SiC Epitaxy प्रक्रिया

VeTek सेमीकन्डक्टरको अद्वितीय कार्बाइड कोटिंग्सले माग गर्ने सेमीकन्डक्टर र कम्पोजिट सेमीकन्डक्टर सामग्रीहरूको प्रशोधनको लागि SiC Epitaxy प्रक्रियामा ग्रेफाइट भागहरूको लागि उच्च सुरक्षा प्रदान गर्दछ। नतिजा विस्तारित ग्रेफाइट घटक जीवन, प्रतिक्रिया stoichiometry को संरक्षण, epitaxy र क्रिस्टल वृद्धि अनुप्रयोगहरूमा अशुद्धता माइग्रेसन को अवरोध, फलस्वरूप उत्पादन र गुणस्तर बढ्छ।

हाम्रो ट्यान्टालम कार्बाइड (TaC) कोटिंग्सले उच्च तापक्रममा (२२०० डिग्री सेल्सियससम्म) तातो अमोनिया, हाइड्रोजन, सिलिकन वाष्प र पग्लिएको धातुहरूबाट महत्वपूर्ण भट्टी र रिएक्टर कम्पोनेन्टहरूलाई जोगाउँछ। VeTek सेमीकन्डक्टरसँग तपाईंको अनुकूलित आवश्यकताहरू पूरा गर्न ग्रेफाइट प्रशोधन र मापन क्षमताहरूको विस्तृत श्रृंखला छ, त्यसैले हामी तपाईंको र तपाईंको विशेष अनुप्रयोगको लागि सही समाधान डिजाइन गर्न तयार विशेषज्ञ इन्जिनियरहरूको टोलीसँग शुल्क-भुक्तानी कोटिंग वा पूर्ण-सेवा प्रस्ताव गर्न सक्छौं। ।

मिश्रित अर्धचालक क्रिस्टल

VeTek सेमीकन्डक्टरले विभिन्न कम्पोनेन्ट र क्यारियरहरूको लागि विशेष TaC कोटिंग्स प्रदान गर्न सक्छ। VeTek सेमीकन्डक्टरको उद्योगको अग्रणी कोटिंग प्रक्रिया मार्फत, TaC कोटिंगले उच्च शुद्धता, उच्च तापक्रम स्थिरता र उच्च रासायनिक प्रतिरोध प्राप्त गर्न सक्छ, जसले गर्दा क्रिस्टल TaC/GaN) र EPl तहहरूको उत्पादन गुणस्तर सुधार गर्न र महत्वपूर्ण रिएक्टर घटकहरूको जीवनकाल विस्तार गर्न सकिन्छ।

थर्मल इन्सुलेटरहरू

SiC, GaN र AlN क्रिस्टल ग्रोथ कम्पोनेन्टहरू क्रुसिबल, सीड होल्डरहरू, डिफ्लेक्टरहरू र फिल्टरहरू सहित। प्रतिरोधी तताउने तत्वहरू, नोजलहरू, शिल्डिङ रिङहरू र ब्रेजिङ फिक्स्चरहरू, GaN र SiC epitaxial CVD रिएक्टर कम्पोनेन्टहरू सहित वेफर क्यारियरहरू, स्याटेलाइट ट्रेहरू, शावर हेडहरू, क्यापहरू र पेडेस्टलहरू, MOCVD कम्पोनेन्टहरू सहित औद्योगिक सम्मेलनहरू।

उद्देश्य:

● एलईडी (लाइट इमिटिङ डायोड) वेफर क्यारियर

● ALD (सेमिकन्डक्टर) रिसीभर

● EPI रिसेप्टर (SiC Epitaxy प्रक्रिया)

CVD TaC कोटिंग ग्रहहरू SiC एपिटेक्सियल ससेप्टर SiC Epitaxial रिएक्टरको लागि TaC लेपित रिंग TaC लेपित तीन-पत्ती रिंग LPE को लागि ट्यान्टलम कार्बाइड लेपित हाफमून पार्ट

SiC कोटिंग र TaC कोटिंग को तुलना:

	SiC	TaC
मुख्य विशेषताहरु	अल्ट्रा उच्च शुद्धता, उत्कृष्ट प्लाज्मा प्रतिरोध	उत्कृष्ट उच्च तापमान स्थिरता (उच्च तापमान प्रक्रिया अनुरूपता)
शुद्धता	>99.9999%	>99.9999%
घनत्व (g/cm³)	3.21	15
कठोरता (kg/mm²)	2900-3300	६.७-७.२
प्रतिरोधात्मकता [Ωcm]	०.१-१५,०००	<1
थर्मल चालकता (W/m-K)	200-360	22
थर्मल विस्तार को गुणांक (10^-६/℃)	४.५-५	6.3
आवेदन	सेमीकन्डक्टर उपकरण सिरेमिक जिग (फोकस रिंग, शावर हेड, डमी वेफर)	SiC एकल क्रिस्टल वृद्धि, Epi, UV एलईडी उपकरण भागहरू

View as

झाली टन्टलमुयम क्यारेड

VETEK SEMIMonducore एक पेशेवर निर्माता र चीनमा पोवर टन्टलनाम उत्पादनहरूको नेता हो। झाली Tantalum carebide सामान्यतया रासायनिक बाफ (CVD) विधि (CVD) विधि बनाउँदछ, यसको खरको आकार र वितरणको सटीक नियन्त्रण हो, र उच्च तापमान चरम वातावरणको लागि समर्पित सामग्री उपकरण हो। तपाईंको थप परामर्श स्वागत गर्नुहोस्।

थप हेर्नुहोस् >> सोधपुछ पठाउनुहोस् >>

TaC कोटिंग गाइड रिंग

VeTek सेमीकन्डक्टरको TaC कोटिंग गाइड रिंग रासायनिक भाप डिपोजिसन (CVD) भनिने उच्च उन्नत प्रविधि प्रयोग गरेर ग्रेफाइट भागहरूमा ट्यान्टलम कार्बाइड कोटिंग लागू गरेर सिर्जना गरिएको हो। यो विधि राम्रोसँग स्थापित छ र असाधारण कोटिंग गुणहरू प्रदान गर्दछ। TaC कोटिंग गाइड रिंग प्रयोग गरेर, ग्रेफाइट घटकहरूको आयु महत्त्वपूर्ण रूपमा विस्तार गर्न सकिन्छ, ग्रेफाइट अशुद्धताहरूको आन्दोलनलाई दबाउन सकिन्छ, र SiC र AIN एकल क्रिस्टल गुणस्तर विश्वसनीय रूपमा कायम गर्न सकिन्छ। हामीलाई सोधपुछ गर्न स्वागत छ।

थप हेर्नुहोस् >> सोधपुछ पठाउनुहोस् >>

Tantalum carberide रिंग

एक उन्नत निर्माता को रूप मा चीन मा tantalum carbride ring उत्पादनहरु को रूप मा, VETEK SETACKATUCETUCE CANTUMDE, प्रतिरोध, उच्च तापमान प्रतिरोध, र सेमिन्डुन्डरक निर्माण क्षेत्रमा व्यापक रूपमा प्रयोग गरीन्छ। विशेष गरी CVD, आयन इम्प्लेन्टेन्ट प्रक्रिया, प्रक्रिया, र वेफिक प्रशोधन र यातायात मा, यो अर्धन्डुनिक प्रसंस्करण र निर्माण को लागी एक अपरिहार्य उत्पादन हो। तपाईंको थप परामर्शको लागि हेर्दै।

थप हेर्नुहोस् >> सोधपुछ पठाउनुहोस् >>

ट्यान्टलम कार्बाइड कोटिंग समर्थन

एक पेशेवर ट्यान्टालम कार्बाइड कोटिंग समर्थन उत्पादन निर्माता र चीन मा कारखाना को रूप मा, VeTek अर्धचालक ट्यान्टालम कार्बाइड कोटिंग समर्थन सामान्यतया संरचनात्मक घटक को सतह कोटिंग को लागी प्रयोग गरिन्छ वा अर्धचालक उपकरणहरुमा समर्थन घटकहरु, विशेष गरी सेमीकन्डक्टर निर्माण प्रक्रियाहरु मा मुख्य उपकरण घटक को सतह सुरक्षा को लागी। CVD र PVD। तपाईको थप परामर्शलाई स्वागत छ।

थप हेर्नुहोस् >> सोधपुछ पठाउनुहोस् >>

Tantalum carberd गाइड गाइड रिंग

VETEK SEMIMonducore एक पेशेवर उत्पादक निर्माणकर्ता र चीनमा टन्टलमुड गाईड गाइडहरू रिंग र दायराहरू हुन्। हाम्रो tantalum carbide (tak) गाइड रिंग टन्टलयम क्यारेडर को बनेको एक उच्च प्रदर्शन रिंग कम्पोनेन्ट हो, जुन सामान्यतया उच्च-तापमान वातावरणमा प्रयोग गरिन्छ, PVD, eching र प्रसारण। उपक्रम सेमिन्डोरक्टरलाई उन्मूलन टेक्नोलोजी र अर्धवाण्ड उद्योगका लागि उत्पादन समाधान प्रदान गर्न प्रतिवद्ध छ र तपाईंको थप सोधपुछका लागि स्वागत छ।

थप हेर्नुहोस् >> सोधपुछ पठाउनुहोस् >>

TaC कोटिंग रोटेशन ससेप्टर

एक पेशेवर निर्माता, आविष्कारक र चीनमा TaC कोटिंग रोटेशन ससेप्टर उत्पादनहरूको नेताको रूपमा। VeTek सेमीकन्डक्टर TaC कोटिंग रोटेशन ससेप्टर सामान्यतया रासायनिक भाप डिपोजिसन (CVD) र आणविक बीम एपिटाक्सी (MBE) उपकरणहरूमा एकसमान सामग्री जम्मा र प्रभावकारी प्रतिक्रिया सुनिश्चित गर्न वेफरहरूलाई समर्थन र घुमाउन स्थापित गरिन्छ। यो अर्धचालक प्रशोधन मा एक प्रमुख घटक हो। तपाईको थप परामर्शलाई स्वागत छ।

थप हेर्नुहोस् >> सोधपुछ पठाउनुहोस् >>

चीनमा एक पेशेवर {77 77} निर्माता र आपूर्तिकर्ता, हाम्रो आफ्नै कारखाना छ। तपाईंलाई आफ्नो क्षेत्रको विशिष्ट आवश्यकताहरू पूरा गर्न अनुकूलन सेवाहरू आवश्यक छ वा उन्नत र टिकाऊको खरीद गर्न चाहानुहुन्छ, तपाईं हामीलाई सन्देश छोड्न सक्नुहुन्छ।