सिलिकन कार्बर्ड स्नान टाउको

Veetckie Seiawonductuctor Chicalon carebids स्नान टाउको मुख्यतया SIC को बनेको छ। अर्धोन्डरक प्रोसेसिंगमा सिलिकन कार्बर्ड स्नान टाउकोको मुख्य कार्य भनेको एक समान फिल्मको गठन सुनिश्चित गर्न प्रतिक्रिया ग्यासलाई पनि वितरण गर्नु होरासायनिक वाष्प जम्मा (CVD)अथवाभौतिक वाष्प जम्मा (pvd)प्रक्रियाहरू। SIC को उत्कृष्ट गुणहरूको कारण उच्च थर्मल संकुचितता र रासायनिक स्थिरता, SIC स्नान टाउको उच्च तापक्रममा काम गर्न सक्दछ, जुनमा ग्यास प्रवाहको असमानता कम गर्दछ।जम्मा गर्ने प्रक्रिया, र यसरी फिल्म लेयरको गुणस्तर सुधार गर्नुहोस्।

सिलिकन कार्बर्ड स्नान हेडले समान एपर्शरेको साथ बहु नोक्सजहरू मार्फत प्रतिक्रिया ग्यास वितरण गर्न सक्दछ, वर्दी ग्यास प्रवाह सुनिश्चित गर्दछ, स्थानीय सांद्रताबाट बच्नुहोस्, र यसैको गुणस्तर हटाउनुहोस्। को उत्कृष्ट उच्च तापक्रम प्रतिरोध र रासायनिक स्थिरता संग संयुक्तCVD SIC, कुनै पनि कण वा दूषित पदार्थहरू जारी गरिएको छैनफिल्म डिसन प्रक्रिया, यो फिल्म डिस्पोज कायम राख्न महत्वपूर्ण छ।

कोर प्रदर्शन म्याट्रिक्स

कुञ्जी सूचकहरू प्राविधिक विशिष्ट विशिष्ट विशिष्ट विवरण मानकहरू

आधार सामग्री 6N ग्रेड रासायनिक बाफ कफन Calicon Caricon Carion Chmi f47-0703

थर्मल संकुचित

अपरेटिंग तापमान दायरा -196 ℃ ~ 1 7500 ℃ चक्र स्थिरता मि rad-stag-883 तरीका

Aprtare Machining शुद्धता ± 0.005mm (लेजर माइक्रोफो मिरिंग टेक्नोलोजी) ISO 28666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666666 66666।

सतह आलोचना राई ≤ 0.05μm (मिरर ग्रेड उपचार) JIS B 060101: 201।

ट्रिपल प्रक्रिया नवीनता लाभ

नानास्केल एयरफ्लो नियन्त्रण

10800 होल म्याट्रिक्स डिजाइन: असममित हनीकोबको क्रोनिक संरचना पुन: प्राप्ति गर्दछ।

Gradient एपर्चर टेक्नोलोजी: 0.3535mm बाहिरी रिंग → 0.2mm केन्द्र प्रगतिशील लेआउट, किनारा प्रभाव हटाउने

शून्य प्रदूषण जम्मा संरक्षण

अल्ट्रा-सफा सतह उपचार:

Ion बीम ईचिंगले उपनफेस बिग्रिएको तह हटाउँछ

आणविक तह जम्मा (ALD) Allo₃ सुरक्षात्मक फिल्म (वैकल्पिक)

थर्मल मेकानिकल स्थिरता

थर्मल विकृति गुणांक: ≤ 0.8μve (million 73% परम्परागत सामग्री भन्दा कम)

1000 थर्मल थर्मल आघात परीक्षणहरू (RT↔14500 ℃ चक्र)

SEM डाटाCVD SIC फिल्म क्रिस्टल संरचना：

CVD को आधारभूत शारीरिक गुणहरू Sic कोटिंग：

Veetckie Semiconductuctuctor सिलिकन कार्बर्ड स्नान टाउको पसल: