उत्पादनहरू
उत्पादनहरू
TaC कोटिंग रिंग
  • TaC कोटिंग रिंगTaC कोटिंग रिंग

TaC कोटिंग रिंग

TAC कोटिंग रिंगहरू अर्ध मजदुर प्रक्रियामा प्रयोगको लागि डिजाइन गरिएको उच्च प्रदर्शन कम्पोनेन्ट हो, istek Seailice Taac Toicly atching प्रक्रियाको प्रतिरोध र विशेष रूपमा SIC वाफरहरूको प्रतिरोध, जहाँ सटीक नियन्त्रण र टिर्पलता उच्च-गुणवत्ता वेफर प्राप्त गर्नका लागि आवश्यक छ। हामी तपाईंको थप परामर्शको लागि हेर्दै छौं।

VeTek अर्धचालकको TaC कोटिंग रिंग उच्च-गुणस्तरको ग्रेफाइटबाट बनाइएको छ र ट्यान्टालम कार्बाइड (TaC) ले लेपित छ, यसको उत्कृष्ट गुणहरूको लागि चिनिने सामग्री, सेमीकन्डक्टर वेफर प्रशोधनमा एक अपरिहार्य घटक हो।


VeTek अर्धचालक TaC कोटिंग रिंग को मुख्य विशेषताहरु र लाभहरु:


Tantalum carbide (TaC) coating on a microscopic cross-section

● उच्च थर्मल स्थिरता: टन्ट्नलमको एक स्ट्यान्डआउट सुविधाहरू मध्ये एक को उच्च तापमानको सामना गर्ने क्षमता हो, अर्धवान्द्रक्टरले Ecching मा एक महत्वपूर्ण कारक। अनुमात एचिंग प्रक्रियामा उन्नत तापमान र प्रतिक्रियाशील ग्याँसहरूमा एल्युपेलोजर समावेश छ, र टन्ट्लाम कार्बुट शिविर पनि सुनिश्चित गर्दछ र यी कठोर अवस्थाहरूमा पनि यसको संरचनात्मक अखण्डता कायम गर्दछ। यस थर्मल लचिलोवीकरणले सुनिश्चित गर्दछ कि कम्पोनेन्टले विस्तारित अवधिहरूको इष्टतम प्रदर्शन गर्न जारी राख्छ।


● परिष्कृत मेकानिकल बल: उच्च-शक्ति ग्राफेटिटीको संयोजन अभिवृद्धि मेकानिकल गुणहरूको साथ एक कम्पोनेन्टको संयोजन, संयोजित मेकानिकल गुणहरूको साथ, टेक लेड रिंग लगाउने र च्यातिएको छ। यसको यांत्रिक शक्ति सीआईसी वेफर होल्डमा स्पष्ट रूपमा स्थानमा दृढतापूर्वक स्थानमा छ, प्रक्रियाको क्रममा कुनै पनि विष्फोटन गर्ने सुनिश्चित गर्ने कुरा।


● रासायनिक क्षरण प्रतिरोध: सेमीकन्डक्टर प्रक्रियाहरू जस्तै SiC नक्काशीमा, कम्पोनेन्टहरू प्रायः आक्रामक रसायनहरू र प्रतिक्रियाशील ग्यासहरूको सम्पर्कमा हुन्छन्। ट्यान्टलम कार्बाइड कोटिंगले क्षरणको बिरूद्ध उत्कृष्ट सुरक्षा प्रदान गर्दछ, रिंगको उपयोगी जीवनलाई उल्लेखनीय रूपमा विस्तार गर्दछ र बारम्बार प्रतिस्थापनको आवश्यकतालाई कम गर्दछ। यो प्रतिरोध नक्कली प्रक्रियामा विशेष गरी महत्त्वपूर्ण छ, जहाँ घटकहरू रासायनिक प्रतिक्रियाशील पदार्थहरूसँग निरन्तर सम्पर्कमा हुन्छन्।


● परिष्कृत प्रदर्शनको लागि सुपीरियर CoatiTaC कोटिंग्स: Tantalum carebide ग्राफेट्र्याइट रिंग मा कोब्राई को रूप मा एक मजबूस सतह प्रदान गर्दछ कि कम्पोनेन्ट को समग्र प्रदर्शन अभिवृद्धि गर्दछ। Tantualum carbide यसको उच्च पग्लिंग पोइन्टको लागि प्रख्यात छ (करीव 3,, 8880 डिग्री सेल्सिंग सी) र यसको उत्कृष्ट प्रतिरोधको रासायनिक प्रतिक्रियाहरूको लागि सामान्यतया अर्धडीकोलकता निर्माण प्रक्रियामा सामना गरिन्छ। यो Tantalum carberd ले उत्पादनको जीवनशिप सुधार गर्दछ, पूर्व स्थायी रूपमा उच्च स्थायी सुधार प्रदान गर्दछ।


● परिष्कृत मेकानिकल बल: उच्च-शक्ति ग्राफेटिटीको संयोजन अभिवृद्धि मेकानिकल गुणहरूको साथ एक कम्पोनेन्टको संयोजन, संयोजित मेकानिकल गुणहरूको साथ, टेक लेड रिंग लगाउने र च्यातिएको छ। यसको यांत्रिक शक्ति सीआईसी वेफर होल्डमा स्पष्ट रूपमा स्थानमा दृढतापूर्वक स्थानमा छ, प्रक्रियाको क्रममा कुनै पनि विष्फोटन गर्ने सुनिश्चित गर्ने कुरा।


चीनमा एक अग्रणी TaC कोटिंग रिंग आपूर्तिकर्ता, निर्माता र कारखानाको रूपमा, VeTek सेमीकन्डक्टर लामो समयदेखि सेमीकन्डक्टर प्रशोधन उद्योगको लागि उन्नत TaC कोटिंग रिंग उत्पादनहरू र प्राविधिक समाधानहरू प्रदान गर्न प्रतिबद्ध छ, र अनुकूलित उत्पादन सेवाहरूलाई समर्थन गर्दछ। VeTekSemi ईमानदारीपूर्वक चीनमा तपाईंको दीर्घकालीन साझेदार बन्नको लागि तत्पर छ।


Tac को कोटिंगको भौतिक गुणहरू

Tac को कोटिंगको भौतिक गुणहरू
Taca कोटिंग घनत्व
1..3..3 (g / CM³)
विशिष्ट उत्सर्जन
0.3
थर्मल विस्तार गुणांक
६.३*१०-6/के
TaC कोटिंग हार्डन (एचके)
2000 hk
सामना
1 × 10-5ओम * सेमी
थर्मल स्थिरता
<2500 ℃
ग्रेफाइट आकार परिवर्तन
-10~-20um
कोटिंग मोटाई
≥20um विशिष्ट मान (35um±10um)

VETEK SEMIMDODUCORECORECORECOCER को Tac कोटिंग उत्पादन पसलहरू

SiC Coating Graphite substrateTaC Coating Ring testSilicon carbide ceramic processingSemiconductor process equipment


हट ट्यागहरू: TaC कोटिंग रिंग
सोधपुछ पठाउनुहोस्
सम्पर्क जानकारी
  • ठेगाना

    वांग्दा रोड, जियांग स्ट्रीट, वुई काउन्टी, जिन्हुआ शहर, झेजियांग प्रान्त, चीन

  • टेलिफोन

    +86-18069220752

  • इ-मेल

    anny@veteksemi.com

For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, please leave your email to us and we will be in touch within 24 hours.
X
हामी तपाईंलाई राम्रो ब्राउजिङ अनुभव प्रदान गर्न, साइट ट्राफिक विश्लेषण र सामग्री निजीकृत गर्न कुकीहरू प्रयोग गर्छौं। यो साइट प्रयोग गरेर, तपाईं कुकीहरूको हाम्रो प्रयोगमा सहमत हुनुहुन्छ।गोपनीयता नीति
अस्वीकार गर्नुहोस्स्वीकार गर्नुहोस्