उद्योग समाचार

अर्धचालक उच्च-तापमान प्रक्रियाहरूमा, वेफरहरूको ह्यान्डलिङ, समर्थन, र थर्मल उपचार एक विशेष सहायक कम्पोनेन्ट-वेफर बोटमा निर्भर हुन्छ। प्रक्रियाको तापक्रम बढ्दै जाँदा र सरसफाई र कण नियन्त्रण आवश्यकताहरू बढ्दै जाँदा, परम्परागत क्वार्ट्ज वेफर डुङ्गाहरूले बिस्तारै छोटो सेवा जीवन, उच्च विकृति दर, र खराब जंग प्रतिरोध जस्ता मुद्दाहरू प्रकट गर्दछ।

सिलिकन कार्बाइड सब्सट्रेटहरूको औद्योगिक-स्केल उत्पादनको लागि, एकल वृद्धि रनको सफलता अन्तिम लक्ष्य होइन। वास्तविक चुनौती भनेको विभिन्न ब्याचहरू, उपकरणहरू र समय अवधिहरूमा बढेको क्रिस्टलहरूले गुणस्तरमा उच्च स्तरको स्थिरता र दोहोरिने योग्यता कायम राख्नु हो। यस सन्दर्भमा, ट्यान्टालम कार्बाइड (TaC) कोटिंगको भूमिका आधारभूत सुरक्षाभन्दा बाहिर जान्छ - यो प्रक्रिया सञ्झ्याललाई स्थिर गर्न र उत्पादनको उपजको सुरक्षामा एक प्रमुख कारक बन्छ।

सिलिकन कार्बाइड (SiC) PVT वृद्धिले गम्भीर थर्मल साइकल चलाउँछ (कोठाको तापमान 2200 ℃ माथि)। कोटिंग र ग्रेफाइट सब्सट्रेटको बीचमा उत्पन्न हुने ठूलो थर्मल तनाव थर्मल एक्सपेन्सन (CTE) को गुणांकमा बेमेलको कारणले कोटिंगको जीवनकाल र अनुप्रयोगको विश्वसनीयता निर्धारण गर्ने मुख्य चुनौती हो।