झाली सिलिकन कार्बर्ड (SIC) सिरेमिक प्लेटहरू: अर्धन्डुनिक निर्माणमा उच्च प्रदर्शन सामग्रीहरू

Ⅰ एक पोखरी SIC सिरममिक प्लेट के हो?

झाली सिलिकन कार्बुट सिरेमिक प्लेट सिलिकन कार्बइड (साइज) विशेष प्रक्रियाहरू (जस्तै फोमेन्डिंग, थ्रीडी मुद्रण वा प्यारा-गठन एजेन्टहरू थप्ने) को बौद्धिक संरचना प्लेटहरू हुन्। यसको कोर सुविधाहरू समावेश छन्:

● नियन्त्रण योग्य postiwily:% 0% -700% विभिन्न अनुप्रयोग परिदृश्यहरूको आवश्यकताहरू पूरा गर्न समायोज्य।

● एक समान pore आकार वितरण: सुनिश्चित ग्यास / तरल प्रसारण स्थायित्व।

● लाइटवीट डिजाइन: उपकरण ऊर्जा खपत खपत गर्नुहोस् र अपरेटिंग दक्षता सुधार गर्नुहोस्।

Ⅱ।

1 उच्च तापमान प्रतिरोध र थर्मल व्यवस्थापन (मुख्यतया उपकरण थर्मल विफलता को समस्या समाधान गर्न)

- चरम तापक्रम प्रतिरोध: निरन्तर काम गर्ने तापमान 1 1600 डिग्री सेल्सियस पुग्दछ (% 0% Aluminina सिरिद्रहरू भन्दा)।

● उच्च दक्षता थर्मरल संकुचितता: थर्मल संकुचित युवर 120 W / (m · k), द्रुत गर्मी असन्तुष्टिले संवेदनशील कम्पोनेन्टहरूलाई बचाउँछ।

● अल्ट्रा-कम थर्मल विस्तार: थर्मल विस्तार गुणांक मात्र 4.0 × 10 ° 10 / ° C, चरम उच्च तापमान अन्तर्गत सञ्चालनका लागि उपयुक्त, प्रभावकारी रूपमा उच्च तापमान विकृतिबाट बच्न।

2 रासायनिक स्थिरता (क्षतिग्रस्त वातावरणमा मर्मत लागत कम गर्दै)

● कडा एसिड र क्षारीय प्रतिरोधी: करोजगार मिडियालाई प्रतिरोध गर्न सक्दछ जस्तै HF र H₂s₄

● प्लाज्मा एर्सियनसँग प्रतिरोधी: सुख्खा ईचिंग उपकरणमा जीवन times पटक भन्दा बढी बढेको छ

। मेकानिकल शक्ति (उपकरणको जीवन विस्तार)

● उच्च कठोरता: Mohs कठोरता। 2.2 को रूपमा उच्च छ, र प्रतिरोधको प्रतिरोध स्टेनलेस स्टील भन्दा राम्रो छ

● झुकाव: 300-400 एमए पीपीएलाई वेवास्ता नगरी वेफर समर्थन गर्दै

Postib। बरश संरचनाहरूको कार्यान्वयन (प्रक्रिया उत्पादन सुधार गर्ने प्रक्रिया)

● एक समान ग्यास वितरण: CVD प्रक्रिया फिल्म एकरूपता %% सम्ममा वृद्धि भएको छ।

● सटीक Adsornct नियन्त्रण: इलेक्ट्रोस्टेटिक चक (ESC) को स्थिति शुद्धीकरण (ESC) को स्थिति ± 0.01 मिमी हो।

।

● शून्य धातु प्रदूषण: शुद्धता> 99 ..99 %%, वार प्रदूषणबाट जोगिदै

● स्वयं सफा विशेषताहरु: माइक्रोराइज्ड संरचना कणको खण्ड कम गर्दछ

III। अर्धन्डोक्टुनिक निर्माणमा पोर्सल साइक प्लेटहरूको चार मुख्य अनुप्रयोगहरू

परिदृश्य 1: उच्च-तापमान प्रशोधन उपकरण (मतभेद भट्टी / Aneauling भट्टी)

● प्रयोगकर्ता दुखाइ पोइन्ट: परम्परागत सामग्रीहरू सस्तो हुन्छन्, वेफर स्क्र्यापिंगको परिणामस्वरूप

● समाधान: क्यारियर प्लेटको रूपमा, यो 1200 डिग्री सेल्सियस वातावरण अन्तर्गत सञ्चालन हुन्छ

● डाटा तुलना: थर्मल विकृति Alumina भन्दा% 0% कम छ

परिदृश्य 2: रासायनिक वाष्पी डिमिशन (CVD)

● प्रयोगकर्ता दुखाइ पोइन्ट: असमान ग्यास वितरण फिल्म गुणवत्तामा असर गर्दछ

● समाधान: पोखरी संरचनाले प्रतिक्रिया ग्यास मतभेद एक समानता %%% पुग्छ

● उद्योग केस: थ्रीडी नेड फ्ल्यास मेमोरीलाई पातलो मेमोरी फीम जम्मा

परिदृश्य 3: सुक्खा एचिंग उपकरण

● प्रयोगकर्ता दुखाइ पोइन्ट: प्लाज्मा erosion शोrtens कम्पोनेन्ट जीवन

● समाधान: एन्टि-प्लाज्मा प्रदर्शनले 12 महिनामा मर्मत चक्र बढावा दिन्छ

● लागत प्रवचन: उपकरण डाउनटाइम% 0% द्वारा घटाइएको छ

परिदृश्य :: वाफर सफाई प्रणाली

● प्रयोगकर्ता दुखाइ पोइन्ट: एसिड र एल्खुली कर्बर्जनको कारण भागहरूको बारम्बार प्रतिस्थापन

● समाधान: एचएफ एसिड प्रतिरोधले सेवा जीवनलाई years बर्ष भन्दा बढी पुग्छ

● प्रमाणिकरण डाटा: शक्ति धारणा दर>% 0% पछि 1000 सफाई चक्र पछि

Iv। परम्परागत सामग्रीको तुलनामा hunder प्रमुख चयन फीजहरू

V. ATQUE प्रयोगकर्ताहरूको लागि

Q1: gahalium nitride (gan) उपकरण उत्पादन को लागी उपयुक्त पोवर SIC सिममिक प्लेट छ?

उत्तर दिनु: हो, यसको उच्च तापमान प्रतिरोध र उच्च थर्मल संकुलता विशेष गरी gan ऑपिटाएक्टियल बृद्धि प्रक्रियाको लागि उपयुक्त छ र 5g बेस स्टेशन चिप निर्माणको लागि लागू गरिएको छ।

Q2: कसरी पोर्साली प्यारामिटर छनौट गर्ने?

उत्तर दिनु: अनुप्रयोग दृश्य अनुसार छनौट गर्नुहोस्:

● वितरण ग्यासटियो:% 0% -500% खुला पोस्टरिंग सिफारिस गरिएको छ

● भ्याकुम एडमानेड:% 0% -70% उच्च पोर्सानी सिफारिस गरिन्छ

Q3: सीराइक्टिक्स सिरिफाइक्टिक्स अन्य सिलिकन कार्बर्डसँग के भिन्नता छ?

उत्तर दिनु: घनेसँग तुलना गरिएको तुलनामाSIC CIRRIRICICE, दलिया संरचनाहरू छन् जुन निम्न फाइदाहरू छन्:

● %% वजन घटाउने

● 20 पटक विशिष्ट सतह क्षेत्रमा वृद्धि हुन्छ

All0% थर्मल तनावमा कटौती