ठोस सिलिकन कार्बर्ड

VETEK SEMIMondUCTUTUTUCTUTUCTUTACE ठोस सिलिकन कार्थ्रोइड प्लाज्मा ecching उपकरणमा एक महत्त्वपूर्ण सिरामिक कम्पोनेन्ट हो, ठोस सिलिकन कार्थ्रोड (CVD सिलिकन कार्बइड) ECCHing उपकरणमा भागहरू समावेश गर्दछकेन्द्रित रिंगहरू, ग्यास स्नानहेड, ट्रे रिंगहरू, एज रिंग्स, आदि कम रीलिकदार कार्ब्याइड र फ्लोरिन-इनकन ग्यासहरू, यो प्लाज्मा-इन इचिंग ग्यासहरू हो, यो एक आदर्श सामग्री हो र अन्य कम्पोनेन्टहरू।

उदाहरण को लागी, फोकस रिंग एक महत्त्वपूर्ण हिस्सा हो कि वेधर बाहिर राखिएको एक भोल्टेज संग प्रत्यक्ष सम्पर्क मा, किताब को लागी एक भोल्टेज को लागी पुन: प्राप्त गर्न को लागी playma मा प्रसंस्करण सुधार गर्न। परम्परागत फोकस सिलिकून वा बनेको छचौकसी, एक साझा फोकस रिंग सामग्रीको रूपमा, सिलिकन वेफरहरूको सञ्चालनको करीव नजिक छ, तर अक्सर केही अवधिमा प्रतिरोध गरिन्छ, गम्भीरतापूर्वक यसको उत्पादन दक्षता हुनेछ।

Sओलिड SIC फोकस रिंगकार्यरत सिद्धान्त：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

SI आधारित फोकस रिंग र CVD SIC फोकस रिंग:

SI आधारित फोक्ने रिंग र CVD SIC फोकस रिंगको तुलना
चिज	र	CVD SIC
घनत्व (g / सेमी)³)	2.33	3.21
ब्यान्ड ग्याप (इभ)	1.12	2.3
थर्मल संकुचितता (W / CM ℃)	1.5	5
Ctt (x10)^-6/ ℃)	2.6	4
लोचदार मोडुलस (GPA)	150	440
कठोरता (GPA)	11.4	24.5
लगाउन र प्रतिबन्धको प्रतिरोध	गरिब	उतम

Vettk Seiawonductorterngeally उन्नत ठोस सिलिकन क्यारिकन कार्बइड (CVD सिलिकन कार्बइड) अर्धोन्डरकय उपकरणहरूको लागि SIC मा स्तनपानहरू जस्ता भागहरू। हाम्रो ठोस सिलिकॉन कार्लब्याड न्यूज फोर्सोले परम्परागत शक्ति, रासायनिक प्रतिरोध, थर्मल संकुचन, उच्च-तापमान स्थानान्तरण, र आयनले पूर्वीर्ण प्रतिरोधको हिसाबले अनुमति दिन्छ।

हाम्रो SIC मा केन्द्रित रिंगहरूको मुख्य सुविधाहरू समावेश गर्दछ:

कम ईच्छा दरहरूको लागि उच्च घनत्व।

उच्च ब्यान्ड्यापको साथ उत्कृष्ट इन्सुलेशन।

उच्च थर्मल सवारीविरोधी र थर्मल विस्तारको विस्तार।

उत्तम मेकानिकल प्रभाव प्रतिरोध र लोच।

उच्च कठोरता, प्रतिरोध र प्रतिरोधको प्रतिरोध लिनुहोस्।

निर्मित प्रयोगप्लाज्मा-बृद्धि गरिएको रासायनिक बाफ जम्मा (PCVD)प्रविधिहरू, हाम्रो SIC मा ध्यान केन्द्रित रिंगहरू अर्धवांक्षीको निर्माणमा प्रक्रियाहरू ईचिंग प्रक्रियाहरूको बढ्दो मागहरू पूरा गर्दछ। तिनीहरू उच्च प्लाज्मा शक्ति र उर्जाको सामना गर्न डिजाइन गरिएको हो, विशेष गरी भित्रCAPAICITITIOTLY COLLALLED प्लाज्मा (CCP)प्रणालीहरू।

VETEK SEMIMDODUCOCOCOCOCOCOCOCOCOCOCOCE SIC केन्द्रित रिंगहरू अर्धवतुको उपकरणमा असाधारण प्रदर्शन र विश्वसनीयता प्रदान गर्दछ। उच्च गुणवत्ता र दक्षताको लागि हाम्रो SIC कम्पोनेन्टहरू छनौट गर्नुहोस्।

View as

सिलिकन कार्बर्ड स्नान टाउको

सिलिकन कार्थ्रिड स्नान टाउकोको उत्कृष्ट तापमान, रासायनिक स्थिरता, थर्मल संकुलवादी र राम्रो ग्यास वितरण प्रदर्शन, जसले वर्दी ग्यास वितरण प्राप्त गर्न सक्दछ र फिल्म गुणस्तर हासिल गर्न सक्दछ। तसर्थ, यो सामान्यतया उच्च तापमान प्रक्रियाहरूमा रासायनिक बाल जम्मा (CVD) वा भौतिक बाफ जम्मा (pvd) प्रक्रियाहरू (pvd) प्रक्रियाहरू। हामीलाई थप परामर्श अमेरिका, VETEC अर्धोन्डरकक्टिकमा स्वागत छ।

थप हेर्नुहोस् >> सोधपुछ पठाउनुहोस् >>

सिलिकन कार्बइड सील सिट रिंग

एक पेशेवर सिलिकन क्यारेड सील एड्डिंग उत्पादन निर्माता निर्माणकर्ता र चीनमा कारखाना अर्धविश्म विरोधी उपकरणमा व्यापक रूपमा प्रयोग गरिएको छ र यसको कारण विक्रेता शक्ति प्रतिरोध र थर्मल संकुचित छ। यो विशेष गरी CVD, PVD र प्लाज्मा ecching प्रक्रिया जस्तै उच्च तापमान र प्रतिक्रियाशील ग्याँसहरु संग समावेश गरी प्रक्रियाहरु को लागी उपयुक्त छ, र अर्धवांडर पक्ष निर्मित प्रक्रिया मा एक प्रमुख सामग्री विकल्प हो। तपाईंको थप सोधपुछ स्वागत छ।

थप हेर्नुहोस् >> सोधपुछ पठाउनुहोस् >>

SIC क्रिस्टल बृद्धिका लागि CVD SIC ब्लक

अनुमानको क्रिस्टल बृद्धिका लागि CVD SIC ब्लक, जनसंख्या अर्धवान्डुनिक द्वारा विकसित गरिएको नयाँ उच्च शुद्धता सामग्री हो। यो एक उच्च इनपुट-आउटपुट अनुपात छ र उच्च-गुणवत्ता, ठूलो आकार सिलिकन क्यारेडल एकल क्रिस्टल, जो आज बजारमा प्रयोग गरिएको पाउडर हो। प्राविधिक मुद्दाहरूको बारेमा छलफल गर्न स्वागत छ।

थप हेर्नुहोस् >> सोधपुछ पठाउनुहोस् >>

SIC क्रिस्टल वृद्धि नयाँ प्रविधि

Vetckie Semiconducorductuctually को रासायनिक बाफ कफेड (CVD) द्वारा शारीरिक वाष्प यातायात (pvt) द्वारा एक स्रोत सामग्री को रूप मा एक स्रोत सामग्री को रूप मा एक स्रोत सामग्री को रूप मा प्रयोग गरीन्छ। SIC क्रिस्टल बृद्धि नयाँ प्रविधिमा, स्रोत सामग्रीलाई क्रूसमा लोड गरिएको छ र बीउ क्रिस्टलमा ठगिएको छ। उच्च शुद्धता CVD-SVD-SIC ब्लकहरू प्रयोग गर्दै आकार क्रिस्टलहरूको लागि स्रोतको रूपमा। हामीसँग एक साझेदारी स्थापना गर्न स्वागत छ।

थप हेर्नुहोस् >> सोधपुछ पठाउनुहोस् >>

CVD SIC स्नान टाउको

अनुभवी अर्धविकाका एक अग्रणी CVD SVD हेड निर्माता र नवीनकर्ता हो जुन यसको उत्कृष्ट थर्मोकोस्की स्थिरता, उच्च यांत्रिक शक्ति र प्लाज्एन्सन प्रतिरोधको कारण विशेष गरीएको छ। हामी चीनमा तपाईंको दीर्घकालीन पार्टनर बन्ने आशा गर्दछौं।

थप हेर्नुहोस् >> सोधपुछ पठाउनुहोस् >>

SIC स्नान टाउको

VETEK CAIMIMDOCOCOCACATER एक अग्रणी SICHER SICHED हेड निर्माता र नवेलकर्ता हो। हामी यसको उत्कृष्ट थर्मोकेईकेलियल स्थिरता र प्लाज्मिल पार्टनरको प्रतिरोधको रूपमा छनौट गरिएको छ

थप हेर्नुहोस् >> सोधपुछ पठाउनुहोस् >>

Veteksemicon solid silicon carbide is the ideal procurement material for high-temperature, high-strength, and corrosion-resistant components used in semiconductor and industrial applications. As a fully dense, monolithic ceramic, solid silicon carbide (SiC) offers unmatched mechanical rigidity, extreme thermal conductivity, and exceptional chemical durability in harsh processing environments. Veteksemicon’s solid SiC is specifically developed for critical structural applications such as SiC wafer carriers, cantilever paddles, susceptors, and showerheads in semiconductor equipment.

Manufactured through pressureless sintering or reaction bonding, our solid silicon carbide parts exhibit excellent wear resistance and thermal shock performance, even at temperatures above 1600°C. These properties make solid SiC the preferred material for CVD/PECVD systems, diffusion furnaces, and oxidation furnaces, where long-term thermal stability and purity are essential.

Veteksemicon also offers custom-machined SiC parts, enabling tight dimensional tolerances, high surface quality, and application-specific geometries. Additionally, solid SiC is non-reactive in both oxidizing and reducing atmospheres, enhancing its suitability for plasma, vacuum, and corrosive gas environments.

To explore our full range of solid silicon carbide components and discuss your project specifications, please visit the Veteksemicon product detail page or contact us for technical support and quotations.

चीनमा एक पेशेवर {77 77} निर्माता र आपूर्तिकर्ता, हाम्रो आफ्नै कारखाना छ। तपाईंलाई आफ्नो क्षेत्रको विशिष्ट आवश्यकताहरू पूरा गर्न अनुकूलन सेवाहरू आवश्यक छ वा उन्नत र टिकाऊको खरीद गर्न चाहानुहुन्छ, तपाईं हामीलाई सन्देश छोड्न सक्नुहुन्छ।