TaC कोटिंग गाइड रिंग

VeTek सेमीकन्डक्टर एक पेशेवर चीन TaC कोटिंग गाइड रिंग, TaC कोटिंग क्रूसिबल, बीउ होल्डर निर्माता र आपूर्तिकर्ता हो।

TaC कोटिंग क्रुसिबल, बीउ होल्डर र TaC कोटिंग गाइड रिंग SiC र AIN एकल क्रिस्टल फर्नेस PVT ​​विधि द्वारा हुर्काइएको थियो।

जब भौतिक बाफ यातायात विधि (PVT) अनुसाइक तयार गर्न प्रयोग गरिन्छ, बीउ क्रिस्टल अपेक्षाकृत कम तापमान क्षेत्रमा छ, र SIC कच्चा माल अपेक्षाकृत उच्च तापमान क्षेत्रमा छ (20000 भन्दा माथि)। कच्चा माल विघटसनले छसी उत्पादन गर्दछ (मुख्य रूपमा SI, SIC₂, SI₂C, आदि सहित)। बाफेर चरण सामग्री कम तापमान क्षेत्र क्षेत्रमा बीउ क्रिस्टलको क्षेत्रबाट सार्न सकिन्छ, र उपदेशित र बढ्छ। एकल क्रिस्टल गठन गर्न। यस प्रक्रियामा प्रयोग गरिएको थर्मल क्षेत्रहरू, जस्तै क्रूर गाइड गाइड रिंग, बीज क्रिस्टल धारक, उच्च तापमान र साइज एकल क्रिस्टल को प्रतिरोधात्मक हुनु पर्छ। त्यस्तै अल्फ एकल क्रिस्टलको विकासमा तताउने तत्वहरू अल वाष्प, एनएफको संकटमा प्रतिरोध गर्न आवश्यक छ, र क्रिस्टल तयारी अवधि छोटो गर्न उच्च त्रुटिपूर्ण तापमान (र एल्ब) हुन आवश्यक छ।

यो फेला पर्यो कि TaC लेपित ग्रेफाइट थर्मल फिल्ड सामाग्री द्वारा बनाईएको SiC र AlN सफा थियो, लगभग कुनै कार्बन (अक्सिजन, नाइट्रोजन) र अन्य अशुद्धताहरू, कम किनारा दोषहरू, प्रत्येक क्षेत्रमा सानो प्रतिरोधात्मकता, र माइक्रोपोर घनत्व र नक्काशी पिट घनत्व थियो। उल्लेखनीय रूपमा कम भयो (KOH एचिंग पछि), र क्रिस्टलको गुणस्तर धेरै सुधारिएको थियो। थप रूपमा, TaC क्रुसिबल वजन घटाने दर लगभग शून्य छ, उपस्थिति गैर विनाशकारी छ, पुन: प्रयोग गर्न सकिन्छ (200h सम्म जीवन), यस्तो एकल क्रिस्टल तयारीको स्थिरता र दक्षता सुधार गर्न सक्छ।

TAC कोटिंग गाइड गाइड औंठीको उत्पादन प्यारामिटर:

उत्पादन पसलहरू:

अर्धवान्डुनिक चिप एपिट एपिट्याक्साएक्साएक्साएक्साएक्साएक्साएक्साएक्साएक्साएक्साएक्साएक्शन चेन: