एपीआई वेफर धारक

VETEK SEMIMonductor ले अनुकूलित उत्पाद सेवाहरू समर्थन गर्दछ, त्यसैले एपिसो वेफर धारकले तपाईंलाई अनुकूलित उत्पाद सेवाहरू प्रदान गर्न सक्दछवेर्म(100 मिमी, 1 150 मिमी, 200 मिमी, 300 मिमी, आदि)। हामी ईमान्दार रूपमा चीनमा दीर्घकालीन पार्टनर हुन आशा गर्दछौं।

EPI वेफर धारकहरूको कार्य र कार्य सिद्धान्त

अर्धोन्डॉक्टर निर्माणको क्षेत्रमा, एपिटक्ससेस प्रक्रिया उच्च - प्रदर्शन अर्धवेन्डरकय उपकरणहरू बनाउनको लागि महत्वपूर्ण छ। यस प्रक्रियाको मुटुमा एपिएको वेफर धारक हो, जसले केन्द्रीय भूमिका खेल्छ जुन गुणस्तर र दक्षता सुनिश्चित गर्नप्रतीक.

EPI वेफर होल्डर मुख्य रूपमा एपिटक्सिस प्रक्रियाको बखत वेफर सुरक्षित गर्न डिजाइन गरिएको हो। यसको कुञ्जी कार्य भनेको एक निश्चित नियन्त्रणित तापमान र ग्यास - प्रवाह वातावरणमा वाफर कायम गर्नु हो। यो सावधानीपूर्वक नियन्त्रणले एपिटाइक्रिप्टियन सामग्रीलाई समान रूपमा वेफर सतहमा जम्मा गर्न अनुमति दिन्छ, वर्दी र उच्च - गुणवत्ता अर्धन्डुन्डुन्ड्रन्डुनिक तह सिर्जना गर्न महत्वपूर्ण कदम।

उच्च-तापमान सर्तहरू अन्तर्गत एपिटक्सिस प्रक्रियाको विशिष्ट, एपिय वेफर धारक आफ्नो प्रकार्यमा उत्कृष्ट हुन्छन्। यसले पूर्वानुमान गरीएको छ कि प्रतिक्रिया पुलिस भित्रबाट वेफर फिक्स गर्नुहोस् जब कुनै पनि सम्भाव्य क्षति, जस्तै स्क्र्याचहरू, र वेफर सतहमा स्ट्राइलोण दूरी रोक्न।

भौतिक गुणहरू:किनसिलिकन कार्बइड (SIC)चम्किनु

EPI वेफर धारकहरूलाई प्राय: सिलिकन कार्बइड (SIC) बाट बधाई हुन्छ, एक सामग्री जसले लाभदायक गुणहरूको अद्वितीय संयोजन प्रदान गर्दछ। SIC सँग कम थर्मल विस्तार गुणांक छ लगभग .0.0 x 10 ° / ° c। यो विशेषता लिफ्टर को आयातकर्ताको आयामी स्थिरता कायम राख्नको लागि पूरक हो। थर्मल विस्तार कम गरेर, यसले प्रभावकारी रूपमा वेफरमा तनावलाई रोक्दछ जसले तापमानबाट परिणाम लिन सक्दछ - सम्बन्धित आकार परिवर्तनहरू।

थप रूपमा, SIC उत्कृष्ट उच्च उच्च उच्चतम तापमान स्थिरता घमण्ड गर्दछ। यसले सिमबार रूपमा उच्च तापमानको प्रतिरोध गर्न सक्दछ 1,200 डिग्री सेल्सियसबाट 1,600 डिग्री सेल्सियस प्रगतिमा आवाश्यक हुन्छ। यसको असाधारण झगडाको प्रतिरोध र प्रशंसनीय थर्मल संकुचन (सामान्यतया 120 - 160 W / MK), SIC एपिटाइक्रिप्टीय वेफर धारकहरूको लागि इष्टतम विकल्पको रूपमा देखा पर्दछ।

एपिट्याजिकल प्रक्रियामा कुञ्जी प्रकार्यहरू

EPI वाफर होल्डरको महत्त्व बढावा दिन सकिदैन। यो उच्च तापमान ग्यास वातावरण अन्तर्गत स्थिर क्यारियरको रूपमा कार्य गर्दछ, निश्चित सुनिश्चित गर्दछ कि युद्धफेक्सल बृद्धिमा नविकरण र एपिटाइजिकल लेयरको वर्दी विकासलाई बढावा दिंदै।

1.Wafer फिक्सेशन र सटीक प ign ्क्तिबद्धताएक उच्च - सटीक ईन्जिनियर ईन्जिनियर ईन्जिन एपिस वेगर होल्डरले पूर्वानुमान चेम्बर को ज्यामितीय केन्द्र मा वेफर स्थिति। यो प्लेसमेन्ट ग्यारेन्टी गर्दछ कि वेफर सतहले प्रतिक्रिया ग्यारेस प्रवाहको साथ एक आदर्श सम्पर्क कोण प्रदान गर्दछ। सटीक एलिफाजिकल लेयर डिस्पोरिंगको लागि सटीक पलनिजमेन्ट मात्र होइन वेधरको स्थितिको परिणामस्वरूप तनाव एकाग्रता कम गर्दछ।

2.uniform huming र थर्मल क्षेत्र नियन्त्रणSIC सामग्रीको उत्कृष्ट थर्मल संकुचित भई, एपिय वेफर धारकले उच्च तापमान एपिक्टेरियल वातावरणमा युद्धग्रस्त दूषित रूपमा सरुवा गर्दछ। एकै साथ, यो तताउने तालिका वितरणमा तापमान वितरणमा राम्रो नियन्त्रण अभ्यास गर्नुहोस्। यो दोहोरो संयन्त्रले सम्पूर्ण वेफर सतहमा एक अनुमानित तापमान सुनिश्चित गर्दछ, अत्यधिक तापमान ढाँचाको कारण थर्मल तनाव कम गर्दछ। नतिजाको रूपमा, वेफर वार्ता र क्र्याकहरू जस्ता त्रुटिहरूको सम्भावना एकदम कम न्यूनतम हुन्छ।

A. गोत्रामक दूषित नियन्त्रण र भौतिक शुद्धताउच्च-शुद्धता SIC सब्रेयरेट र CVD - लेभ गरिएको ग्राफिटी सामग्रीहरूको प्रयोग एक खेल हो - कण दूषित नियन्त्रणको साथ। यी सामग्रीहरू पर्याप्त पुस्ताको कटौती र एपिटक्सिक्स प्रक्रियाको बखत कणहरूको मतभेद र एपिटाइकेसियल लेयरको बृद्धिको लागि एक पुरानो वातावरण प्रदान गर्दछ। इन्टरफेस त्रुटिहरू घटाउँदै, तिनीहरूले एपिट्याक्सल लेयरको गुणस्तर र विश्वसनीयता बढाउँछन्।

C. प्रतिरोध प्रतिरोधको समयमाMocvdवा LPCVD प्रक्रियाहरू, एपिसो वेफर धारकले अमोरीनिया र तुरफिथिलको गलियम जस्ता क्षतिग्रस्त ग्यासहरू सामना गर्नुपर्नेछ। SIC सामग्रीको उत्कृष्ट कोर्रोसा को प्रतिरोधले होल्डलाई विस्तारित सेवा जीवनको ग्यारेन्टी गर्न सक्षम गर्दछ, जसले सम्पूर्ण उत्पादन प्रक्रियाको विश्वसनीयता पाउँदछ।

Veetk अर्धोन्डरक द्वारा अनुकूलित सेवाहरु

VETEK SEMIMonducore विविध ग्राहक आवश्यकताहरू पूरा गर्न प्रतिबद्ध छ। हामी विभिन्न वेन आकार सहित, 100 मिमी, 1 1500 मिमी, 200 मिमी, 200 मिमी, 200 मिमी, 200 मिमी, 200 मिमी, 200 मिमी, 200 मिमी, 200 मिमी, 200 मिमी, 200 मिमी, 200 मिमी, 200 मिमी, 200 मिमी, 200 मिमी, र परेका विभिन्न वेतन साइजरहरू अनुकूलित एपिप्रेड ए.पी. हाम्रो विशेषज्ञहरूको टोली उच्च - गुणवत्ताका उत्पादनहरू प्रदान गर्न समर्पित छ जुन तपाईंको आवश्यकताहरूलाई ठीकसँग मिल्दछ। हामी चीनमा तपाईंको लामो - अवधि साझेदार बन्ने प्रतीक्षामा छौं, तपाईंलाई शीर्ष प्रदान गर्दै - निपुण अर्धविकायस समाधान समाधानहरू।

CVD SIC फिल्म क्रिस्टल संरचनाको SEM डाटा:

CVD SIC कोटिंगको आधारभूत भौतिक गुणहरू：

तुलना अर्ध मंडोर एपिट वेफर होल्डर फ्रेन्ड्स पसलहरू: