SiC Epitaxy प्रक्रिया

VeTek सेमीकन्डक्टरको अद्वितीय कार्बाइड कोटिंग्सले माग गर्ने सेमीकन्डक्टर र कम्पोजिट सेमीकन्डक्टर सामग्रीहरूको प्रशोधनको लागि SiC Epitaxy प्रक्रियामा ग्रेफाइट भागहरूको लागि उच्च सुरक्षा प्रदान गर्दछ। नतिजा विस्तारित ग्रेफाइट घटक जीवन, प्रतिक्रिया stoichiometry को संरक्षण, epitaxy र क्रिस्टल वृद्धि अनुप्रयोगहरूमा अशुद्धता माइग्रेसन को अवरोध, फलस्वरूप उत्पादन र गुणस्तर बढ्छ।

हाम्रो ट्यान्टालम कार्बाइड (TaC) कोटिंग्सले उच्च तापक्रममा (२२०० डिग्री सेल्सियससम्म) तातो अमोनिया, हाइड्रोजन, सिलिकन वाष्प र पग्लिएको धातुहरूबाट महत्वपूर्ण भट्टी र रिएक्टर कम्पोनेन्टहरूलाई जोगाउँछ। VeTek सेमीकन्डक्टरसँग तपाईंको अनुकूलित आवश्यकताहरू पूरा गर्न ग्रेफाइट प्रशोधन र मापन क्षमताहरूको विस्तृत श्रृंखला छ, त्यसैले हामी तपाईंको र तपाईंको विशेष अनुप्रयोगको लागि सही समाधान डिजाइन गर्न तयार विशेषज्ञ इन्जिनियरहरूको टोलीसँग शुल्क-भुक्तानी कोटिंग वा पूर्ण-सेवा प्रस्ताव गर्न सक्छौं। ।

मिश्रित अर्धचालक क्रिस्टल

VeTek सेमीकन्डक्टरले विभिन्न कम्पोनेन्ट र क्यारियरहरूको लागि विशेष TaC कोटिंग्स प्रदान गर्न सक्छ। VeTek सेमीकन्डक्टरको उद्योगको अग्रणी कोटिंग प्रक्रिया मार्फत, TaC कोटिंगले उच्च शुद्धता, उच्च तापक्रम स्थिरता र उच्च रासायनिक प्रतिरोध प्राप्त गर्न सक्छ, जसले गर्दा क्रिस्टल TaC/GaN) र EPl तहहरूको उत्पादन गुणस्तर सुधार गर्न र महत्वपूर्ण रिएक्टर घटकहरूको जीवनकाल विस्तार गर्न सकिन्छ।

थर्मल इन्सुलेटरहरू

SiC, GaN र AlN क्रिस्टल ग्रोथ कम्पोनेन्टहरू क्रुसिबल, सीड होल्डरहरू, डिफ्लेक्टरहरू र फिल्टरहरू सहित। प्रतिरोधी तताउने तत्वहरू, नोजलहरू, शिल्डिङ रिङहरू र ब्रेजिङ फिक्स्चरहरू, GaN र SiC epitaxial CVD रिएक्टर कम्पोनेन्टहरू सहित वेफर क्यारियरहरू, स्याटेलाइट ट्रेहरू, शावर हेडहरू, क्यापहरू र पेडेस्टलहरू, MOCVD कम्पोनेन्टहरू सहित औद्योगिक सम्मेलनहरू।

उद्देश्य:

● एलईडी (लाइट इमिटिङ डायोड) वेफर क्यारियर

● ALD (सेमिकन्डक्टर) रिसीभर

● EPI रिसेप्टर (SiC Epitaxy प्रक्रिया)

CVD TaC कोटिंग ग्रहहरू SiC एपिटेक्सियल ससेप्टर SiC Epitaxial रिएक्टरको लागि TaC लेपित रिंग TaC लेपित तीन-पत्ती रिंग LPE को लागि ट्यान्टलम कार्बाइड लेपित हाफमून पार्ट

SiC कोटिंग र TaC कोटिंग को तुलना:

	SiC	TaC
मुख्य विशेषताहरु	अल्ट्रा उच्च शुद्धता, उत्कृष्ट प्लाज्मा प्रतिरोध	उत्कृष्ट उच्च तापमान स्थिरता (उच्च तापमान प्रक्रिया अनुरूपता)
शुद्धता	>99.9999%	>99.9999%
घनत्व (g/cm³)	3.21	15
कठोरता (kg/mm²)	2900-3300	६.७-७.२
प्रतिरोधात्मकता [Ωcm]	०.१-१५,०००	<1
थर्मल चालकता (W/m-K)	200-360	22
थर्मल विस्तार को गुणांक (10^-६/℃)	४.५-५	6.3
आवेदन	सेमीकन्डक्टर उपकरण सिरेमिक जिग (फोकस रिंग, शावर हेड, डमी वेफर)	SiC एकल क्रिस्टल वृद्धि, Epi, UV एलईडी उपकरण भागहरू

View as

Taac कोटिंग प्लेट

शुद्धताका साथ डिजाइन गरिएको र पूर्णताका लागि ईन्जिनियर गरिएको, Veetconductuctuctuctuctuctuctuctuctuctuctuctuctuctuctuctualscealstuctuceally (SIC) एकल क्रिस्टल विकास प्रक्रियाको लागि विशेष अनुप्रयोगहरूको लागि अनुरूप छ। यसको भरपर्दो प्रदर्शन र उच्च-गुणवत्ता कोटिंग आकारमा अनुरूप र समान परिणामहरू अनुमानित र चीनमा तपाईंको दीर्घकालीन पार्टनर प्रदान गर्न प्रतिबद्ध छन्।

थप हेर्नुहोस् >> सोधपुछ पठाउनुहोस् >>

CVD TAC कोटिंग कभर कभर

CVD TAC TAC कोटिंग कभर विशेष रूपमा माग गरिएको अनुप्रयोगको मागको लागि विशेष गरी विशेष विशेषता हो। यसको उन्नत सुविधाहरू र असाधारण प्रदर्शनका साथ, हाम्रो CVD टेक कोटिंग कभरले सफलताका लागि आवश्यक सहयोग प्रदान गर्दछ। हामी तपाईंसँगको साथ सम्भावित सहयोग प्रदान गर्दछौं।

थप हेर्नुहोस् >> सोधपुछ पठाउनुहोस् >>

Taac को मोटिंग ग्रह Steretra

TAC कोटिंग ग्रह कोटिंग ग्रह संसफर्ता aixtron Epitaxy उपकरण को लागी एक असाधारण उत्पादन हो। Veetk Seiaonducorductuctuctuctuctucore को Taac कोटिंग उत्कृष्ट उच्च-तापमान प्रतिरोध प्रतिरोध र रासायनिक कब्जा। यो अद्वितीय संयोजनले विश्वसनीय प्रदर्शन र लामो सेवा जीवन, को माग मा समेत। सिस्टक उच्च-गुणवत्ताका उत्पादनहरू प्रदान गर्न र प्रतिस्पर्धी मूल्यको साथ चिनियाँ बजारमा दीर्घकालीन पार्टनरको रूपमा काम गरिरहेका छन्।

थप हेर्नुहोस् >> सोधपुछ पठाउनुहोस् >>

TAC कोटिंग पैदल यात्री समर्थन प्लेट

टेक कोटिंग 2200 को उच्च तापमानको सामना गर्न सक्छ। उपखेका अर्धडीले चीनमा 5ppm भन्दा कम अशुद्धताहरूको साथ उच्च शुद्धता ट्यासी प्रदान गर्दछ। TAC कोटिंग पैदल यात्री समर्थन प्लेट एमोनिया हाइड्रोजन, अर्गोनिनले एपिटाइक्सल उपकरण प्रतिक्रिया कोठामा अर्गोन गर्न सक्षम छ .यो उत्पादनको सेवा जीवन सुधार गर्दछ। तपाईं आवश्यकताहरू प्रदान गर्नुहुन्छ, हामी अनुकूलन प्रदान गर्दछ।

थप हेर्नुहोस् >> सोधपुछ पठाउनुहोस् >>

Taac कोटिंग चक

VETEK SEMIMDONDUCOCECOCORECORECORECOCE को शिक्षण चकले सतहको उच्च-गुणवत्ता कोटिंग गर्दछ, यसको उत्कृष्ट उच्च-तापमान प्रतिरोध र रासायनिक विक्रेता (EPI) प्रक्रियाहरू। यसको असाधारण सुविधाहरू र उत्कृष्ट प्रदर्शनको साथ, हाम्रो TAC कोपिंग चकले धेरै कुञ्जी फाइदाहरू प्रदान गर्दछ। हामी प्रतिस्पर्धी मूल्यमा गुणस्तरीय उत्पादनहरू प्रदान गर्न तत्पर छौं।

थप हेर्नुहोस् >> सोधपुछ पठाउनुहोस् >>

LPE SiC EPI हाफमून

LPE SiC Epi Halfmoon क्षैतिज एपिटाक्सी फर्नेसको लागि एक विशेष डिजाइन हो, LPE रिएक्टर SiC epitaxy प्रक्रियाहरू उचाल्न डिजाइन गरिएको क्रान्तिकारी उत्पादन। यो अत्याधुनिक समाधानले तपाईंको निर्माण कार्यमा उत्कृष्ट कार्यसम्पादन र दक्षता सुनिश्चित गर्ने धेरै मुख्य विशेषताहरू समेट्छ। भेटेक सेमीकन्डक्टरले 6 इन्च, 8 इन्चमा LPE SiC Epi हाफमून निर्माण गर्न व्यावसायिक छ। तपाईंसँग दीर्घकालीन सहयोग सेटअप गर्न तत्पर छ।

थप हेर्नुहोस् >> सोधपुछ पठाउनुहोस् >>

चीनमा एक पेशेवर {77 77} निर्माता र आपूर्तिकर्ता, हाम्रो आफ्नै कारखाना छ। तपाईंलाई आफ्नो क्षेत्रको विशिष्ट आवश्यकताहरू पूरा गर्न अनुकूलन सेवाहरू आवश्यक छ वा उन्नत र टिकाऊको खरीद गर्न चाहानुहुन्छ, तपाईं हामीलाई सन्देश छोड्न सक्नुहुन्छ।