ठोस सिलिकन कार्बाइड

VeTek अर्धचालक ठोस सिलिकन कार्बाइड प्लाज्मा नक्काशी उपकरण, ठोस सिलिकन कार्बाइड मा एक महत्वपूर्ण सिरेमिक घटक हो।CVD सिलिकन कार्बाइड) नक्काशी उपकरणमा भागहरू समावेश छन्फोकस गर्ने घण्टीहरू, ग्यास शावरहेड, ट्रे, एज रिङ्हरू, इत्यादि। ठोस सिलिकन कार्बाइड (CVD सिलिकन कार्बाइड) को क्लोरीन - र फ्लोरिन युक्त नक्काशी ग्यासहरूमा कम प्रतिक्रियाशीलता र चालकताका कारण, यो प्लाज्मा इचिङ उपकरणहरू फोकस गर्ने घण्टीहरू र अन्यका लागि एक आदर्श सामग्री हो। अवयवहरू।

उदाहरण को लागी, फोकस रिंग एक महत्वपूर्ण भाग हो जुन वेफर बाहिर र वेफर संग प्रत्यक्ष सम्पर्क मा राखिएको छ, रिंग को माध्यम बाट जाने प्लाज्मा फोकस गर्न रिंग मा एक भोल्टेज लागू गरेर, यसरी एकरूपता सुधार गर्न वेफर मा प्लाज्मा केन्द्रित। प्रशोधन। परम्परागत फोकस रिंग सिलिकन वा बनाइएको छक्वार्ट्ज, प्रवाहकीय सिलिकन एक साधारण फोकस औंठी सामाग्री को रूप मा, यो लगभग सिलिकन वेफर्स को चालकता को नजिक छ, तर अभाव फ्लोरिन युक्त प्लाज्मा मा गरीब नक्काशी प्रतिरोध छ, नक्कली मेशिन पार्ट्स सामाग्री अक्सर समय को लागी प्रयोग गरिन्छ, त्यहाँ गम्भीर हुनेछ। क्षरण घटना, गम्भीर रूपमा यसको उत्पादन दक्षता कम गर्दै।

Solid SiC फोकस रिंगकार्य सिद्धान्त：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

र आधारित फोकसिङ रिङ र CVD SiC फोकसिङ रिङको तुलना:

र आधारित फोकसिङ रिङ र CVD SiC फोकसिङ रिङको तुलना
वस्तु	र	CVD SiC
घनत्व (g/cm³)	2.33	3.21
ब्यान्ड ग्याप (eV)	1.12	2.3
थर्मल चालकता (W/cm℃)	1.5	5
CTE (x10^-६/℃)	2.6	4
लोचदार मोड्युलस (GPa)	150	440
कठोरता (GPa)	11.4	24.5
लगाउने र जंग प्रतिरोध	गरिब	उत्कृष्ट

VeTek सेमीकन्डक्टरले उन्नत ठोस सिलिकन कार्बाइड (CVD सिलिकन कार्बाइड) भागहरू प्रदान गर्दछ जस्तै अर्धचालक उपकरणहरूको लागि SiC फोकस गर्ने घण्टीहरू। हाम्रो ठोस सिलिकन कार्बाइड फोकस गर्ने घण्टीहरूले मेकानिकल बल, रासायनिक प्रतिरोध, थर्मल चालकता, उच्च-तापमान स्थायित्व, र आयन नक्काशी प्रतिरोधको सन्दर्भमा परम्परागत सिलिकनलाई पछाडि पार्छ।

हाम्रो SiC फोकस गर्ने घण्टीहरूको मुख्य विशेषताहरू समावेश छन्:

कम नक्काशी दरहरूको लागि उच्च घनत्व।

उच्च ब्यान्डग्यापको साथ उत्कृष्ट इन्सुलेशन।

उच्च थर्मल चालकता र थर्मल विस्तार को कम गुणांक।

सुपीरियर मेकानिकल प्रभाव प्रतिरोध र लोच।

उच्च कठोरता, पहिरन प्रतिरोध, र जंग प्रतिरोध।

प्रयोग गरेर उत्पादन गरिन्छप्लाज्मा-वर्धित रासायनिक वाष्प निक्षेप (PECVD)प्रविधिहरू, हाम्रो SiC फोकस गर्ने घण्टीहरूले सेमीकन्डक्टर निर्माणमा नक्काशी प्रक्रियाहरूको बढ्दो मागहरू पूरा गर्दछ। तिनीहरू उच्च प्लाज्मा पावर र ऊर्जाको सामना गर्न डिजाइन गरिएका छन्, विशेष गरीcapacitively युग्मित प्लाज्मा (CCP)प्रणालीहरू।

VeTek सेमीकन्डक्टरको SiC फोकस गर्ने घण्टीहरूले अर्धचालक उपकरण निर्माणमा असाधारण प्रदर्शन र विश्वसनीयता प्रदान गर्दछ। उच्च गुणस्तर र दक्षताको लागि हाम्रो SiC कम्पोनेन्टहरू छनौट गर्नुहोस्।

View as

ठोस SIC ECCCHing फोकस

ठोस साइक ईचिंग फोर्लिंग रिंग्र्या ring ्ग रिंगको कोर कम्पोनेन्टहरू मध्ये एक हो, जसले वेफर, फोर्मालाई ध्यान केन्द्रित गर्न र वेफेनलाई उन्मूलन गर्न एक भूमिका खेल्दछ। चीनमा अग्रणी SIC MIC उपभोक्ता, अनुभवी अर्धविरूद्ध उन्नत टेक्नोलोजी प्रक्रिया र परिपक्व प्रक्रियामा निर्भर गर्दछ। हामी तपाईंको अनुसन्धानको लागि तत्पर छौं र एक अर्काको दीर्घकालीन साझेदारहरू बन्न

थप हेर्नुहोस् >> सोधपुछ पठाउनुहोस् >>

चीनमा एक पेशेवर {77 77} निर्माता र आपूर्तिकर्ता, हाम्रो आफ्नै कारखाना छ। तपाईंलाई आफ्नो क्षेत्रको विशिष्ट आवश्यकताहरू पूरा गर्न अनुकूलन सेवाहरू आवश्यक छ वा उन्नत र टिकाऊको खरीद गर्न चाहानुहुन्छ, तपाईं हामीलाई सन्देश छोड्न सक्नुहुन्छ।