क्वार्टज डु boat ्गा के हो?

क्वार्ट्ज डु boat ्गालाई अर्धोक्टुनिक निर्माण प्रक्रियामा प्रयोग गरिएको एक महत्त्वपूर्ण असर कम्पोनेन्ट हो, मुख्य रूपमा विजेता, अक्सिडियन र अविवासित कम तापमान प्रसंस्करणको लागि प्रयोग गरिन्छ। यसको उत्कृष्ट थर्मल स्थिरता, कम प्रदूषण विशेषताहरू र कोर्सोसन प्रतिरोधले यसलाई अर्धवार्ता उद्योगमा अपरिहार्य सामग्री बनाउँदछ। यो लेखले सामग्री, भौतिक गुणहरू, वर्गीकरण, अनुप्रयोग परिदृश्य, अनुप्रयोग परिदृश्य र भिन्नतालाई विस्तृत रूपमा प्रकाश पार्दछ र kebrtz डु boat ्गा र पेसीभीडी ग्राफेट्स।

Ⅰ। क्वार्टज डु boat ्गाको सामग्री

क्वार्ट्ज क्यारियरको मुख्य अंश उच्च-शुद्धता सिलिकेसन डाइअक्युसन (SIO₂) हो, र शुद्धता सामान्यतया 9999999 %% (अर्धन्डुन्डोर ग्रेड) सम्म पुग्न आवश्यक छ। यो उच्च पार्थ्री क्वार्ट्जी सामग्रीले अर्धवार्ताको निर्माण प्रक्रियामा अशुद्धताहरूको परिचय गराउँदैन र वेफर अशुद्धताहरूको प्रदूषण कम गर्न।

तयारी प्रक्रियाका अनुसार क्वार्ट्ज सामग्रीलाई दुई वर्गमा विभाजन गर्न सकिन्छ:

● प्राकृतिक क्वार्टज: क्रिस्टल शुद्धिकरणबाट बनाइएको, एक उच्च हाइड्रोक्सिल सामग्री (करिब 100-200 PPM), कम लागत, कम लागत, कम लागत, तर उच्च तापमानमा कमजोर सहनशीलता छ।

● सिंथेटिक क्वार्टज: रासायनिक बाल कप्तान (CVD) वा इलेक्ट्रोकोफोन, कम हाइड्रोजेस (-ओएचएच) सामग्री (<1 PPM), र उच्च-तापमान प्रक्रियाहरूको लागि उपयुक्त (जस्तै ऑक्सीकरण र भिन्नता)।

थप रूपमा, केहि क्वार्ट्स डु boats ्गाहरू धातुको साथ टाइटटानियम (TI) वा एल्युमिनियम (अल) जस्ता टाइटटानियम (Al) (Al) (Al) (अल) यूभी प्रक्रियाहरूको आवश्यकताहरू पूरा गर्न प्रकाश प्रसारण समायोजन गर्नुहोस्।

Ⅱ। क्वार्जज डु boats ्गाको मुख्य शारीरिक गुणहरू के के हुन्?

● उच्च तापमान प्रतिरोध: क्वार्टजको पिघल बिन्दु 1 17113 डिग्री सेल्सियस जत्तिकै उच्च छ, र यसले लामो समयदेखि 1200 डिग्री सेल्सियसमा काम गर्न सक्दछ र छोटो समयको लागि।

● कम थर्मल विस्तार गुणांक: थर्मल विस्तार गुणांक 0.55 × 10 × 10 / डिग्री सेल्सियस हो। यो उत्कृष्ट प्रदर्शनले उच्च तापमानमा आयामी स्थिरता सुनिश्चित गर्दछ र थर्मल तनावका कारण क्र्याक गर्नबाट जोगिन्छ।

● रासायनिक हतियार: हाइड्रोफुरिक एसिड (HF) र तातो फास्फ्याक्टिक एसिड, क्वार्ट्जले कडा एसिड, कडा एल्कलीस र धेरै क्षतिग्रस्त ग्यासहरू प्रतिरोध गर्न सक्छ (जस्तै Cl₂)।

● इलेक्ट्रोल इन्सुलेशन: प्लाज्मा प्रक्रियाको विद्युतीय क्षेत्र वितरणको हस्तक्षेपको हस्तक्षेपको हस्तक्षेपको हस्तक्षेपको हस्तक्षेपमा रु।

● हल्का प्रसारण: अल्ट्राभाइयोलेटमा उत्कृष्ट स .्ग्रेशन (>% 0%), प्रकाश-सहयोगी समर्थित प्रक्रियाहरूको लागि उपयुक्त (जस्तै अल्ट्राभाइडोलेलेट करिब)।

III। क्वार्जज डु boats ्गाको वर्गीकरण

विभिन्न डिजाइन संरचनाहरू र प्रयोग परिदृश्य अनुसार क्वार्टरज डु boats ्गालाई निम्न कोटिहरूमा विभाजन गर्न सकिन्छ:

● तेर्सो क्वार्जज डु boat ्गा

तेर्सो ट्यूब फ्यूकसेस (क्षैतिज बिगाफेशन भट्टी) मा लागू, अक्सिडेशन, प्रसार र अन्य प्रक्रियाहरू।

सुविधाहरू: 100-200 वाफर्सहरू, सामान्यतया खुला वा अर्ध संलग्न डिजाइनको साथ।

● ठाडो क्वार्जज डु boat ्गा

ठाडो भट्टीमा लागू हुन्छ (ठाडो भट्टी), LPCVD प्रक्रियाहरू, ऑक्सीकरण र उन्नत प्रक्रियाहरूको लागि प्रयोग गरियो।

सुविधाहरू: अधिक कम्प्याक्ट संरचना, वेफर बोक्ने क्षमता बढाउन, र प्रक्रियाको क्रममा कण दूषित कम गर्न सक्छ।

● अनुकूलित क्वार्टज डु boat ्गा

बिभिन्न प्रक्रिया आवश्यकता अनुसार डिजाइन गरिएको, एकल वेफर समर्थन वा विशेष क्ल्याम्पिंग संरचना wafer प्रशोधन प्रभावहरू अनुकूलित गर्न प्रयोग गर्न सकिन्छ।

एक अग्रणी क्वार्टज डु boat ्गा निर्माता र चीन मा आपूर्तिकर्ता,Veetcasticon तपाइँको वास्तविक आवश्यकता अनुसार अनुकूलन क्वार्टज क्यारियर उत्पादनहरू डिजाइन र निर्माण गर्न सक्दछ। अधिक उत्पाद विवरणहरूको लागि, कृपया सन्दर्भ गर्नुहोस्:

Iv। अर्धडौटोक निर्माणमा क्वार्टज डु boat ्गाको अनुप्रयोग दृश्यहरू के हुन्?

क्वार्जेन्ज डु boats ्गामा अर्धवांक्षी निर्माणको धेरै मुख्य प्रक्रियाको लिंकहरूमा व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ, मुख्य रूपमा निम्न अनुप्रयोग परिदृश्यहरू सहित:

1.1 थर्मल अक्सीकरण

● प्रक्रिया विवरण: वेफरलाई उच्च-तापमान अक्सिजन वा पानीको बाफ वातावरणमा रहेको छ जुन सिलिकन डाइअक्साइड (SIOC) फिल्म गठन गर्न।

Ad क्वार्टजे डु boat ्गाको सुविधाहरू:

1) उच्च गर्मी प्रतिरोध, 1000 को उच्च तापक्रमको प्रतिरोध गर्न सक्छ 1000 ~ 1200 डिग्री सेल्सियस

2) रासायनिक झगडा, क्वार्जZ डु boats ्गाहरू कडा एसिडहरू, बलियो गल्ली र धेरै क्षतिग्रस्त ग्यासहरू प्रतिरोधी हुन्छन्, त्यसैले अक्साइड फिल्मको गुणस्तरलाई असर गर्नबाट जोगिन सक्छ।

2.2 मतभेद प्रक्रिया

● प्रक्रिया विवरण: अशुद्धताहरू (जस्तै phosphorus र बोर्न) एक डोपिंग लेयर बनाउनको लागि उच्च तापमान सर्तहरूमा बिभिन्न तापमानको वेगरमा फरक हुन्छ।

● क्वार्टज डु boat ्गाका सुविधाहरू:

1) कम संक्रमण, धातुलाई दूत प्रुधन रोक्दै।

2) उच्च थर्मल स्थिरता, केवल 0.55 × 10 × 10 × 10 / डिग्री सेल्सियसको थर्मल विस्तार गुणाका साथ, एक समान प्रसार प्रक्रिया सुनिश्चित गर्दछ।

.3.3 एनेडेरिंग प्रक्रिया

● प्रक्रिया विवरण: उच्च तापमान उपचार तनाव कम गर्न प्रयोग गरिन्छ, भौतिक क्रिस्टल संरचना सुधार गर्न, वा आयम इम्प्लेन्टेन्टियन तह सक्रिय गर्दछ।

● क्वार्टज डु boat ्गाका सुविधाहरू:

1) एक पग्लिन पोइन्टको साथ 1 17113 डिग्री सेल्सियस जत्तिकै, थर्मल तनावले गर्दा क्र्याकिंगबाट बच्न, द्रुत तताउने र चिसोलाई धकेल्न सक्छ।

2) सटीक आकारको नियन्त्रण एक समान तताउने सुनिश्चित गर्न।

4.4 कम दबाव रसायनिक वाष्प जम्मा (LPCVD)

● प्रक्रिया विवरण: एक कम दबाव वातावरणमा, एक समान पातलो फिल्म जस्तै सिलिकन नाइट्रिड (Si₃₄) एक ग्यास चरण प्रतिक्रिया मार्फत गठन हुन्छ।

Ad क्वार्टजे डु boat ्गाको सुविधाहरू:

1) ठाडो प्लेस ट्यूबको लागि उपयुक्त, फिल्म कन्स्टिसन एकरूपता अनुकूलन गर्न सक्दछ।

2) कम कण दूषित, फिल्म गुण सुधार।

Ⅴ। क्वार्ट्ज डु boat ्गा र ercurnz डु boat ्गा बीच के भिन्नता छ?

विशिष्ट भिन्नता परिदृश्यहरू:

● ● ●: ग्राफिस्ट डु boats ्गाले उनीहरूको संचालनका कारण प्लाज्मा एक समानतालाई अनुकूलित गर्न सक्दछ, र कम तापमान वातावरणमा क्वार्ट्जको उच्च तापमान प्रदर्शन आवश्यक पर्दैन (300--400 डिग्री सेल्सियसमा)।

- उच्च तापमान अक्सीकरण भट्टी: VETEKSIMIMON क्वार्ट्ज डु boats ्गालाई उनीहरूको उच्च तापक्रम प्रतिरोधको लागि अपारवाद, जबकि ग्राफिट सजिलैसँग अक्सिजन वातावरणमा उच्च तापक्रममा ऑक्सीकरण गरिएको छ, जसले चेम्बरलाई प्रदूषित गर्दछ।