समाचार
उत्पादनहरू

ठोस सिलिकन कार्बडको प्रयोग

ठोस सिलिकन कार्ब्याड साइज सिलिकन (एसआई) र कार्बन (c) बाट बनेको एक उन्नत सिरेमिक सामग्री हो। यो प्रकृतिमा व्यापक रूपमा फेला परेन र सामान्यतया उच्च-तापमान सिन्टेसिस आवश्यक छ। यो शारीरिक र रासायनिक सम्पत्तीहरूको यो अद्वितीय संयोजनले यसलाई मुख्य सामग्री बनाउँदछ जुन अत्यन्तै अर्धवालाल निर्माणमा राम्रो गर्दछ।


ठोस SIC को भौतिक गुणहरु
घनता
3.21
g / सेमी3

बिजुली प्रतिरोधी
102
Ω / सेमी

लचिलो शक्ति
590 एकौ बोल्नु
(6000KGF / CM2)
युवाको मोड्युलस
450 गेपी
(6000KGF / CM2)
Warkers कडा
26 गेपी
(2550kgf / MM2)
C.T.E.E. (RT-1000 ℃)
4.0 X10-6/ K

थर्मल संकुचितता (RT)
250 W / mk


। ठोस सिलिकन कार्ब्याडको मुख्य शारीरिक गुणहरू (ठोस SIC)


▶ उच्च कठोरता र प्रतिरोध लगाउँदछ:

SIC सँग mugs करीव 9-9..5 को कठोरता छ, केवल हीरामा मात्र। यसले यसलाई उत्कृष्ट स्क्र्याच लगाउँछ र प्रतिरोध पहिरिन्छ, र यसले वातावरणमा राम्रो गर्दछ जुन मेकानिकल तनाव वा कण क्षयलाई सामना गर्नुपर्दछ।


▶ उत्कृष्ट उच्च-तापमान शक्ति र स्थिरता

1 आकारले अत्यधिक उच्च तापक्रममा यसको यांकृष्ट शक्ति र संरचनात्मक निष्कपटतालाई कायम राख्न सक्दछ (1 1600 डिग्री सेल्सियस सम्म, प्रकार र शुद्धतामा निर्भर गर्दछ)।

2 यसको यो कम गुणांक थर्मल विस्तारको मतलब यो राम्रो आयामी स्थिरता हो र विकृति वा क्र्याक गर्ने खतरामा छैन जब तापमान द्रुत रूपमा परिवर्तन हुन्छ।


▶ उच्च थर्मल संकुचितता:

अरु धेरै सिरेमिक सामग्री जस्तो नभई सेक्सको तुलनात्मक रूपमा उच्च थर्मल संकुचित छ। यसले यसलाई तातो दक्षताका साथ सञ्चालन र असन्तुष्टि दिन अनुमति दिन्छ, जुन अनुप्रयोगहरूको लागि महत्वपूर्ण छ जसलाई सटीक तापक्रम नियन्त्रण र एकरूपता चाहिन्छ।


उत्कृष्ट रासायनिक Urrries र कोर्रोसा को प्रतिरोध:

SIC अत्यन्त बलियो एसिडहरू, बलियो आधारहरू, र अर्धोन्डरकय प्रक्रियाहरूमा सामान्यतया प्रयोग गरिएको कट्टरपन्थी र क्लोयरन-आधारित र क्लोरीन-आधारित ग्यासहरू (जस्तै फ्लोरोनरिन-आधारित र क्लोरीन-आधारित ग्याँसहरू) प्रदर्शित गर्दछ। यो प्रक्रिया रोकथामको लागि रोकथामका लागि रोकदार छ र दूषित हुनबाट दूषित वा दूषित हुनबाट।


L उच्च शुद्धताको लागि सम्भाव्यता:

अत्यन्त उच्च शुद्धता अनुभूति वा ठोस साइक भागहरू विशिष्ट उत्पादन प्रक्रियाहरू मार्फत उत्पादन गर्न सकिन्छ (जस्तै रासायनिक बाफ जम्मा - CVD)। अर्धोन्डरकन निर्माणमा, भौतिक पाटीले वेफरको प्रदूषण तहलाई प्रत्यक्ष रूपमा असर गर्छ र अन्तिम उत्पादनको उपज।


▶ उच्च कठोरता (युवाको मोडुलस):

SIC सँग उच्च युवाको मोड्युलस छ, जसको मतलब यो धेरै गाह्रो छ र लोड अन्तर्गत विवेकी गर्न सजिलो छैन। यो अवयवताका लागि धेरै महत्त्वपूर्ण छ जुन सटीक आकार र आकार कायम राख्न आवश्यक छ (जस्तै वेफर क्यारियर)।


▶ ट्यूबल विद्युतीय गुणहरू:

यद्यपि यो अक्सर इन्स्ट्युलेटर वा अर्धवान्डुनिकको रूपमा प्रयोग गरिन्छ (यसको क्रिस्टल फारम र डोपमा निर्भर गर्दछ), यसको उच्च प्रतिरोधणात्मक सम्बन्धमा अनावश्यक चार्ज डिस्चार्जलाई केही कम्पोनेन्ट अनुप्रयोगहरूमा पहुँच गर्न रोक्दछ।


। विशेष सिलिकन कार्ब्यान्ड (ठोस SIC) अर्धन्डुनिक निर्माणमा समाप्त उत्पादनहरू (ठोस साइज) समाप्त उत्पादनहरू (ठोस साइज) समाप्त उत्पादनहरू


माथिको भौतिक गुणहरूमा आधारित, ठोस SIC विभिन्न प्रेशिक कम्पोनेन्टहरूमा निर्मित हुन्छ र अर्धवान्डुनिक फ्रन्ट-अन्त प्रक्रियाको बहु कुञ्जी लिंकहरूमा व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ।


1) ठोस साइक वेफर क्यारियर (ठोस साइक वेफर क्यारियर / डु boat ्गा):


आवेदन:


सिलिकन वेफरहरूमा सिलिकन वाफेजरमा सिलिकन वेफरहरू सार्न र हस्तान्तरण गर्न प्रयोग गरियो (जस्तै संख्या, एलपीसीभीडी)।


लाभ विश्लेषण:


Solid SiC wafer carrier

1 उच्च तापमान स्थिरता: प्रक्रिया तापमान 1000 डिग्री सेलिगेटमा 1000 ° C मा, प्रसंस्करण एकरूपता सुनिश्चित गर्न वागी स्प्याकिंग कायम गर्न सक्दछ।

2 लामो जीवन र कम कटिवली उत्पादनहरू: SIC को कठोरता र लगाउनुहोस् क्वार्ट्ज भन्दा धेरै टाढा, र यो सानो कणहरू उत्पादन गर्न सजिलो छैन। यसको सेवा जीवन सामान्यतया धेरै पटक वा दर्जनशनहरू पनि हो कि क्वार्ट्ज carriers को, प्रतिस्थापन फ्रिक्वेन्सी र मर्मतसम्भार लागत कम गर्दछ।

। रासायनिक विक्रेता: यसले प्रक्रियामा रासायनिक क्षतिको प्रतिरोध गर्न सक्दछ र यसको आफ्नै सामग्रीको वर्षाको कारण वेफरको दूषित हुन सक्छ।

।। थर्मल चालकता: राम्रो थर्मल संकुचितताले द्रुत र वर्दीको तताउने र क्यारियर र वेफरहरूको चिसो प्राप्त गर्न मद्दत गर्दछ, प्रक्रिया दक्षता र तापमान एकता सुधार गर्दछ।

Love उच्च शुद्धता: उच्च-शुद्धिकता साइक क्यारियर अशुद्ध नियन्त्रणको लागि उन्नत नोडहरूको कडा आवश्यकताहरू पूरा गर्न निर्माण गर्न सकिन्छ।


प्रयोगकर्ता मान:


प्रक्रिया स्थिरता सुधार गर्नुहोस्, उत्पाद उत्पादन बढाउनुहोस्, कम्पोनेन्टले असफलता वा दूषित पदार्थको कारणले डाउनटाइम कम गर्दछ, र लामो रनमा स्वामित्वको लागत कम गर्दछ।


2) ठोस SIC डिस्क-आकार / ग्यास स्नान टाउको:


आवेदन:


तल वेतन सतह (ATALTER AMSPATIOT (ATELLEST), आणविक बाफ (एएनएलडी), आणविक बाल कवच (एएनएलडी), आणविक बाल कप्तान (एएनएलडी), आणविक तह निर्धारण (एएनएलडी), आदि।


Solid SiC Disc-shaped Shower Head

लाभ विश्लेषण:


1 प्लाज्मा सहिष्णुता: उच्च-उर्जा, रासायनिक रूपमा सक्रिय प्लाज्मा हेडले प्लाग्मा बमवर्षक र रासायनिक घेरामा अत्यधिक प्रतिरोध प्रदर्शन गर्दछ, जुन क्वार्टज वा एल्यूमिना भन्दा धेरै श्रेष्ठ हुन्छ।


2 एकरूपता र स्थिरता: सटीक-प्रतिष्ठान स्क्वायर मुकुट प्रमुखले यो सुनिश्चित गर्न सक्दछ कि ग्यास प्रवाह समान वेफिक सतहमा वितरण गरिएको छ, कम्पोजिट एकरूपता छ। योसँग राम्रो दीर्घकालीन स्थिरता छ र विकृति वा क्लग गर्न सजिलो छैन।


। थर्मल व्यवस्थापन: राम्रो थर्मल कम्युनिटीविचारले नुहाउने सतहमा तापमान एक समानता कायम राख्न मद्दत गर्दछ, जुन धेरै गर्मी-संवेदनशील जम्मा वा ईचिंग प्रक्रियाहरूको लागि महत्वपूर्ण छ।


। कम संक्रमण: उच्च शुद्धता र रासायनिक जडवानले शीतलकको आफ्नै सामग्रीको प्रदूषणलाई प्रक्रियामा कम गर्दछ।


प्रयोगकर्ता मान:


प्रक्रिया परिणामहरूको एकरूपता र बारम्बार सुधार गर्न सक्दछ, स्नानहेडको जीवन विस्तार गर्दछ, रखरखाव समय र कण समस्याहरू कम गर्नुहोस्, र अधिक उन्नत प्रक्रिया सर्तहरू समर्थन गर्दछ।


)) ठोस साइक एस्टिंग डायकृत रिंग (ठोस साइक एन्टिंग फोर्डिंग रिंग / एज रिंग):


आवेदन:


मुख्य रूपमा प्लाज्मा एची एचपीटी उपकरणहरूको कोठामा (जस्तै किताक जोडी CCP वा usdedly clagerly clairled isch ischer (chuck) को किनारा मा राखिएको। यसको प्रकार्यले प्लाज्मालाई अवरोध र मार्गनिर्देशन गर्नु हो ताकि यसले कोठाको अन्य कम्पोनेन्टहरूको सुरक्षा गर्दा यसले वेफर सतहमा अझ राम्रोसँग कार्य गर्दछ।


लाभ विश्लेषण:


Solid SiC Etching Focusing Ring

1। प्लाज्मा एर्जियनहरूको कडा प्रतिरोध: यो SIC मा ध्यान औंठीको सबैभन्दा प्रख्यात लाभ हो। अत्यन्त आक्रामक ECCHING प्लास्टर (जस्तै फ्लोरोइनरिन - वा क्लोरीन सहितको रसायन), scic धेरै ढिलो, वा एक धेरै लामो समय हो।


2 आलोचनात्मक आयाम कायम राख्दै: उच्च कठोरता र उच्च कठोरताले स्मारक फोर्सोलाई प्रयोगको लामो अवधिको रूपमा र आकारको रूपमा राम्रोसँग राख्न अनुमति दिन्छ, जुन प्लाज्मा मोर्फिलोजीलाई स्थिर पार्दछ, जुन प्लाज्मा मोर्फिलोजीलाई स्थिर पार्दछ, जुन प्लाज्मा मोर्फिजी स्टिल गर्नको लागि महत्त्वपूर्ण छ, जुन प्लाज्मा मोर्फिलोजीलाई स्थिर पार्दछ, जुन प्लाज्मा मोर्फिजी स्टिल गर्नको लागि महत्त्वपूर्ण छ, जुन प्लाज्मा मोर्फिजीको लामो समय हो, जुन प्लाज्मा आवार्फलोजीलाई स्थिर गर्दछ र एकरूपता देखाउँदछ।


। कम कणको पोस्टेशन: यसको प्रतिरोधको कारणले कम्पोनेन्ट बुढेसकालमा उत्पन्न कणहरू कम गर्दछ, जसले गर्दा उत्पादनलाई सुधार गर्ने।


Love उच्च शुद्धता: धातुको वा अन्य अशुद्धताको परिचयबाट अलग रहनुहोस्।


प्रयोगकर्ता मान:


धेरै कम कम्पोनेन्ट प्रतिस्थापन चक्रहरू, उल्लेखनीय रूपमा मर्मत लागत र उपकरण डाउनटाइम; स्थिरता र एची प्रक्रियाहरूको स्थिरता र दोहोर्याउन सुधार गर्नुहोस्; दोषहरू कम गर्नुहोस् र उच्च-अन्तिम चिप निर्माणको उपज सुधार गर्नुहोस्।


सारांश


ठोस सिलिकन कार्थ्रोड, आधुनिक सेमित्न्डोन्डिक्टर्टीयक्टर्क्टेक्टर्ध्ये एक भौतिक सम्पत्तीमा अपरिहार्य प्रमुख सामग्रीहरू मध्ये एक भएको छ - उच्च कठोरता, उच्च थारौल संकुचित, उत्कृष्ट रासायनिक स्थिरता र प्रतिरोधको प्रतिरोध। यो कटौती वा विश्वसनीयता मार्गनिर्देशन र उत्पाद दक्षता र उत्पाद दक्षताका लागि निःशुल्क व्यायामको लागि एक स्नान टाउकोको सामना गर्न को लागी एक स्नान टाउकोको सामना गर्न को लागी एक स्नान टाउको को लागी, र राज्य उत्पादनहरु को लागी, र सम्पूर्ण अर्धंडौटेक्षण उद्योग को लागी अनुदान निर्माता सामना गर्न को लागी एक स्नान टाउको को सामना, र सम्पूर्ण अर्धंडौटेक्षण उद्योग को दिव्य प्रक्रिया को सामना गर्न, र सम्पूर्ण अर्धंडौटेक्षण उद्योग को दिव्य प्रक्रिया को संचालन।


चीनमा ठोस सिलिकन कार्बइड उत्पादनहरूको अग्रणी निर्माता र आपूर्तिकर्ता,सेडियारोद्घको उत्पादनहरू जस्तैठोस अनुकू वाफर क्यारियर / डु boat ्गा, ठोस SIC डिस्प्ले-आकार / ग्यास स्नान टाउको, ठोस SIC ECCCHINGDING DECCINGED रिंग / किनारा रिंगयुरोप र संयुक्त राज्य अमेरिकामा व्यापक रूपमा बेचिन्छ, र यी ग्राहकहरुबाट उच्च प्रशंसा र मान्यता जितेका छन्। हामी चीनमा तपाईंको दीर्घकालीन पार्टनर बन्ने आशा राख्छौं। परामर्श मा स्वागत छ।


हेक / व्हाट्सएप: + 86-18022222222222222222222

ईमेल: Anny@veteksemi.com


सम्बन्धित समाचार
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept