिया र भाग ज्यामितिमा भिन्न हुन सक्छन्।

4.विशिष्ट ESC डिजाइन प्यारामिटरहरू

5.किन चूVeTek AlN इलेक्ट्रोस्टेटिक चकहरू छन्?

VeTek सेमीकन्डक्टरले अर्धचालक ग्राहकहरूका लागि परिशुद्धता ESC निर्माणको साथ उन्नत AlN सिरेमिकहरू एकीकृत गर्दछ जसलाई थर्मल प्रदर्शन र भरपर्दो क्ल्याम्पिङ दुवै चाहिन्छ:

• प्रक्रिया थर्मल बजेटहरू मिलाउन ~90 देखि ~180 W/m·K सम्म थर्मल चालकता सहित बहु AlN ग्रेडहरू

• Coulomb वा JR clamping व्यवहारको लागि लचिलो इलेक्ट्रोड र डाइलेक्ट्रिक डिजाइन

• समतलता, सतह माइक्रोस्ट्रक्चर, र बिजुली इन्सुलेशन प्रदर्शन को कडा नियन्त्रण

• पूर्ण जीवनचक्र समर्थन: डिजाइन, नयाँ निर्माण, र बहु-स्तर नवीकरण

इच, डिपोजिसन, र थर्मल उपकरणहरूका लागि जुन एकसमान वेफर तापक्रम र सफा, दोहोर्याउन मिल्ने क्ल्याम्पिङमा निर्भर हुन्छ, VeTek एल्युमिनियम नाइट्राइड सिरेमिक इलेक्ट्रोस्टेटिक चकहरूले अनुप्रयोग-केन्द्रित इन्जिनियरिङ समर्थनद्वारा समर्थित उच्च-प्रदर्शन सिरेमिक प्लेटफर्म प्रदान गर्दछ।